技术总结
内衬直管和多孔挡板复合型的多级磁场电弧离子镀方法，属于材料表面处理技术领域，本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒及沉积离子对管内壁污染和电弧等离子体传输过程中的损失问题。本发明方法包括：一、将待镀膜的工件置于真空室内的样品台上，接通相关电源，开启外部水冷系统；二、薄膜沉积：待真空室内的真空度小于10‑4Pa时，通入工作气体并调整气压，开启镀膜电源，同时利用偏压电源吸引出口处的电弧等离子体和进行能量调节，通过内衬正偏压直管和多孔挡板复合型装置自身形状和结构组合的阻挡屏蔽和正偏压电场抑制作用及多级磁场的过滤效应来有效消除大颗粒缺陷和保证电弧等离子体的传输效率，设置工艺参数，进行薄膜制备。
技术研发人员：魏永强;宗晓亚;张华阳;侯军兴;刘源;刘学申;蒋志强;冯宪章
受保护的技术使用者：魏永强
文档号码：201710053019
技术研发日：2017.01.22
技术公布日：2017.05.17