1.一种铜面有机酸型超粗化剂,其包括有机酸、卤素离子和二价铜离子,其特征在于:还包括咪唑啉类缓蚀剂。
2.如权利要求1所述的铜面有机酸型超粗化剂,其中卤素离子的含量为50-80g/l,二价铜离子含量为15-50g/l,咪唑啉类缓蚀剂含量为0.1-10g/l。
3.如权利要求1所述的铜面有机酸型超粗化剂,其pH值为2.0~5.0,且还包括与所述有机酸形成缓冲体系的有机酸盐。
4.如权利要求1-3任一项所述的铜面有机酸型超粗化剂,其中咪唑啉类缓蚀剂含量为0.5-8g/l。
5.如权利要求1-3任一项所述的铜面有机酸型超粗化剂,其中咪唑啉类缓蚀剂选自咪唑啉及咪唑啉衍生物。
6.如权利要求5所述的铜面有机酸型超粗化剂,其中咪唑啉类缓蚀剂选自:咪唑啉、季铵盐咪唑啉、酰胺基咪唑啉、硫脲基咪唑啉、苯并咪唑啉、磷酰胺咪唑啉、2-甲基咪唑啉、烷基咪唑啉及其组合。
7.如权利要求3所述的铜面有机酸型超粗化剂,其包括:C1~C6饱和脂肪酸及C1~C6饱和脂肪酸盐作为所述缓冲体系;且所述卤素离子为氯离子或溴离子。
8.如权利要求1所述的铜面有机酸型超粗化剂,包括:
C1~C6饱和脂肪酸:60-90g/l;
C1~C6饱和脂肪酸盐:50-80g/l;
卤素离子源:以控制卤素离子含量为50-80g/l;
二价铜化合物,以控制铜离子含量为15-50g/l;
碱性物质,其控制氢氧根离子含量为10-40g/l;
咪唑啉类缓蚀剂:0.1-10g/l;
水:余量。