沉积源运送装置制造方法
【专利摘要】根据本发明的一方面的沉积源运送装置包括：导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。
【专利说明】
沉积源运送装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种沉积源运送装置，更详细地，涉及适用于离子注入系统的沉积源运送装置。
【背景技术】
[0002]一般来讲，作为平板显示器之一的电致发光显示装置，根据作为发光层使用的物质区分为无机电致发光显示装置和有机电致发光显示装置，由于有机电致发光显示装置能够用低电压驱动，且为轻量薄型的同时，具备不仅视角宽而且响应速度快的优点，因此受到瞩目。
[0003]这种有机电致发光显示装置的有机电致发光元件由在基板上以层压方式形成的阳极、有机物层及阴极构成。有机物层包括通过空穴和电子的再结合而形成激子并发射光的有机发光层的有机物层，此外，为了用有机发光层顺畅地传输空穴和电子以提高发光效率，使电子注入层和电子传输层的有机物层介于所述阴极和有机发光层之间的同时，使空穴注入层和空穴传输层的有机物层介于阳极和有机发光层之间。
[0004]由上述结构形成的有机电致发光元件一般由如真空沉积法、离子镀法及溅射法等物理气相沉积法、或通过气体反应进行的化学气相沉积法制作。特别是，为了形成有机电致发光元件的有机物层，广泛使用将在真空中蒸发的有机物质沉积在基板上的真空沉积法，在这种真空沉积法中，使用将在真空腔室内蒸发的有机物质喷射到基板的沉积源(6^1181011 0611，泄流室X沉积源包括收容有有机物质的坩埚和加热坩埚的加热机构。
[0005]在基板趋于大型化的形式下，为了将具有良好的阶梯覆盖能力和均匀度的有机物层形成在基板上，沉积源在真空腔室内移动并向静止的基板提供通过蒸发有机物质形成的有机气相物质。
[0006]如此，沉积源由移动的移动源形成的情况下，为了沉积源的移动而设置轨道，且沉积源在轨道上移动。此时，轨道上设置有沿轨道移动的滑动导轨，在滑动导轨上安装有沉积源主体。
[0007]在滑动导轨的内部插入设置有用于联动的多个球或轴承，并为了减少球与轨道的摩擦，对球供给润滑油(#6386).如此，在使用设置有球的滑动导轨的情况下，当沉积源在轨道上移动时，会有振动传递到沉积源。
[0008]这种振动对离子注入系统带来噪音，这会带来传感器错误及膜厚度不均匀等问题。特别是，在摩擦大的情况下，移动速度降低，这诱导膜厚度的不均匀。此外，因摩擦而球产生热或因腔室内的热而润滑油被加热时，则由于润滑油蒸发而气体引发腔室内部的污染，这成为导致不良的原因。此外，由于为了润滑油的再供给而需要中断操作，因此发生操作时间延迟且生产率降低的问题。
【发明内容】
[0009]本发明是为了解决上述问题而提出的，目的在于提供一种能够将振动的影响最小化并提高寿命的离子注入系统的沉积源运送装置。
[0010]根据本发明的一方面的沉积源运送装置包括:导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。
[0011]所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件能够以相同的极性相互面对的方式配置，并且所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件可形成为沿沉积源框架的长度方向延伸而形成的板状。
[0012]所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的上表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述支撑部件的下部，并在所述支撑部件与所述第二悬浮部件之间可设置有具有弹性的缓冲部件。
[0013]所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件能够以相互不同的极性相互面对的方式配置，所述第一悬浮部件可由包括磁芯和缠绕在形成于磁芯上的突起的线圈的电磁铁形成。
[0014]所述第二悬浮部件可由强磁性体板形成，所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件可包括与沉积源框架的下表面相接触的上部支撑部、在所述上部支撑部的下侧与所述上板的下表面相对的下部支撑部及连接所述下部支撑部与所述上部支撑部的侧面支撑部。
