一种坩埚设备及其在液晶面板生产中的应用的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种坩埚设备及其在液晶面板生产中的应用。所述坩埚设备包括加热源(120)、坩埚(110)以及搅拌机构(200)。所述加热源(120)用于对所述坩埚(110)内的材料进行加热，所述搅拌机构(200)用于对所述坩埚(110)内的材料进行搅拌。本发明的坩埚设备可以通过搅拌机构使坩埚内材料受热均匀。
【专利说明】一种坩埚设备及其在液晶面板生产中的应用
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种坩埚设备。
【背景技术】
[0002]目前常使用的加热源与坩埚相靠近，将热传导至材料，使材料升温蒸发。若坩埚较粗，导热性不良的材料会出现远离坩埚壁处温度低，靠近坩埚壁处温度高的现象。用这种坩埚设备进行蒸镀时，容易出现受热不均的问题。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于，提供一种坩埚设备，其可以使坩埚内材料受热均匀。
[0004]本发明通过如下技术方案实现:一种坩埚设备，其中，所述坩埚设备包括加热源、坩埚以及搅拌机构，所述加热源用于对所述坩埚内的材料进行加热，所述搅拌机构用于对所述坩埚内的材料进行搅拌。
[0005]作为上述技术方案的进一步改进，所述加热源包括桶状结构以及缠绕在所述桶状结构的内壁上的加热电热丝，所述坩埚位于所述桶状结构内部。
[0006]作为上述技 术方案的进一步改进，所述加热电热丝的缠绕密度在竖直方向上不同。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进，所述坩埚的下部设置有隔热垫。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进，所述坩埚具有容纳部及出口部，所述容纳部与所述出口部连通，所述出口部具有一个出气口或多个出气口。
[0009]作为上述技术方案的进一步改进，所述出口部具有多个出气口，且所述多个出气口排列成一条直线状或面状。
[0010]作为上述技术方案的进一步改进，所述搅拌机构包括搅拌扇以及驱动所述搅拌扇旋转的驱动源。
[0011]作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动源为马达。
[0012]作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动源通过轴承与所述搅拌扇动力连接。
[0013]根据本发明的另一方面，还提供了一种坩埚设备在液晶面板生产中的应用，其中，所述坩埚设备为上述的坩埚设备。
[0014]本发明的有益效果是:本发明的坩埚设备包括加热源、坩埚以及搅拌机构，所述加热源用于对所述坩埚内的材料进行加热，所述搅拌机构用于对所述坩埚内的材料进行搅拌，可以使坩埚内材料受热均匀。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是根据本发明的一个具体实施例的坩埚设备的结构示意图；
[0016]图2是根据本发明的一个具体实施例的坩埚设备的搅拌机构的结构示意图；
[0017]图3是用于说明搅拌机构未工作时的材料液面为平面的示意图；[0018]图4是用于说明搅拌机构工作时的材料液面为曲面的示意图。
【具体实施方式】
[0019]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行进一步的说明。
[0020]如图1所示，本实施例的坩埚设备包括加热源120、坩埚110以及搅拌机构200。其中，所述加热源120用于对所述坩埚110内的材料进行加热，所述搅拌机构200用于对所述坩埚110内的材料进行搅拌。
[0021]所述加热源120包括桶状结构112以及缠绕在所述桶状结构112的内壁上的加热电热丝122，所述坩埚110位于所述桶状结构112内部。其中，桶状结构112可以采用金属材质。这样，将需要加热的材料装在坩埚110内，?甘埚110由电热丝加热。所述坩埚110的下部设置有隔热垫132。如图1所示，隔热垫132位于后述容纳部104的底壁与桶状结构112的底壁之间。隔热垫132可以为金属层或绝热层，防止热量散失。基于这种结构，加热电热丝122通电升温，坩埚110被加热，到达一定温度时，坩埚110内的材料会蒸发。
