一种紧凑型蒸发炉的制作方法

文档序号:12430819阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种紧凑型蒸发炉,包括铜蒸发炉和硒蒸发炉,其特征在于:所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套,所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚,所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层,所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧,且从内往外依次设置,所述的热屏蔽层依次间隔设置,所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上,所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。本实用新型结构简单,设计合理,能实现蒸发炉小型化。

技术研发人员:张卫卫;朱家宽;刘杰鹏;孙朋超;王孟孟;张啸潮;彭在长;张情情
受保护的技术使用者:旭科新能源股份有限公司
文档号码:201620692179
技术研发日:2016.06.28
技术公布日:2016.12.14

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