一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置的制作方法

文档序号:11126659阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置,包括真空箱(1)、电子气压表(2)、温度表(3)、冷却仓(4)、固定传送轮(5)、冷却装置(6)、靶极(7)、烘干仓(8)、数控装置(9)、传动轴(10)、传动链带(11)、底座(12)、定滑轮(13)、放卷装置(14)、收卷装置(15)和载物支架(16),其特征在于:所述真空箱(1)左侧设置有电子气压表(2)和温度表(3),所述真空箱(1)上方安装有冷却仓(4),所述冷却仓(4)上方设置有固定传动轮(5),所述真空箱(1)右侧安装有烘干仓(8),所述烘干仓(8)右侧设置有数控装置(9),且烘干仓(8)右侧安装有传动轴(10),所述传动轴(10)与传动链带(11)连接,所述真空箱(1)和烘干仓(8)固定在底座(12)上,所述底座(12)左上侧安装有定滑轮(13),且底座(12)左上侧固定有放卷装置(14)和收卷装置(15),所述传动链带(11)上设置有载物支架(16)。

2.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置,其特征在于:所述固定传送轮(5)通过弹簧固定。

3.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置,其特征在于:所述靶极(7)可以多向旋转。

4.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置,其特征在于:所述真空箱(1)竖直设置。

5.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置,其特征在于:所述数控装置(9)通过电路与电子气压表(2)和温度表(3)相连接。

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