[0022]其中，所述加热电热丝122的缠绕密度在竖直方向上不同。其中，如图1所示，标号124表示缠绕密度在竖直方向上较密集的位于中部的加热电热丝。标号126表示缠绕密度在竖直方向上较稀疏的位于下部的加热电热丝。
[0023]所述坩埚110具有容纳部104及出口部。所述容纳部104与所述出口部连通。其中，所述出口部可以具有一个出气口 102或多个出气口。在某些实施例中，所述出口部具有多个出气口，且所述多个出气口排列成一条直线状或面状。
[0024]在本实施例的坩埚设备中，所述搅拌机构200包括搅拌扇300以及驱动所述搅拌扇300旋转的驱动源202，如图1和图2所示。其中，所述驱动源202为马达。而且，所述驱动源202通过轴承204与所述搅`拌扇300的安装轴206动力连接。
[0025]根据本发明的另一方面，还提供了一种坩埚设备在液晶面板生产中的应用，其中，所述坩埚设备为上述的坩埚设备。该坩埚设备可以用作蒸镀加热源结构。
[0026]使用该坩埚设备进行加热时，材料会蒸发直至消耗完毕，材料的放置量由坩埚的容量决定。
[0027]本实施例的坩埚设备，可以有效的使直径大的坩埚内的材料达到均匀的适合的温度。用本实施例的坩埚设备，可以相应增加坩埚的直径，达到增加容量的作用，减少材料填充的次数，减少开腔次数。
[0028]如图3所示，当坩埚内无外力作用时，材料的液面几乎是平的。材料的温度决定于距坩埚壁的距离，虽有热循环，但是因液态材料的粘滞系数较高，导致不同位置材料的温度有差异；靠近坩埚壁的材料温度较高，远离坩埚壁的材料温度较低，具体温差数值与材料热传导系数有关。
[0029]如图4所示，在搅拌机构200的作用下，材料间导热不再只依靠热循环，不同位置间的材料温差大大减小；因离心力使液面呈曲面，增加蒸发面，可以提高蒸镀速率。
[0030]在本发明的另一些实施例中，在坩埚设备工作时，搅拌机构200在材料未全部变成液态时不工作。当坩埚110内的材料全部融化以后，搅拌开启，直至材料消耗至警戒线以下。
[0031]以上【具体实施方式】对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变 化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
【权利要求】
1.一种坩埚设备，其特征在于，所述坩埚设备包括加热源(120)、坩埚(110)以及搅拌机构(200)，所述加热源(120)用于对所述坩埚(110)内的材料进行加热，所述搅拌机构(200)用于对所述坩埚(110)内的材料进行搅拌。
2.根据权利要求1所述的坩埚设备，其特征在于，所述加热源(120)包括桶状结构(112)以及缠绕在所述桶状结构(112)的内壁上的加热电热丝(122)，所述坩埚(110)位于所述桶状结构(112)内部。
3.根据权利要求2所述的坩埚设备，其特征在于，所述加热电热丝(122)的缠绕密度在竖直方向上不同。
4.根据权利要求1所述的坩埚设备，其特征在于，所述坩埚(110)的下部设置有隔热垫(132)。
5.根据权利要求1所述的坩埚设备，其特征在于，所述坩埚(110)具有容纳部及出口部，所述容纳部与所述出口部连通，所述出口部具有一个出气口(102)或多个出气口。
6.根据权利要求5所述的坩埚设备，其特征在于，所述出口部具有多个出气口，且所述多个出气口排列成一条直线状或面状。
7.根据权利要求1至6任一项所述的坩埚设备，其特征在于，所述搅拌机构(200)包括搅拌扇(300)以及驱动所述搅拌扇(300)旋转的驱动源(202)。
8.根据权利要求7所述的坩埚设备，其特征在于，所述驱动源(202)为马达。
9.根据权利要求8 所述的坩埚设备，其特征在于，所述驱动源(202)通过轴承(204)与所述搅拌扇(300)动力连接。
10.一种坩埚设备在液晶面板生产中的应用，其特征在于，所述坩埚设备为权利要求1至9任一项所述的坩埚设备。
【文档编号】C23C14/26GK103757591SQ201310754053
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2013年12月31日 优先权日:2013年12月31日
【发明者】张鑫狄, 邹清华 申请人:深圳市华星光电技术有限公司