一种蒸镀坩埚的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚。

背景技术：

目前，市场上广泛使用的显示器为是液晶显示器((Liquid Crystal Display，简称LCD)和有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)，OLED器件因具有制作工艺简单、颜色可调、功耗低等诸多优点，在显示和照明领域都是开发与投资的热点。随着 OLED显示器件的用途愈加广泛，其制作工艺也日趋成熟。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热传印等多种方式。在这些制作方法中，蒸镀方式是一种比较成熟的方法，且已经运用于量产。

然而，在蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机材料为蓬松结构，很容易在坩埚盖的喷嘴部位集结导致喷嘴堵塞，而OLED显示器件制作需要在持续的真空环境下连续完成有机物的蒸镀，因此，喷嘴一旦被堵塞，将使待蒸镀材料无法蒸发出，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产进度和产品品质。现有技术中，在喷嘴堵塞时，通过将待蒸镀材料降至室温，打开坩埚盖，处理完堵塞的喷嘴后，再密封蒸镀坩埚，然后再次加热待蒸镀材料，继续蒸镀工艺。而这一过程通常耗时较长，严重影响生产效率。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供一种蒸镀坩埚，可缩短疏通堵塞喷嘴的时间，提高生产效率。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体和坩埚盖，所述坩埚盖上设置有至少一个喷嘴；还包括与所述喷嘴一一对应的疏通结构，所述疏通结构包括穿过坩埚本体底部伸向坩埚本体内部的移动杆；所述移动杆位于所述坩埚本体内部的一端可穿过所述喷嘴。

优选的，所述疏通结构还包括嵌入所述坩埚本体底部且两端均为开口的中空壳体，所述中空壳体的一端开口位于所述坩埚本体外部，另一端开口位于所述坩埚本体内部；位于所述坩埚本体内部的开口通过盖体打开或盖合；所述移动杆穿过所述中空壳体的位于所述坩埚本体外部的开口，伸入所述中空壳体的中空区。

优选的，所述中空壳体的中空区在所述坩埚本体底部的正的投影覆盖所述喷嘴在所述坩埚本体底部的正投影。

优选的，所述蒸镀坩埚还包括与所述移动杆位于所述坩埚本体外部的一端相连的第一驱动装置；所述第一驱动装置至少用于带动所述移动杆上下移动。

优选的，所述疏通结构还包括支撑杆，所述支撑杆的一端与所述盖体连接，另一端位于所述坩埚本体外部且与第二驱动装置连接；所述第二驱动装置用于带动所述支撑杆上下移动和水平转动。

优选的，所述中空壳体的高度与所述盖体的厚度之和大于所述坩埚本体高度的3/4。

优选的，所述移动杆内部中空，第一加热结构设置在所述移动杆内；所述移动杆的侧面设置有第一温度传感器。

优选的，所述中空壳体的内壁和外壁之间具有中空部分，所述中空部分围绕所述内壁一圈设置，第二加热结构设置在所述中空部分；所述外壁靠近所述中空部分一侧设置有第二温度传感器。

进一步优选的，所述蒸镀坩埚还包括设置在所述中空部分且两端均为开口的内套管，所述支撑杆穿过所述内套管。

优选的，所述盖体盖合在所述中空壳体的外侧；其中，所述盖体包括顶壁和侧壁。

本实用新型提供一种蒸镀坩埚，通过在坩埚本体内部设置与喷嘴一一对应的疏通结构，疏通结构包括从坩埚本体底部伸入坩埚本体内部，且位于坩埚本体内部的一端能够穿过喷嘴的移动杆。当喷嘴堵塞时，将蒸镀坩埚移动到非蒸镀区，移动杆向上移动穿过喷嘴，使喷嘴疏通后，再将蒸镀坩埚移动到蒸镀区，继续蒸镀工艺。与现有技术相比，本实用新型提供的蒸镀坩埚疏通堵塞喷嘴的过程耗时较短，生产效率较高。此外，在移动杆伸入喷嘴后，通过带动移动杆水平转动，可进一步提升喷嘴的疏通效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1(a)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图一；

图1(b)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图二；

图2为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图三；

图3为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图四；

图4(a)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图五；

图4(b)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图六；

图5为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图七；

图6为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图八；

图7(a)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图九；

图7(b)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图十；

图8为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图十一；

图9为本实用新型实施例提供的一种盖体的结构示意图。

10-坩埚本体；20-坩埚盖；21-喷嘴；30-疏通结构；31-移动杆；32-中空壳体；321-内壁；322-外壁；33-盖体；331-顶壁；332-侧壁； 34-支撑杆；35-内套管；41-第一驱动装置；42-第二驱动装置；51-第一加热结构；52-第二加热结构；61-第一温度传感器；62-第二温度传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种蒸镀坩埚，如图1(a)和图1(b)所示，包括坩埚本体10和坩埚盖20，坩埚盖20上设置有至少一个喷嘴21；还包括与喷嘴21一一对应的疏通结构30，疏通结构30包括穿过坩埚本体底部伸向坩埚本体内部的移动杆31；移动杆31位于坩埚本体内部的一端(图1(a)中箭头所指的一端)可穿过喷嘴21。

