铜铟镓硒靶材金属化层的制备方法与流程

文档序号:11429014阅读:315来源:国知局

本发明涉及一种铜铟镓硒靶材的制备方法。



背景技术:

铜铟镓硒是薄膜太阳能电池光吸收层材料,具有抗辐射能力强,工作性能稳定等优点,在制备铜铟镓硒薄膜过程中,需要铜铟镓硒靶材与铜背靶良好接触,实现良好的导电、导热效果。目前能够实现靶材与金属连接的常见工艺有钎焊法,熔焊法。对于铜铟镓硒靶材来说,由于这种靶材脆性大,易于挥发,熔焊法不适用;而钎焊法焊接无机非金属靶材时需要靶面金属化,以适合用常规的钎料焊接。目前常用的金属化工艺有银浆烧结法、蒸发法、溅射法、喷涂法等,这些工艺形成的金属化层与基体结合作用较弱,不能形成冶金结合,导电、导热能力差,不能满足太阳能电池镀膜所要求的工艺条件,镀出的膜厚度均匀性和成分均匀性差。要实现靶材与金属化层的冶金结合,需要靶材与金属化层的元素相互扩散,达到一体化的目的。



技术实现要素:

针对所提到的问题,本发明提供了一种铜铟镓硒靶材金属化层的制备方法,步骤包括:

1)按重量份数比为8~10:23~26:7~9选取铜、铟、镓原料,破碎成粗粉,混合均匀;

2)将破碎后的粗粉进行气流磨制,制得粉末,所述粉末粒度为4.5~5.5μm;

3)将气流磨制后的混合粉末装入反应釜中,抽真空后向反应釜内充入氩气,所述氩气的压强为0.3~0.5mpa,流量为30~40cc/min;

4)将所述反应釜升温至300~400℃,保温1~3h;

5)将所述反应釜升温至600~800℃,保温2~4h;

6)将所述反应釜升温至900~1100℃,保温3~5h;

7)冷却所述反应釜至80~100℃,得到铜铟镓合金;

8)将所述铜铟镓合金与硒粉分别装入石英管的两端,并对石英管进行抽真空操作,真空度达到1×10-1~1×10-4后封闭石英管;

9)采用管式炉对装有铜铟镓合金一端加热至1050~1100℃,并保持温度;

10)管式炉加热装有铜铟镓合金一端的同时加热装有硒粉一端,所述硒粉一端升温至400~450℃,保温20~30min,然后加热至500~550℃,保温6~9h,然后加热至800℃,并保持温度;

11)将装有铜铟镓合金一端降温至800℃,使铜铟镓与硒在800℃下反应20~30h;

12)关闭管式炉,停止加热,冷却至室温,得到铜铟镓硒合金锭;

13)将所述铜铟镓硒合金锭破碎成直径为1~3mm的合金块,置于球磨机内以300~500r/min的转速球磨0.5~1h,再过100目以上筛,获得铜铟镓硒粉末;

14)将厚度为8~13mm的石墨垫板置于热压炉模具的下压头上,然后将厚度为18~23mm的铜片放在石墨垫板上,在所述铜片的一面加工出深度为12~15mm的凹槽,所述凹槽位于所述铜片的中心部,所述凹槽的面积不小于铜片面积的2/3;

15)将步骤13制得的铜铟镓硒粉末放入凹槽内,再放入上压头;

16)将热压炉模具放入热压炉中进行热压烧结,将所述热压炉升温至300~400℃,保温1~3h,将所述热压炉升温至500~600℃,保温2~5h,将所述热压炉升温至650~700℃,保卫0.5~1.2h;

17)将靶材从热压炉中取出。

优选方案是:采用氢爆破碎铜、铟、镓原料。

优选方案是:单质铜、铟、镓、硒为是纯度99.999%的5n铜、5n铟、5n镓和5n硒。

优选方案是:所述升温速率为90~100℃/h。

优选方案是:所述反应釜为一体式完全封闭结构。

优选方案是:所述反应釜以角速度0.8度/秒摇摆运动。

本发明提供的新型铜铟镓硒靶材金属化层制备方法具有如下优点:

1、导电、导热性能好,由于获得的金属化层与靶材基体形成冶金结合,靶材基体与金属化层结合率接近100%,界面电阻非常低,而且能有效将热从靶面导出;

2、成本低,与靶材制备过程同步,大大降低生产成本。

具体实施方式

下面对本发明做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解,本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

实施例1

本实施例提供了一种铜铟镓硒靶材金属化层的制备方法,步骤包括:

1)按重量份数比为8:23:7选取铜、铟、镓原料,采用氢爆破碎成粗粉,混合均匀,单质铜、铟、镓、硒为是纯度99.999%的5n铜、5n铟、5n镓和5n硒;

2)将破碎后的粗粉进行气流磨制,制得粉末,所述粉末粒度为4.5μm;

