基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法与流程

文档序号:12110040阅读:来源:国知局

技术特征:

1.基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一:清洗基片;

步骤二:将基片与靶材置于真空腔内,抽真空;

步骤三:基底加热,充入气氛并调节气体流量与压强;

步骤四:在基片上溅射沉积薄膜;

步骤五:退火处理薄膜。

2.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,步骤一中所用基片为SiO2

3.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,步骤一中超声清洗SiO2基片依次采用丙酮、异丙醇、去离子水、无水乙醇,超声清洗时间分别为10-15min。

4.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,步骤二所述的靶材为CeYIG靶材,满足化学式CexY3-xFe5O12,0.1≤x≤1,x为Ce3+离子含量。

5.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,靶材与基片之间的距离为4-8cm。

6.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,步骤三所述的SiO2基底的温度为550℃-750℃。

7.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,步骤三所述充入气氛为O2,氧压选择在5-10Pa之间。

8.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,激光能量范围从160mJ到320mJ,激光频率为2-10Hz。

9.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,步骤五中退火气氛选择空气、氩气或氢气。

10.根据权利要求1所述的基于石英衬底的掺杂钇铁石榴石薄膜脉冲激光沉积方法,其特征在于,步骤五中退火晶化温度为700-850℃,保温时间10-30min。

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