常压化学气相淀积反应腔的制作方法

文档序号:11126705阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种常压化学气相淀积反应腔,包括腔体(1),所述腔体(1)中内置有导气管(3)及用于支撑晶圆(4)的支撑座(2),其特征在于:所述腔体(1)的内腔包括上部的反应腔(10)及下部的安装腔(11),所述导气管(3)及支撑座(2)位于所述反应腔(10)中,支撑座(2)通过支撑杆(5)活动安装于反应腔(10)中,所述支撑杆(5)活动贯穿安装于反应腔(10)与安装腔(11)之间,所述安装腔(11)中安装有与所述支撑杆(5)下端顶靠的凸轮(6),所述凸轮(6)由安装腔(11)中的电机(7)驱动。

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