[0015]所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的下表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述下部支撑部的上表面，并在所述上部支撑部的下表面与所述上板的上表面之间可设置有具有弹性的缓冲部件。
[0016]所述缓冲部件可配置成固定在所述上部支撑部的下表面并与所述上板相隔并且可进一步包括结合在所述沉积源框架的绳和缠绕所述绳的卷取部件。
[0017]可进一步包括:第一绳，与所述沉积源框架的一侧端部连接；第一卷取部件，缠绕所述第一绳；第一电动机，旋转所述第一卷取部件；第二绳，与所述沉积源框架的另一侧端部连接；第二卷取部件，缠绕所述第二绳；和第二电动机，旋转所述第二卷取部件。
[0018]根据本发明的实施例，由于通过磁悬浮移送沉积源，因此使对沉积源的振动最小化，从而能够执行精密的工序。此外，不仅减少摩擦而提高沉积源运送装置的寿命，而且除去摩擦时飞散的颗粒及杂质而能够减少因杂质产生的污染。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是图示根据本发明的第一实施例的沉积源运送装置的立体图。
[0020]图2是沿图1中I1-1I线截取的剖视图。
[0021]图3是表示润滑油的蒸发气体对有机发光元件的寿命的影响的图表。
[0022]图4是图示根据本发明的第二实施例的沉积源运送装置的剖视图。
[0023]图5是图示根据本发明的第三实施例的沉积源运送装置的剖视图。
[0024]图6是图示根据本发明的第四实施例的沉积源运送装置的立体图。
[0025]图7是图示根据本发明的第四实施例的沉积源运送装置的剖视图。
[0026]附图标记说明
[0027]101、102、103、104:沉积源运送装置
[0028]10:沉积源21:沉积源框架
[0029]25、35、45:支撑部件25^45^1:上部支撑部
[0030]2513,45?:下部支撑部25(^45(3:侧面支撑部
[0031]26、36、46:导轨26^36^46^1:支撑柱
[0032]26? ? 3613 ? 46?:上板28、38、48:第一悬浮部件
[0033]27、37、47:第二悬浮部件29、39、49:缓冲部件
[0034]48?:磁芯48)3:线圈
[0035]480:突起51:第一绳
[0036]52:第二绳53:第一卷取部件
[0037]55:第二卷取部件56:第一电动机
[0038]57:第二电动机60:腔室
【具体实施方式】
[0039]下面，参照附图对本发明的实施例进行详细说明，使得本发明所属【技术领域】的技术人员能够易于实施。本发明可以以多种不同的形式实现，并不限定于在此说明的实施例。
[0040]在整个说明书中，当提到某部分“包括”某结构部件时，除非有相反的记载，这表示并不排除其它结构部件，而是可进一步包括其它结构部件。此外，在本记载中，所谓“在……上”表示位于对象部件的上侧或下侧，并非一定表示以重力方向为基准位于上部。
[0041]图1是图示根据本发明的一实施例的沉积源运送装置的立体图，图2是沿图1中II ~ II线截取的剖视图。
[0042]参照图1及图2进行说明，则根据本实施例的沉积源运送装置101包括导轨26、通过磁力相对于导轨26悬浮的支撑部件25、及安装在支撑部件25上的沉积源框架21。
[0043]沉积源10可具备储存有有机物质的坩埚、用于加热坩埚的加热部件、及喷射有机物质的喷嘴。但本发明并不限于此，能够安装在沉积源框架21上的所有种类的沉积源均可适用于本发明。
[0044]沉积源运送装置101被配置在腔室内，且腔室形成真空空间。在腔室内设置有导轨26，导轨26沿沉积源10的移动方向长长地延伸而形成，且两个导轨26被配置成平行。
[0045]导轨26包括朝向上部突出的支撑柱263和被配置成从支撑柱263弯曲而与地面平行的上板26匕上板266从相对置的导轨26朝向外侧弯曲，并在上板266的下部固定设置有形成磁力的第一悬浮部件28。第一悬浮部件28沿导轨26的长度方向延伸而形成。在此，第一悬浮部件28由形成磁力的永久磁铁形成。
[0046]沉积源框架21形成为矩形的板状，并在沉积源框架21的下部设置有支撑部件25。在沉积源框架21设置有多个支撑部件25，且沉积源框架21安装在支撑部件25，与支撑部件25 —同移动。支撑部件25包括与沉积源框架21的下表面相接触的上部支撑部25^被配置在上部支撑部的下侧的下部支撑部25以及连接下部支撑部256和上部支撑部253的侧面支撑部25(3。
