专利名称：将金属丝自动供给到坩埚的蒸发器设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将金属丝自动供给到坩埚的蒸发器设备，该蒸发器设 备具有承载板。
背景技术：
现代平板图像显示屏包括用于再现图像或者字符的液晶元件或者等离 子体元件。近年来，也生产包括作为彩色像素的有机发光二极管(OLED)的平板图像显示屏。在生产OLED平板显示屏中，首先将ITO (铟锡氧化物)层涂到玻璃 板上，该ITO层可透光，还可导电。随后，OLED材料气相沉积在该层 上，接着金属能够气相沉积在OLED材料层上作为下一个层。为了产生蒸气，提供了将材料加热蒸发的蒸发器。通常，用于蒸发金属的加热器安装在蒸发器管子周围(DE 38175132C2， DE 10128091C1)。加热器位于蒸发器管子外部的情况下的 缺点是它们具有较大的热损失。在用金属对OLED进行涂覆时，必须产生 超过120(TC的温度以蒸发金属，这样的加热器由于其热辐射对OLED产生 不利影响。尽管还公知一种蒸发器设备，在该蒸发器的内壁上包括以石墨层为形 式的电阻加热器(USA 5157240)，但是待蒸发的材料不能够连续地供给 到在蒸发设备所利用的坩埚中。还公知一种蒸发器，待蒸发的材料能够自动供给到蒸发器，并且呈金 属丝形式(US 3467058， GB1203069)。在这些蒸发器的情况下，待涂覆 的材料必须平行于待蒸发的材料的表面设置。还公知一种将金属丝供给到坩埚的蒸发器设备(DD 76820A)。然 而，该设备自身不包括金属丝供给壳体。此外，驱动装置没有设置在承载 板上。还公知一种具有金属丝供给机构的蒸发器设备，其中，金属丝引入到坩埚(FR 1369 360A)。然而，该设备不包括可拆卸地用法兰连接到承载 板的一侧上的金属丝供给壳体。最后，还公知一种自动供给金属丝并且具有坩埚的蒸发器设备(US 5321792A)。此处没有提供用于供给金属丝的单独用凸缘连接的壳体 (即，金属丝供给壳体)。发明内容本发明旨在解决提供一种优选地用于金属的紧凑蒸发器的问题，该蒸 发器连续地供给材料，以对垂直引导的衬底进行涂覆。本发明通过下述方案实现， 一种蒸发器设备，其将金属丝自动供给到 坩埚，并且具有承载板，其特征在于a)金属丝供给壳体，其可拆卸地 用凸缘连接到所述承载板的一侧，b)线性蒸发器，其设置在所述坩埚 上，所述线性蒸发器可拆卸地用凸缘连接到所述承载板的另一侧上。本发明涉及一种将金属丝自动供给到坩埚的蒸发器设备。该蒸发器设 备的所有部件仅仅安装在一个承载板上，使得例如可以在洁净室中进行快 速安装或者拆卸，而不产生微粒。此外，加热线圈由保护管包围，使得该 加热线圈不接触待蒸发的材料。本发明获得的优点尤其包括加热元件的表面不接触潜在侵蚀性金属蒸 气。整个蒸发器单元能够设置在凸缘上，并且易于安装在涂覆单元上或者 从涂覆单元拆卸。由于蒸发器单元被热封装，所以可以在一定程度上将热 辐射到周围。
本发明示例性示例在附图中示出，并且将在下面更详细地进行描述。 在附图中，描述了图l是线性蒸发器的立体视图；图2是图l的蒸发器的侧视图，其中侧面的一部分被打开了；禾口
图3是图1中的蒸发器的分解图。
具体实施方式
图1示出了具有金属丝供给壳体2的蒸发器1。蒸发器1和金属丝供 给壳体2经由承载板3彼此连接。蒸发器1包括熔融室4，分配器壳体5 位于熔融室4上，并且用于冷却目的。分配器壳体5的后侧弯曲成U形， 并且其前开口示出分配器管子6，该分配器管子6包括线性分配器槽7。 盒子8设置在金属丝供给壳体2的顶侧，盒子8包括快速断开耦合件9、 lO和插头ll、 12。同样，具有快速断开耦合件14、 15的盒子13位于金属 丝供给壳体2的底部上。另一个盒子16设置在蒸发器1上，电气部件和电 子部件位于该盒子16中。参考标号17表示凸缘，该凸缘与金属丝供给壳 体2相连，并且用于连接到图l中未示出的装置。图2示出了具有金属丝供给壳体2的蒸发器1的一个侧面的平面视图 A (与图1比较)。通过金属丝供给壳体2的打开的开口可以明显看到金 属丝缠绕其上的供应辊20。该金属丝21从供应辊20经由金属丝导向件 22到达金属丝供给模组24，该金属丝供给模组24包括另一个金属丝导向 件23，从这里进入到熔融室4。结果，熔融室4的真空没有受到损害。用 于金属丝21运动的驱动装置没有进一步示出。