一种金刚石涂层刀具的退涂方法与流程

文档序号:12415750阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:包括以下步骤:将金刚石涂层刀具放入微波等离子体化学气相沉积设备的腔室内,抽真空,然后通入氮气,使腔室内压力达到6~8kPa,设置微波的频率为2.45GHz、功率为3~6kW或者选用微波的频率为916MHz、功率不小于35kW,升高温度至300~500℃,以200~300sccm通入氧气,保温,得到刀具基体。

2.根据权利要求1所述的金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:所述金刚石涂层刀具在退涂前进行预处理,所述预处理包括预清洗处理和干燥,所述预清洗处理采用乙醇和丙酮的混合溶液作为清洗液,预清洗时间为20~40min。

3.根据权利要求2所述的金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:所述干燥为先使用压缩空气对金刚石涂层刀具表面进行预干燥,然后烘干。

4.根据权利要求1所述的金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:所述抽真空至真空度达到1×10-2Pa以下。

5.根据权利要求1所述的金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:所述保温时间为10~60min。

6.根据权利要求1所述的金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:对退涂后得到的刀具基体进行喷砂处理和清洗处理,所述清洗处理使用乙醇作为清洗液,用超声进行清洗。

7.根据权利要求6所述的金刚石涂层刀具的退涂方法,其特征是:所述喷砂处理的参数为:喷嘴压力1.5~2bar,喷砂时间10~30s。

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