[0047]下部支撑部256被配置成在上板266的下部与上板266的下表面相对。在下部支撑部256固定设置有与第一悬浮部件28相对而与第一悬浮部件28相互作用磁力的第二悬浮部件27。在此，第二悬浮部件27可由永久磁铁形成。
[0048]第一悬浮部件28与第二悬浮部件27相互作用引力，且第一悬浮部件28与第二悬浮部件27相互面对的面具有相互不同的极性。例如，在第一悬浮部件28的朝向上板266的面为~极且朝向第二悬浮部件27的面为3极的情况下，第二悬浮部件27可形成为朝向下部支撑部256的面为3极且朝向第一悬浮部件28的面为~极。由此，因第一悬浮部件28的3极与第二悬浮部件27的~极相互面对而能够作用相互吸引的力。
[0049]如上所述，若在第一悬浮部件28及第二悬浮部件27之间引力产生作用，则因第一悬浮部件28吸引位于下部的第二悬浮部件27，支撑部件25及沉积源框架21悬浮而能够移动。
[0050]另外，在与上板266对置的上部支撑部253的下表面设置有缓冲部件29。缓冲部件29由具有弹性的材料形成，特别是可由耐摩擦的聚四氟乙烯形成。缓冲部件29被配置在上板266与上部支撑部253的下表面之间，并固定在上部支撑部25^从而被配置成从上板266相隔的状态。缓冲部件29起着当悬浮被中断时使传递至沉积源10及沉积源框架21的冲击最小化的作用。
[0051]在沉积源框架21可设置有移送沉积源框架21的通过液压或气压驱动的气缸15，气缸15的导杆153与沉积源框架21连接而能够推或拉沉积源框架21。通过这种气缸15，沉积源框架21从导轨26悬浮并能够沿导轨26的长度方向移动。
[0052]如上所述，根据本实施例，由于沉积源10通过磁悬浮相对于导轨26移动，因此不仅能够减少对沉积源10的振动，而且通过不使用润滑油(#6386)能够防止由润滑油等润滑液的蒸发气体而发生的不良。
[0053]图3是表示润滑油的蒸发气体对有机发光元件的寿命的影响的图表。
[0054]如图3所示，可知在没有待机时间地在腔室内沉积有机物质的有机发光元件的情况下，随着时间的推移，亮度以圆满的倾斜度线性地减少。但是，在501以下加热30分钟的腔室内沉积有机物质的有机发光元件的情况下，亮度急剧减少。
[0055]由于没有待机时间地沉积有机物质的有机发光元件在几乎没有形成润滑油的蒸发的状态下沉积有机物质，因此寿命特性优异。但是，在501以下加热30分钟的腔室的情况下，由于润滑油蒸发在腔室内大量存在润滑油气体，因此在这种情况下沉积的有机发光元件的寿命特性恶化。如上所述，根据图3明确可知润滑油的蒸发气体严重影响寿命。
[0056]根据本实施例，由于通过磁悬浮移送沉积源10，因此完全没有必要使用润滑油，由此能够提高制造的有机发光元件的寿命特性。
[0057]图4是图示根据本发明的第二实施例的沉积源运送装置的剖视图。
[0058]参照图4进行说明，则根据本第二实施例的沉积源运送装置102包括导轨36、通过磁力相对于导轨36悬浮的支撑部件35、及安装在支撑部件35上的沉积源框架21。
[0059]沉积源10可具备存储有有机物质的坩埚、用于加热坩埚的加热部件、及喷射有机物质的喷嘴。但本实施例并不限于此，能够安装在沉积源框架21上的所有种类的沉积源均可适用于本发明。
[0060]导轨36沿沉积源10的移动方向长长地延伸而形成，且两个导轨36被配置成平行。
[0061]导轨36包括朝向上部突出的支撑柱363和被配置成从支撑柱363弯曲而与地面平行的上板36匕上板366从相对的导轨36朝向外侧弯曲，且在上板366的上表面固定设置有形成磁力的第一悬浮部件38。第一悬浮部件38沿导轨36的长度方向延伸而形成。在此，第一悬浮部件38由形成磁力的永久磁铁形成。
[0062]沉积源框架21形成为矩形的板状，且在沉积源框架21的下部设置有支撑部件35。在沉积源框架21设置有多个支撑部件35，且沉积源框架21安装在支撑部件35，与支撑部件35—同移动。支撑部件35形成为固定在沉积源框架21的下表面的板状，并沿沉积源框架的长度方向长长地延伸而形成。
[0063]在支撑部件35的下部固定设置有与第一悬浮部件38相对而与第一悬浮部件38相互作用磁力的第二悬浮部件37。在此，第二悬浮部件37可由永久磁铁形成。
[0064]第一悬浮部件38与第二悬浮部件37相互作用斥力，且第一悬浮部件38与第二悬浮部件37相互面对的面具有相互相同的极性。例如，在第一悬浮部件38的朝向上板366的面为~极且朝向第二悬浮部件37的面为3极的情况下，第二悬浮部件37可形成为朝向支撑部件35的面为~极且朝向第一悬浮部件38的面为3极。由此，第一悬浮部件38的3极与第二悬浮部件37的3极相互面对而可作用相互排斥的力。