需要说明的是，第一，不对喷嘴21在坩埚盖20上的具体位置进行限定，例如，如图1(a)所示，若本实用新型实施例提供的蒸镀坩埚为点源蒸镀坩埚，则喷嘴21可以设置在坩埚盖20的中心；如图1(b) 所示，若本实用新型实施例提供的蒸镀坩埚为线源蒸镀坩埚，则喷嘴 21可以在坩埚盖20上均匀排布。

其中，不对喷嘴21的具体形状进行限定，图1(a)和图1(b)中喷嘴21的形状仅为示意。

第二，蒸镀坩埚内设置有与喷嘴21一一对应的疏通结构30，即如图1(b)所示，每一喷嘴21的下方均设置有一个疏通结构30。

第三，本领域技术人员应该明白，蒸镀坩埚对有机材料进行蒸镀的过程中是在真空环境下进行的，因此移动杆31穿过坩埚本体底部伸向坩埚本体内部后，移动杆31与坩埚本体底部接触位置处应处于密封状态。此处，不对密封方式进行限定。

此外，本实用新型实施例是通过使移动杆31穿过喷嘴21来疏通堵塞后的喷嘴21，因此，如图1(a)和1(b)所示，喷嘴21在坩埚本体底部的正投影应能够覆盖移动杆31在坩埚本体底部的正投影，使得移动杆31位于喷嘴21正下方，且移动杆31的横截面积小于喷嘴21 的横截面积，即移动杆31能够伸入喷嘴21内。在此基础上，在喷嘴 21不需要疏通时，移动杆31需不能影响有机材料从喷嘴21喷出，在喷嘴21需要疏通时，移动杆31需穿过喷嘴21，来使喷嘴21疏通，因此，首先，移动杆31在坩埚本体内部至少可上下移动，更进一步的，为了提升疏通效果，还可以水平转动；其次，移动杆31的长度需满足在移动杆31向上运动时，其位于坩埚本体内部的一端可穿过喷嘴21。

第四，不对移动杆31的材料进行限定，移动杆31的材料可以但不限于为金属材料。

此外，本领域技术人员应该明白，为保证坩埚本体内部处于真空状态，外界空气应无法通过移动杆31进入坩埚本体内部。

第五，不对坩埚本体10的材料进行限定，满足耐高温、导热性能好、不易形变且不与待蒸镀材料发生反应即可。例如坩埚本体10 的材料可选用钛、铜、铝等金属，也可以选用石英、陶瓷等材料。

其中，不对坩埚本体10和坩埚盖20的形状进行限定，图1(a) 和1(b)中坩埚本体10和坩埚盖20的形状仅为示意。

此外，不对坩埚本体10和坩埚盖20的盖合方式进行限定，能够密封坩埚本体10的开口即可。

本实用新型实施例提供一种蒸镀坩埚，通过在坩埚本体内部设置与喷嘴21一一对应的疏通结构30，疏通结构30包括从坩埚本体底部伸入坩埚本体内部，且位于坩埚本体内部的一端能够穿过喷嘴21 的移动杆31。当喷嘴21堵塞时，将蒸镀坩埚移动到非蒸镀区，移动杆31向上移动穿过喷嘴21，使喷嘴21疏通后，再将蒸镀坩埚移动到蒸镀区，继续蒸镀工艺。与现有技术相比，本实用新型提供的蒸镀坩埚疏通堵塞喷嘴21的过程耗时较短，生产效率较高。此外，在移动杆31伸入喷嘴21后，通过带动移动杆31水平转动，可进一步提升喷嘴21的疏通效果。

优选的，如图2所示，疏通结构30还包括嵌入坩埚本体底部且两端均为开口的中空壳体32，中空壳体32的一端开口位于坩埚本体外部，另一端开口位于坩埚本体内部；位于坩埚本体内部的开口通过盖体33打开或盖合；移动杆31穿过中空壳体32的位于坩埚本体外部的开口(图2中箭头所指的开口)，伸入中空壳体32的中空区。

需要说明的是，第一，本领域技术人员应该明白，对有机材料的蒸镀需要在真空环境下进行，因此，如图2所示，中空壳体32嵌入坩埚本体10后，中空壳体32与坩埚本体底部接触位置处应连接为一体型，处于密封状态。此处，不对密封方式进行限定。

