一种紧凑型蒸发炉的制作方法

文档序号:12430819阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种紧凑型蒸发炉,包括铜蒸发炉和硒蒸发炉,其特征在于:所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套,所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚,所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层,所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧,且从内往外依次设置,所述的热屏蔽层依次间隔设置,所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上,所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。

2.根据权利要求1所述的紧凑型蒸发炉,其特征在于:还包括冷却水管,所述冷却水管固定在硒炉坩埚的外壁上,且冷却水管沿硒炉坩埚的上下方向依次来回设置,从而分布于硒炉坩埚的圆周方向上。

3.根据权利要求2所述的紧凑型蒸发炉,其特征在于:还包括环状的卡箍,所述卡箍套设在硒炉坩埚外侧并将冷却水管夹紧在硒炉坩埚上。

4.根据权利要求2所述的紧凑型蒸发炉,其特征在于:所述冷却水管外侧设置有隔热屏。

5.根据权利要求4所述的紧凑型蒸发炉,其特征在于:所述隔热屏为不锈钢材质。

6.根据权利要求1所述的紧凑型蒸发炉,其特征在于:所述热屏蔽层设置为7层。

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