[0065]如上所述，若在第一悬浮部件38与第二悬浮部件37之间斥力产生作用，则因第一悬浮部件38推升位于上部的第二悬浮部件37，支撑部件35及沉积源框架21悬浮而能够移动。
[0066]另外，在支撑部件35与第二悬浮部件37之间设置有缓冲部件39。缓冲部件39由具有弹性的材料形成，特别是可由耐摩擦的聚四氟乙烯形成。缓冲部件39起着在悬浮被中断时使传递至沉积源10及沉积源框架21的冲击最小化的作用。
[0067]如上所述，根据本实施例，由于沉积源10通过磁悬浮相对于导轨36移动，因此不仅能够减少对沉积源10的振动，而且通过不使用润滑油(#6386)能够防止由润滑油等润滑剂的蒸发气体而发生的不良。
[0068]图5是图示根据本发明的第三实施例的沉积源运送装置的剖视图。
[0069]参照图5进行说明，则根据本第三实施例的沉积源运送装置103包括导轨46、通过磁力相对于导轨46悬浮的支撑部件45、及安装在支撑部件45上的沉积源框架21。
[0070]沉积源10可具备存储有有机物质的坩埚、用于加热坩埚的加热部件、及喷射有机物质的喷嘴。但本实施例并不限于此，能够安装在沉积源框架21上的所有种类的沉积源均可适用于本发明。
[0071]导轨46沿沉积源10的移动方向长长地延伸而形成，且两个导轨46被配置成平行。导轨46包括朝向上部突出的支撑柱463和被配置成从支撑柱463弯曲而与地面平行的上板46匕上板466从相对的导轨46朝向外侧弯曲，且在上板466的下部固定设置有形成磁力的第一悬浮部件48。第一悬浮部件48沿导轨46的长度方向延伸而形成。
[0072]在此，第一悬浮部件48由形成磁力的电磁铁形成。第一悬浮部件48包括由强磁性体形成的磁芯483和包围磁芯483的线圈48)3。在磁芯483的宽度方向的两侧端部形成有向下突出的突起48(3，且线圈4?以包围突起48。的方式设置。
[0073]沉积源框架21形成为矩形的板状，且在沉积源框架21的下部设置有支撑部件45。在沉积源框架21设置有多个支撑部件45，且沉积源框架21安装在支撑部件45，与支撑部件45 —同移动。支撑部件45包括与沉积源框架21的下表面相接触的上部支撑部45^被配置在上部支撑部的下侧的下部支撑部45以及连接下部支撑部456和上部支撑部453的侧面支撑部45匕
[0074]下部支撑部456被配置成在上板466的下部与上板466相对。在下部支撑部456固定设置有与第一悬浮部件48相对而与第一悬浮部件48相互作用磁力的第二悬浮部件47。在此，第二悬浮部件47可由强磁性体板形成。在第二悬浮部件47形成有向上部突出的突起47^因第一悬浮部件48的突起48。吸引位于下部的第二悬浮部件47的突起473而发生悬浮力。
[0075]另外，在上部支撑部453与上板466对置的下表面设置有缓冲部件49。缓冲部件49由具有弹性的材料形成，并起着使传递至沉积源10及沉积源框架21的冲击最小化的作用。
[0076]如上所述，根据本实施例，由于沉积源10通过磁悬浮相对于导轨46移动，因此不仅能够减少对沉积源10的振动，而且通过不使用润滑油(#6386)能够防止由润滑油等润滑剂的蒸发气体而发生的不良。
[0077]图6是图示根据本发明的第四实施例的沉积源运送装置的立体图，图7是图示根据本发明的第四实施例的沉积源运送装置的侧视图。
[0078]参照图6及图7进行说明，则根据本实施例的沉积源运送装置104除了使力作用于沉积源框架21来移送的移送机构外，由与根据上述的第一实施例的沉积源运送装置相同的结构形成，因此省略对相同结构的重复说明。
[0079]根据本实施例的沉积源运送装置104包括:第一绳51，结合在沉积源框架21的一侧端部；第二绳52，结合在沉积源框架21的另一侧端部；第一卷取部件53，缠绕第一绳51 ；第二卷取部件55，缠绕第二绳52 ；第一电动机56，旋转第一卷取部件53 ；和第二电动机57，旋转第二卷取部件55。
[0080]第一绳51沿沉积源框架21移动的方向固定在一侧端部，并缠绕在第一卷取部件53。第一卷取部件53形成为棒状，并设置成能够旋转的结构。第一卷取部件53支撑第一绳51，缠绕或解绕第一绳51以移送沉积源框架21。在第一卷取部件53连接设置有第一电动机56，第一电动机56通过正转或反转，能够缠绕或解绕第一绳51。第一电动机56连接设置在第一卷取部件53的下部，并与腔室60的底面相比设置在更下侧。
[0081]第二绳52沿沉积源框架21移动的方向固定在另一侧端部，并缠绕在第二卷取部件55。第二卷取部件55形成为棒状，并设置成能够旋转的结构。第二卷取部件55支撑第二绳52，缠绕或解绕第二绳52以移送沉积源框架21。在第二卷取部件55连接设置有第二电动机57，第二电动机57通过正转或反转，能够缠绕或解绕第二绳52。第二电动机57连接并设置在第二卷取部件55的下部，并与腔室60的底面相比设置在更下侧。
