技术总结
本发明涉及的一种带除尘结构的陶瓷抛光设备，属于半导体设备领域。它包括抛光结构和除尘结构，所述抛光结构具有抛光机机架，所述抛光机机架上方固定有主驱动电机和辅助驱动电机，所述主驱动电机通过带传动连接有主驱动轴，所述主驱动轴通过带传动连接有抛光件，所述抛光件下方设置有用于安放陶瓷工件的工作台，所述工作台下方设有粉尘集中箱，所述粉尘集中箱与除尘机构连接，所述除尘机构包括用于吸取粉尘的吸尘泵和用于过滤粉尘的过滤机构。
技术研发人员：吴雯
受保护的技术使用者：苏州仓旻电子科技有限公司
文档号码：201610950344
技术研发日：2016.10.27
技术公布日：2017.02.15