一种新型类金刚石薄膜涂层的制作方法

文档序号:11701104阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型类金刚石薄膜涂层,包括与不锈钢金属表面结合的基层以及位于该类金刚石薄膜涂层表面的功能层,所述基层为Cr层,所述功能层为类金刚石层;其特征在于:

所述基层和所述功能层之间还设有第一过渡层和第二过渡层,所述第一过渡层位于所述功能层的下方,为WC层,所述第二过渡层位于所述基层和所述第一过渡层之间,为CrWC层。

2.根据权利要求1所述的一种新型类金刚石薄膜涂层,其特征在于:所述基层是通过磁控溅射工艺或多弧离子镀工艺沉积而成的。

3.根据权利要求1所述的一种新型类金刚石薄膜涂层,其特征在于:所述第一过渡层和所述第二过渡层均是通过磁控溅射工艺或多弧离子镀工艺沉积而成的。

4.根据权利要求1所述的一种新型类金刚石薄膜涂层,其特征在于:所述功能层是通过过滤阴极真空电弧沉积工艺或多弧离子镀工艺沉积的。

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