1.一种铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，包括以下步骤：
(a)提供金属铜及金属镓；
(b)真空熔炼金属铜及金属镓，形成铜镓合金溶液；
(c)雾化所述铜镓合金溶液，形成多个铜镓合金微液滴，并冷却所述铜镓合金微液滴，形成铜镓合金粉体；
(d)混合所述铜镓合金粉体与钠化合物粉体，形成铜镓合金-钠化合物复合粉体；及
(e)利用电阻式热压法成型及致密化所述铜镓合金-钠化合物复合粉体，制得铜镓合金复合钠元素靶材。
2.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(a)还包括对金属铜进行以下步骤：
(a1)利用盐酸溶液移除金属铜表面的氧化物及污染物；
(a2)清除金属铜表面残留的盐酸溶液；及
(a3)干燥金属铜。
3.如权利要求2所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(a1)的盐酸溶液的体积浓度为95％以上。
4.如权利要求2所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(a2)是以去离子水清除金属铜表面残留的盐酸溶液。
5.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(a)的金属铜及金属镓的纯度大于99.95％。
6.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(a)的金属铜与金属镓的总重量之和的百分比以100％计，金属镓的重量百分比为5至32％，其余的重量百分比为金属铜。
7.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(b)的真空熔炼是在真空感应熔炼炉或真空电弧熔炼炉中进行。
8.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(b)的真空熔炼温度为900至1100℃。
9.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(b)的真空熔炼真空度为10-3托以上。
10.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(c)是以高压惰性气体喷击方式雾化所述铜镓合金溶液。
11.如权利要求10所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，所述惰性气体是为氩气。
12.如权利要求10所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，所述惰性气体的喷击压力为20至30大气压。
13.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(c)是以氮气喷击方式冷却所述铜镓合金微液滴。
14.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(c)是以自然冷却方式冷却所述铜镓合金微液滴。
15.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(d)是在相对湿度小于50％的大气环境下进行。
16.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(e)的电阻式热压法包括：
在所述铜镓合金-钠化合物复合粉体中通入电流，使铜镓合金产生电阻热而加热所述铜镓合金-钠化合物复合粉体；及
对所述铜镓合金-钠化合物复合粉体进行热压成型及致密化处理。
17.如权利要求16所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，所述铜镓合金-钠化合物复合粉体是置于成型模具中。
18.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(e)的成型及致密化温度为550至650℃，且持温时间为10至30分钟。
19.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(e)所述的铜镓合金-钠化合物复合粉体的成型压力为40至50MPa。
20.如权利要求1所述的铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法，其中，步骤(e)是在相对湿度小于50％的大气环境下进行。