一种蒸镀装置及有机电致发光显示面板蒸镀方法与流程

技术总结
本发明公开了一种蒸镀装置及有机电致发光显示面板蒸镀方法，蒸镀装置包括：主基板，辅助基板，其中，所述主基板包括掩膜版吸附部。本发明提供的蒸镀装置及有机电致发光显示面板蒸镀方法，有效的避免了蒸镀过程中，基板在对位过程中由于自身重量而下垂，导致掩膜版与基板对位误差较大问题，提高产品良率。

技术研发人员：郭建华
受保护的技术使用者：长春海谱润斯科技有限公司
文档号码：201611243953
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2017.05.31