其中，不对位于坩埚本体10外部的中空壳体32的长度进行限定，能够使中空壳体32与坩埚本体底部接触位置处应处于密封状态即可。可以是中空壳体32的一端与中空壳体底部齐平，也可以是如图 2所示，中空壳体32的一端伸出中空壳体底部。

此外，不对中空壳体32和盖体33的材料进行限定，满足耐高温、导热性能好、不易形变且不与待蒸镀材料发生反应即可。

第二，不对盖体33对中空壳体32开口的盖合方式进行限定，能够密封中空壳体32的开口即可。

其中，本领域技术人员应该明白，中空壳体32和盖体33均位于坩埚本体10内部，且不能影响蒸镀坩埚的正常蒸镀，因此，在使盖体33能够自由打开和盖合中空壳体32开口的同时，应不能影响坩埚盖20对坩埚本体10的盖合。

此外，为了使盖体33在打开中空壳体32的开口时不会受阻，且不会有待蒸镀材料从中空壳体32中流出，中空壳体32在盖合盖体 33后，其高度应大于坩埚本体32的最大材料添加量。

第三，移动杆31伸入中空壳体32的中空区，即中空壳体32中空区的横截面积应大于移动杆31的横截面积。

本实用新型通过在移动杆31外设置中空壳体32，在正常蒸镀时，移动杆31位于中空壳体32的中空区，通过盖体33对中空壳体32进行盖合；在需要疏通喷嘴21时，盖体33打开，移动杆31移动至喷嘴21中，以疏通喷嘴21。由于中空壳体32中空区的横截面积大于移动杆31的横截面积，因此，在疏通喷嘴21的过程中，移动杆31 可在中空壳体32的中空区内水平移动，使移动杆31能够在喷嘴21 内移动，从而提高喷嘴的疏通效果。

优选的，如图3所示，中空壳体32的中空区在坩埚本体底部的正的投影覆盖喷嘴21在坩埚本体底部的正投影。

即，中空壳体32的中空区的横截面积大于等于喷嘴21的横截面积，使得移动杆31在中空区移动一圈之后，对喷嘴21的每一处都进行疏通。

本实用新型通过使中空壳体32的中空区在坩埚本体底部的正投影覆盖喷嘴21在坩埚本体底部的正投影，使得移动杆31通过水平移动能够实现对喷嘴21每一处的疏通，从而更好的保证疏通效果。

进一步优选的，喷嘴21的横截面形状、移动杆31的横截面形状、中空区的横截面形状，三者是相似图形。这样一来，可以使中空壳体 32的体积减小，从而使坩埚本体10中的待蒸镀材料尽可能多，减少待蒸镀材料的加料次数。

优选的，如图4(a)和图4(b)所示，所述蒸镀坩埚还包括与移动杆 31位于坩埚本体10外部的一端相连的第一驱动装置41；第一驱动装置41至少用于带动移动杆31上下移动。

即，当移动杆31只上下移动时，第一驱动装置41带动仅用于带动移动杆31上下移动，当移动杆31既上下移动，又水平移动，第一驱动装置41还可以带动移动杆31进行完成移动。

其中，不对第一驱动装置41进行限定，例如可以为机械马达。

本实用新型通过用第一驱动装置41控制移动杆31的移动，可实现疏通喷嘴21过程的全自动化，提高生产效率。

优选的，如图5所示，疏通结构30还包括支撑杆34，支撑杆34 的一端与盖体33连接，另一端位于坩埚本体外部且与第二驱动装置连接42；第二驱动装置42用于带动支撑杆34上下移动和水平转动。

需要说明的是，第一，不对支撑杆34的具体设置位置进行限定，不会破坏坩埚本体10内部的真空环境，且不影响移动杆31的移动即可，图5中支撑杆34的设置位置仅为示意。

其中，不对支撑杆34与盖体33的连接方式进行限定，能够带动盖体33移动即可。

此外，不对支撑杆34的材料进行限定，满足耐高温、导热性能好且不易形变即可。

第二，不对第二驱动装置42进行限定，例如可以为机械马达。

本实用新型通过用第二驱动装置42来带动支撑杆34的上下移动和水平转动，可使盖体33开启或闭合中空壳体32的过程自动化，提高生产效率。

优选的，中空壳体32的高度与盖体33的厚度之和大于坩埚本体 10高度的3/4。

此处，由于坩埚本体10的最大材料添加量一般为坩埚本体10 高度的3/4，因此，本实用新型通过将中空壳体32的高度与盖体33 的厚度之和设置为大于坩埚本体10的最大材料添加量，可以避免材料高度高于中空壳体32高度时，盖体33打开后，材料从中空区漏出或者盖体33无法打开。

