铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法与流程

文档序号:12347450阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法,包括以下步骤:(a)提供金属铜及金属镓;(b)真空熔炼金属铜及金属镓,形成铜镓合金溶液;(c)雾化该铜镓合金溶液,形成多个铜镓合金微液滴,并冷却上述铜镓合金微液滴,形成铜镓合金粉体;(d)混合该铜镓合金粉体与钠化合物粉体,形成铜镓合金-钠化合物复合粉体;及(e)利用电阻式热压法成型及致密化该铜镓合金-钠化合物复合粉体,制得铜镓合金复合钠元素靶材。

技术研发人员:陈荣志;张瑞东
受保护的技术使用者:中国钢铁股份有限公司
文档号码:201510347623
技术研发日:2015.06.23
技术公布日:2017.01.04

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