一种陶瓷用双开门真空镀膜的制造方法
【专利摘要】一种双开门真空镀膜机，包括真空室、弧蒸发源、真空系统、水冷系统和气路系统，所述真空室由固定设置的真空室本体和可装卸工件的室门组成，其特征在于：所述真空镀膜机设有两个分别铰接于真空室本体的左、右两侧的室门，该真空室本体及室门的外壁设有水冷槽，所述弧蒸发源的弧靶安装在真空室本体及室门上。根据本实用新型提供的双开门真空镀膜机，采用两个可装卸工件的室门，在一个室门与真空室本体进行工作时，另一个室门可装卸工件，节省了一半的工作时间，提高了工作效率，在两个室门和真空室本体上均设有弧蒸发源，并可根据镀膜的需要适当的增减从而设置成两个不同的真空室，而且在真空室本体和室门上均设置有水冷槽。
【专利说明】—种陶瓷用双开门真空镀膜机
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜设备领域，特别涉及一种双开门的真空镀膜机。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机是电弧蒸发式高真空镀膜设备，主要用于在工件表面上镀金属材料或合金材料，可以镀制TiN、TiC等超硬膜；Al、Ag、Cu等高温低温耐腐蚀膜或不锈钢铜、黄铜等装饰保护膜，在机械、化工、冶金、轻工、电子等领域广泛的使用。现有的真空镀膜设备主要的工作流程是先将工件放置于真空室内的工件架上，启动蒸发电源，对真空室内的工件进行镀膜，待镀膜完毕后，把真空室内以镀膜的产品从工件架上取出再把下一批需要镀膜的产品放置在工件架上，如此循环工作。因为工件从真空室中取出在装到工件架上需要一定的时间，而且真空室的空间越大，所需的装卸工件的时间越长，此时镀膜机处于等待状态，生产效率低。
实用新型内容
[0003]为了解决现有的真空镀膜机生产效率不高的问题，本实用新型提供了一种双开门真空镀膜机。
[0004]为此，本实用新型提供了一种双开门真空镀膜机，包括真空室、弧蒸发源、真空系统、水冷系统和气路系统，所述真空室由固定设置的真空室本体和可装卸工件的室门组成，其特征在于:所述真空镀膜机设有两个分别铰接于真空室本体的左、右两侧的室门，该真空室本体及室门的外壁设有水冷槽，所述弧蒸发源的弧靶安装在真空室本体及室门上。
[0005]进一步的，所述真空室本体及真空门采用不锈钢组焊而成。
[0006]进一步的，所述真空系统包括主泵、维持泵、粗抽泵和增压泵。
[0007]进一步的，所述真空系统的主泵为真空扩散泵、维持泵为旋片泵、粗抽泵为滑阀泵、增压泵为罗茨泵。
[0008]进一步的，所述气路系统上设有空气滤化器。
[0009]进一步的，还包括有一个电气控制系统，所述电气控制系统由人机界面及可编程控制器组成，弧蒸发电源、气路控制系统和真空控制系统的控制端与控制器连接。
[0010]本实用新型具有如下有益效果:
[0011]根据本实用新型提供的双开门真空镀膜机，采用两个可装卸工件的室门，在一个室门与真空室本体进行工作时，另一个室门可装卸工件，节省了一半的工作时间，提高了工作效率，在两个室门和真空室本体上均设有弧蒸发源，并可根据镀膜的需要适当的增减从而设置成两个不同的真空室，而且在真空室本体和室门上均设置有水冷槽。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
[0013]图1为本实施例双开门真空镀膜机工作时的示意图。
[0014]图2为本实施例双开门真空镀膜机停止工作时的示意图。
[0015]图3为本实施例双开门真空镀膜机的工作流程图。
【具体实施方式】
[0016]为了更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图详细描述本实用新型提供的实施例。
[0017]参照图1、2所示，该双开门真空镀膜机，包括真空室1、由固定设置的真空室本体101和室门102、103组成，室门102、103内分别设有用于装卸工件的工件架104。真空室本体101及室门102、103采用不锈钢组焊而成，两室门102、103个分别铰接于真空室本体101的左、右两侧，该真空室本体101及室门102、103的外壁设有水冷槽2，弧蒸发源3的弧靶安装在真空室本体101及室门102、103上。
[0018]参照图3所示，该双开门真空镀膜机还包括第一粗抽阀4、第一滑阀泵5、第二粗抽阀6、第二滑阀泵7、罗茨泵8、前置阀9、旋片泵10、扩散泵11、精抽阀12、充气阀13、节流阀14、截止阀15。
[0019]本实施例的工作流程:
[0020]预热阶段:向真空机组提供压缩空气、冷却水、工作气体，接通电源，启动电器控制系统(图中未示出)。通过电器控制系统打开旋片泵10，约2-3分钟后，启动扩散泵11，对扩散泵12的电炉进行加热当扩散泵温度达到180-200°C左右时，机壳进入正常工作阶段。
[0021]工作阶段:首先启动充气阀13，向真空室I内充气，真空室I充入大气后打开室门102，把待镀膜的工件放置在工件架上104，关上室门102扣紧门锁。依次启动第一滑阀泵5、第二滑阀泵7，开启粗抽阀4和粗抽阀6，对真空室I进行粗抽；然后通过电器系统设定真空室I的加热温度，调节电流，驱动工件架104转动，当真空压强达200pa后，启动罗茨泵8，关闭第一粗抽阀4，停止第一滑阀泵5，真空压强达2pa后，关闭第二粗抽阀6停止第二滑阀泵7，开启前置阀9，开启精抽阀12对真空室进行精抽，达到预定镀膜压强后，开启节流阀14，使真空室I内气氛稳定，开启截止阀15提供工作气体，待压强稳定后开启弧2电源，调节弧电流在一定之上进行镀膜；最后工件镀好后，依次关闭弧2电源，关闭截止阀15，关闭真空室I加热，关闭节流阀14，关闭精抽阀12，关闭前置阀9，停止罗茨泵8 ;启动充气阀13向真空室I内充入大气，真空室I充入大气候，打开室门102取出工件，将室门103送入101扣紧门锁，循环操作。
[0022]以上所述，仅为本实用新型较佳实施例而已，故不能以此限定本实用新型实施的范围，即依本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
【权利要求】
1.一种陶瓷用双开门真空镀膜机，包括真空室、弧蒸发源、真空系统、水冷系统和气路系统，所述真空室由固定设置的真空室本体和可装卸工件的室门组成，其特征在于:所述室门设有两个，两个室门分别铰接于真空室本体的左、右两侧，该真空室本体及室门的外壁设有水冷槽，所述弧蒸发源的弧靶安装在真空室本体及室门上。
2.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于:所述真空室本体及真空门采用不锈钢组焊而成。
3.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于:所述真空系统包括主泵、维持泵、粗抽泵和增压泵。
4.根据权利要求3所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于:所述真空系统的主泵为真空扩散泵、维持泵为旋片泵、粗抽泵为滑阀泵、增压泵为罗茨泵。
5.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于:所述气路系统上设有空气滤化器。
6.根据权利要求1所述的陶瓷用双开门真空镀膜机，其特征在于:还包括有一个电气控制系统，所述电气控制系统由人机界面及可编程控制器组成，弧蒸发电源、气路控制系统和真空控制系统的控制端与控制器连接。
【文档编号】C23C14/32GK204058586SQ201420362826
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2014年7月2日 优先权日:2014年7月2日
【发明者】曾小颖 申请人:曾小颖