优选的，如图6所示，移动杆31内部中空，第一加热结构51 设置在移动杆31内；移动杆31的侧面设置有第一温度传感器61。

需要说明的是，第一，不对第一加热结构51的具体结构进行限定，例如但不限于为加热丝。

其中，如图6所示，可以仅在移动杆31顶端(伸入到喷嘴21 内的一端)的位置处设置第一加热结构51，也可以在整个移动杆31 内均设置第一加热结构51。

第二，为了避免待蒸镀材料进入移动杆31的内部，影响第一加热结构51，移动杆31为顶端封闭型中空结构。第一加热结构51的控制线路从移动杆31的底部开口处引出。

第三，不对第一温度传感器61的具体设置位置进行限定，能准确检测到移动杆31的温度即可。若将第一温度传感器61设置在移动杆31的外侧表面，应避免待蒸镀材料对第一温度传感器61的影响，此外，还应避免第一温度传感器61影响移动杆31对喷嘴21的疏通。当然，也可以将第一温度传感器61设置在移动杆31的内侧表面。

其中，不对第一温度传感器61的种类进行限定，例如但不限于是接触性温度传感器。

本实用新型通过将移动杆31设置为顶端封闭型中空结构，并在移动杆31的内部设置第一加热结构51，通过第一加热结构51对移动杆31进行加热，移动杆31伸入喷嘴21后，可使移动杆31对堵塞在喷嘴21中的材料进行气化处理，从而提高喷嘴的疏通效果。此外，通过在移动杆31的侧面设置第一温度传感器61，实现对加热温度的实时监测，在此基础上，通过控制结构对第一加热结构51的加热温度实时调控，从而保证移动杆31上温度的稳定性。

优选的，如图7(a)和图7(b)所示，中空壳体32的内壁321和外壁322之间具有中空部分，中空部分围绕内壁321一圈设置，第二加热结构51设置在中空部分；外壁322靠近中空部分一侧设置有第二温度传感器62。

需要说明的是，第一，本领域技术人员应该明白，内壁321和外壁322之间具有中空部分，而内壁321和外壁322作为中空壳体32 的壁，两者之间必然有连接部分使内壁321和外壁322连接起来。为了避免待蒸镀材料进入中空部分对第二加热结构52和第二温度传感器62产生影响，如图7(a)和图7(b)所示，内壁321和外壁322在中空壳体32的顶端(与盖体33盖合的一端)处连接。为了便于对第二加热结构52进行更换，内壁321和外壁322在中空壳体32的底端处不连接，此时，第二加热结构52的控制线路从中空部分底端引出。

第二，不对第二加热结构52的具体结构进行限定，例如但不限于为加热丝。

第三，不对第二温度传感器62的具体设置位置进行限定，能准确检测到中空壳体32的温度即可。

其中，不对第一温度传感器61的种类进行限定，例如但不限于是接触性温度传感器。

本实用新型通过使中空壳体32的内壁321和外壁322之间具有中空部分，并在中空部分设置第二加热结构52，可使中空壳体32的外壁322能够对待蒸镀材料进行加热。中空壳体32与喷嘴21一一对应，则中空壳体32在坩埚本体内部也是均匀设置，相对于现有技术中仅在坩埚本体10外围设置加热结构，本实用新型能够有效提高坩埚本体内部待蒸镀材料受热的均一性，避免因坩埚本体10局部温度高而使待蒸镀材料出现变性灰化的现象。

此外，通过在外壁322靠近中空部分一侧设置第二温度传感器 62，实现对加热温度的实时监测，在此基础上，控制结构对第二加热结构52的加热温度实时调控，从而保证中空壳体32上温度的稳定性。

进一步优选的，如图8所示，所述蒸镀坩埚还包括设置在所述中空部分且两端均为开口的内套管35，支撑杆34穿过所述内套管35。

其中，不对内套管35在中空部分的固定方式进行限定，不影响第二加热结构52的设置即可。例如可以悬挂固定在内壁321和外壁 322的连接部分上，也可以固定在外壁322上。

此外，不对内套管35的长度进行限定，不超过中空壳体32的顶端即可。

再者，不对内套管35的材料进行限定，满足耐高温、导热性能好且不易形变即可。

本实用新型通过在中空部分设置两端均为开口的内套管35，并使支撑杆34穿过内套管35，可以防止移动杆31在移动或者转动的过程中大幅度摆动。

优选的，盖体33盖合在中空壳体32的外侧，如图9所示，所述盖体33包括顶壁331和侧壁332。

此时，支撑杆34带动盖体33打开中空壳体32的开口时，支撑杆34需先向上移动，在水平转动。

本实用新型通过使盖体33包括顶壁331和侧壁332，使得侧壁 332在坩埚本体内部气压的作用下能够使盖体33更紧密的盖合在中空壳体32上。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。