图3再次示出了蒸发器1的分解视图，其中，可以看见蒸发器1的各 个结构元件。金属丝供给壳体2的侧壁30略微移动到一侧，使得可以再 看见供应辊20，金属丝21没有缠绕在供应辊20上。可以看见，金属丝 21从金属丝供给壳体2经由金属丝供给模组24引导、并且通过管子31进 入到蒸发器l。从被冷却的分配器5分解出用于绝热的支撑管35、具有 蒸气引导板33、 34的蒸发器管子6、用于保护管52的支撑和保持环37、 用于螺旋加热元件的承载件38和螺旋加热元件39本身。参考标号40表示电绝缘和被冷却的坩埚。金属丝供给壳体2上的凸起41、 41用作紧固件和用于供应电力。 用于加热蒸发器管子6的两个电线50、 51引入到支撑管35中，并且连接到螺旋加热元件39。
在图2中，图2示出了在组装状态下具有金属丝供给壳体2的蒸发器 1，由图2明显可见，金属丝21连续供给到蒸发器1，且真空没有受到损 害。参考标号25和26表示用于供给通过冷却装置的夹紧环，而结构部件 27包括导电杆。图1的整个设备仅仅安装在一个承载板上，这允许快速地引导进入洁 净室或者从洁净室移出，且没有干扰的微粒产生。通过将蒸发器1和金属 丝供给壳体2独立地安装在承载板3上，独立于这些部件而对将来的衬底 尺寸进行縮放也是可行的。如图3所示，由承载件38支撑的可电加热的螺旋加热元件39位于蒸 发器管子中。在组装状态下，螺旋加热元件39包围承载件38。承载件38和螺旋加 热元件39置于用于螺旋加热元件39的保护管52中，随后保护管52由用 于保护管52的支撑和保持环37包围。所有这些结构部件引入到蒸发器管 子6，蒸发器管子6包括具有蒸气引导板33、 34的开口7。包括其容纳物 的蒸发器管子6随后置于用于绝热的支撑管35，随后支撑管35由冷却壳 体5包围。参考标号29由用于电动机驱动金属丝供给的端子阵列。在组装状态下，被绝缘和冷却的坩埚40直接位于供应电力的紧固件 41、 42上，随后柑埚40位于由冷却装置5包围的蒸发器管子6下。在此 位置中，由蒸发材料组成的金属丝21还能够直接从供应辊20供应到蒸发 器坩埚40。金属丝供给模组24和供应辊20位于真空密封的壳体中，该真 空密封壳体使用真空技术与蒸发器管子6和处理室连接。用于螺旋加热元件39的保护管52用于防止该加热元件39通过侵蚀材 料(例如，蒸发铝)而变脆。将设备1、 2的各个部件的结构设置和设计成它们可以彼此独立地互 换，且不需要拆卸其它部件。因而，例如，被冷却装置包围的蒸发器坩埚 40可以这样布置在熔融室4中，使得其能够易于更换。
权利要求
1.一种蒸发器设备，其将金属丝(21)自动供给到坩埚(40)，并且具有承载板(3)，其特征在于包括a)金属丝供给壳体(2)，其可拆卸地用凸缘连接到所述承载板(3)的一侧，b)线性蒸发器(1)，其设置在所述坩埚(40)上方，所述线性蒸发器(1)可拆卸地用凸缘连接到所述承载板(3)的另一侧。
2. 根据权利要求1所述的蒸发器设备，其特征在于所述金属丝供给 壳体(2)包括用于金属丝(21)的缠绕辊(20)。
3. 根据权利要求1所述的蒸发器设备，其特征在于孔设置在所述承 载板(3)中，金属丝(21)经由所述孔引导到所述坩埚(40)。
4. 根据权利要求1所述的蒸发器设备，其特征在于所述线性蒸发器 (1)包括支撑管(35)，具有螺旋加热元件(39)的分配器管子(6)设置在所述支撑管(35)中。
5. 根据权利要求4所述的蒸发器设备，其特征在于所述螺旋加热元 件(39)环绕承载件(38)。
6. 根据权利要求4或者5所述的蒸发器设备，其特征在于所述螺旋 加热元件(39)和所述承载件(38)设置在保护管(52)中。
7. 根据权利要求6所述的蒸发器设备，其特征在于所述保护管 (52)的至少一端设置有支撑环(37)。
全文摘要
本发明涉及一种将金属丝自动供给到坩埚的蒸发器设备。该蒸发器设备的所有部件仅仅安装在一个承载板上，使得例如可以在洁净室中快速地进行安装或者拆卸，而不产生微粒。此外，螺旋加热元件由保护管包围，使得该螺旋加热元件不接触待蒸发的材料。
文档编号C23C14/14GK101126150SQ20071013577
公开日2008年2月20日 申请日期2007年8月16日 优先权日2006年8月16日
发明者乌尔里克·英格勒特, 吉多·哈滕多夫, 迈克尔·斯沙斐尔 申请人:应用材料合资有限公司