1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：主基板，辅助基板，其中，所述主基板包括掩膜版吸附部。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述掩膜版至少部分由磁性金属构成，所述掩膜版吸附部包括电磁单元，所述电磁单元在电流的控制下可以产生磁场。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述辅助基板包括吸附装置，所述吸附装置包括真空掩膜版吸附装置或者磁力掩膜版吸附装置，所述磁力掩膜版吸附装置在电流的控制下可以产生磁场。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述主基板包括真空吸附部，所述真空吸附部用于吸附蒸镀基板。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述主基板设置有对位装置。
6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述辅助基板设置有与所述主基板对应的辅助对位装置。
7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述主基板面向所述辅助基板一侧面为至少部分区域为平滑表面。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述主基板与所述辅助基板可以在机械作用下反转180°。
9.一种有机电致发光显示面板蒸镀方法，包括使用如权利要求1-7任一所述蒸镀装置。
10.如权利要求9所述的有机电致发光显示面板蒸镀方法，其特征在于，包括：将所述蒸镀基板放在所述主基板的平滑表面，所述辅助基板的所述吸附装置开启，吸附所述掩膜版，将主基板与辅助基板对位，开启所述掩膜版吸附部，关闭所述辅助基板的所述吸附装置，并将主基板与辅助基板翻转180°，移除辅助基板后，开始有机电致发光显示面板的蒸镀。