一种异型孔去毛刺及孔金属化的方法与流程

文档序号:12099245阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种异型孔去毛刺及孔金属化的方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1.在线路板上钻出异型孔后,用微腐试剂均匀涂抹于钻孔区域线路板的表面;

S2.用风机吹干层板,将线路板表面及孔内的粉尘吹出;

S3.去毛刺后,对线路板异型孔孔内壁进行磁控溅射电镀。

2.根据权利要求1所述的一种异型孔去毛刺及孔金属化的方法,其特征在于,所述步骤S3 中,磁控溅射形成的铜层厚度为0.18-0.35μm。

3.根据权利要求1所述的一种异型孔去毛刺及孔金属化的方法,其特征在于,步骤S3中,磁控溅射的方法为:溅射的靶材为99.999% 的高纯铜,金属的直径为15-25mm、厚度为1-3mm;靶和基板之间的距离为12-15cm,工作气体为 99.99% 的高纯氮气和99.99%的高纯氩气,分别使用质量流量计控制;基板在放入真空室之前,分别用丙酮、酒精、去离子水超声清洗,溅射前将真空室气压抽到0.5×10-5-1.5×10-5Pa,并充入氩气预溅射3-5min以清洗靶面;随后通入氮气,控制总溅射气压在6-10Pa,控制氮气与氩气的比例为1:2,溅射功率控制在105-118w,溅射时间为20-40min。

4.根据权利要求1所述的一种异型孔去毛刺及孔金属化的方法,其特征在于,所述步骤S1 中,所述微腐试剂包括聚乙烯吡咯烷酮、氨水和醋酸,其中三种组份的体积比为:聚乙烯吡咯烷酮:氨水:醋酸=55:25:33。

5.根据权利要求4所述的一种异型孔去毛刺及孔金属化的方法,其特征在于,所述聚乙烯吡咯烷酮的质量浓度为36%,氨水的质量浓度为32%,醋酸的质量浓度为98%。

6.根据权利要求1所述的一种异型孔去毛刺及孔金属化的方法,其特征在于,所述步骤S1 中,采用微腐试剂腐蚀时间为12-22秒,腐蚀温度为36℃-48℃。

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