3)将气流磨制后的混合粉末装入反应釜中,抽真空后向反应釜内充入氩气,所述氩气的压强为0.3mpa,流量为30cc/min,所述反应釜为一体式完全封闭结构,所述反应釜以角速度0.8度/秒摇摆运动;

4)将所述反应釜升温至300℃,保温1h;

5)将所述反应釜升温至600℃,保温2h;

6)将所述反应釜升温至900℃,保温3h;

7)冷却所述反应釜至80℃,得到铜铟镓合金;

8)将所述铜铟镓合金与硒粉分别装入石英管的两端,并对石英管进行抽真空操作,真空度达到1×10-1~1×10-4后封闭石英管;

9)采用管式炉对装有铜铟镓合金一端加热至1050℃,升温速率为90℃/h,并保持温度;

10)管式炉加热装有铜铟镓合金一端的同时加热装有硒粉一端,所述硒粉一端升温至400℃,保温20min,然后加热至500℃,保温6h,然后加热至800℃,并保持温度;

11)将装有铜铟镓合金一端降温至800℃,使铜铟镓与硒在800℃下反应20h;

12)关闭管式炉,停止加热,冷却至室温,得到铜铟镓硒合金锭;

13)将所述铜铟镓硒合金锭破碎成直径为1mm的合金块,置于球磨机内以300r/min的转速球磨0.5h,再过100目以上筛,获得铜铟镓硒粉末;

14)将厚度为8mm的石墨垫板置于热压炉模具的下压头上,然后将厚度为18mm的铜片放在石墨垫板上,在所述铜片的一面加工出深度为12mm的凹槽,所述凹槽位于所述铜片的中心部,所述凹槽的面积不小于铜片面积的2/3;

15)将步骤13制得的铜铟镓硒粉末放入凹槽内,再放入上压头;

16)将热压炉模具放入热压炉中进行热压烧结,将所述热压炉升温至300℃,保温1h,将所述热压炉升温至500℃,保温2h,将所述热压炉升温至650℃,保卫0.5h;

17)将靶材从热压炉中取出。

金属化层与靶材基体形成冶金结合,靶材基体与金属化层结合率大于98%,能有效将热从靶面导出。

实施例2

本实施例提供了一种铜铟镓硒靶材金属化层的制备方法,步骤包括:

1)按重量份数比为10:26:9选取铜、铟、镓原料,采用氢爆破碎成粗粉,混合均匀,单质铜、铟、镓、硒为是纯度99.999%的5n铜、5n铟、5n镓和5n硒;

2)将破碎后的粗粉进行气流磨制,制得粉末,所述粉末粒度为5.5μm;

3)将气流磨制后的混合粉末装入反应釜中,抽真空后向反应釜内充入氩气,所述氩气的压强为0.5mpa,流量为40cc/min,所述反应釜为一体式完全封闭结构,所述反应釜以角速度0.8度/秒摇摆运动;

4)将所述反应釜升温至400℃,保温3h;

5)将所述反应釜升温至800℃,保温4h;

6)将所述反应釜升温至1100℃,保温5h;

7)冷却所述反应釜至100℃,得到铜铟镓合金;

8)将所述铜铟镓合金与硒粉分别装入石英管的两端,并对石英管进行抽真空操作,真空度达到1×10-1~1×10-4后封闭石英管;

9)采用管式炉对装有铜铟镓合金一端加热至1100℃,升温速率为100℃/h,并保持温度;

10)管式炉加热装有铜铟镓合金一端的同时加热装有硒粉一端,所述硒粉一端升温至450℃,保温30min,然后加热至550℃,保温9h,然后加热至800℃,并保持温度;

11)将装有铜铟镓合金一端降温至800℃,使铜铟镓与硒在800℃下反应30h;

12)关闭管式炉,停止加热,冷却至室温,得到铜铟镓硒合金锭;

13)将所述铜铟镓硒合金锭破碎成直径为3mm的合金块,置于球磨机内以500r/min的转速球磨1h,再过100目以上筛,获得铜铟镓硒粉末;

14)将厚度为13mm的石墨垫板置于热压炉模具的下压头上,然后将厚度为18~23mm的铜片放在石墨垫板上,在所述铜片的一面加工出深度为15mm的凹槽,所述凹槽位于所述铜片的中心部,所述凹槽的面积不小于铜片面积的2/3;

15)将步骤13制得的铜铟镓硒粉末放入凹槽内,再放入上压头;

16)将热压炉模具放入热压炉中进行热压烧结,将所述热压炉升温至400℃,保温3h,将所述热压炉升温至600℃,保温2~5h,将所述热压炉升温至700℃,保卫1.2h;

17)将靶材从热压炉中取出。

金属化层与靶材基体形成冶金结合,靶材基体与金属化层结合率大于98.5%,能有效将热从靶面导出。

尽管本发明的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本发明的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本发明并不限于特定的细节。

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