[0082]在沉积源框架21向第一卷取部件53侧移动的情况下，第一绳51被缠绕在第一卷取部件53，第二绳52从第二卷取部件55解绕。此时，第一电动机56沿缠绕第一绳51的方向旋转，第二电动机57沿解绕第二绳52的方向旋转。
[0083]此外，在沉积源框架21向第二卷取部件55侧移动的情况下，第一绳51从第一卷取部件53解绕，第二绳52被缠绕在第二卷取部件55。此时，第一电动机56沿解绕第一绳51的方向旋转，第二电动机57沿缠绕第二绳52的方向旋转。
[0084]如上所述，根据本实施例，由于以磁悬浮方式移动沉积源，因此用很小的力也能够使沉积源移动，并利用绳和电动机能够容易且稳定地移动沉积源。
[0085]以上对本发明的优选实施例进行了说明，但本发明并不限定于此，在权利要求书、发明的详细说明及附图范围内，可变形为多种方式而实施，且这属于本发明的范围内也是理所当然的。
【权利要求】
1.一种沉积源运送装置，包括: 导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件； 支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及 沉积源框架，安装在所述支撑部件上。
2.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件以相同的极性相互面对的方式配置。
3.根据权利要求2所述的沉积源运送装置， 所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件形成为沿所述沉积源框架的长度方向延伸而形成的板状。
4.根据权利要求3所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的上表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述支撑部件的下部。
5.根据权利要求4所述的沉积源运送装置， 在所述支撑部件与所述第二悬浮部件之间设置有具有弹性的缓冲部件。
6.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件以相互不同的极性相互面对的方式配置。
7.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件包括磁芯和缠绕在形成于所述磁芯上的突起的线圈。
8.根据权利要求7所述的沉积源运送装置， 所述第二悬浮部件由强磁性体板形成。
9.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件包括与所述沉积源框架的下表面相接触的上部支撑部、在所述上部支撑部的下侧与所述上板的下表面相对的下部支撑部及连接所述下部支撑部与所述上部支撑部的侧面支撑部。
10.根据权利要求9所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的下表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述下部支撑部的上表面。
11.根据权利要求10所述的沉积源运送装置， 在所述上部支撑部的下表面与所述上板的上表面之间设置有具有弹性的缓冲部件。
12.根据权利要求11所述的沉积源运送装置， 所述缓冲部件配置成固定在所述上部支撑部的下表面并与所述上板相隔。
13.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 进一步包括结合在所述沉积源框架的绳和缠绕所述绳的卷取部件。
14.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 进一步包括:第一绳，与所述沉积源框架的一侧端部连接；第一卷取部件，缠绕所述第一绳；第一电动机，旋转所述第一卷取部件；第二绳，与所述沉积源框架的另一侧端部连接；第二卷取部件，缠绕所述第二绳；和第二电动机；旋转所述第二卷取部件。
【文档编号】C23C14/48GK104451585SQ201310608571
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年11月26日 优先权日:2013年9月12日
【发明者】高晟洙, 朴旻亨, 金在福, 宋原准, 李宽熙 申请人:三星显示有限公司