专利名称：石墨舟陶瓷杆的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种陶瓷杆，特别涉及一种石墨舟陶瓷杆。
背景技术：
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在娃片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的。石墨舟在使用一定次数后，石墨舟上各部分表面上会被镀上一层氮化硅，此时需要采用适当浓度的氢氟酸来清洗石墨舟，再用清水清洗，现有石墨舟陶瓷杆上没有排水的通道，使得氢氟酸不能有效排除，残留的氢氟酸加速了陶瓷杆的腐蚀速度，陶瓷杆易断，工业生产中需经常更换陶瓷杆。
实用新型内容本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种具有导流槽，能有效排除氢氟酸的陶瓷杆。实现本实用新型目的技术方案是一种石墨舟陶瓷杆，包括两个端部的螺纹段，中间的光杆其特征在于光杆上开设有导流槽。上述石墨舟陶瓷杆，所述导流槽为沿轴向水平开设。上所述石墨舟陶瓷杆，所述导流槽为沿轴向与水平成角度开设。上述石墨舟陶瓷杆，所述导流槽为沿轴向与水平成5°角开设。本实用新型具有积极的效果(1)结构简单，实用；(2)开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去，能有效延长陶瓷杆的使用寿命。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中图I为本实用新型结构示意图。其中1螺纹段，2光杆，3导流槽。
具体实施方式
[0014]实施例(I)见图I，本实用新型具有头尾两个端部的螺纹段1，中间的光杆2，在光杆2上沿轴向水平开设有导流槽3。使用时，清洗完石墨舟后，残留的氢氟酸会顺着导流槽3流出，然后再用清水清洗石墨舟 ，清水也能快速从导流槽3中流出，再进行清洗的后续步骤。以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种石墨舟陶瓷杆，包括两个端部的螺纹段(1)，中部的光杆(2)其特征在于光杆(2)上开设有导流槽(3)。
2.根据权利要求I所述石墨舟陶瓷杆，其特征在于所述导流槽(3)为沿轴向水平开设。
3.根据权利要求I所述石墨舟陶瓷杆，其特征在于所述导流槽(3)为沿轴向与水平成角度开设。
4.根据权利要求3所述石墨舟陶瓷杆，其特征在于所述导流槽(3)为沿轴向与水平成5°角开设。
专利摘要本实用新型涉及一种石墨舟陶瓷杆，包括两个端部的螺纹段，中部的光杆，光杆上开设有导流槽，本实用新型结构简单，实用；开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去，能有效延长陶瓷杆的使用寿命。
文档编号C23C16/458GK202797045SQ20122040414
公开日2013年3月13日 申请日期2012年8月15日 优先权日2012年8月15日
发明者吴建洪 申请人:常州市立新石墨有限公司