抛光头的制作方法

本发明涉及一种抛光头。

背景技术：

相关技术中，抛光头设计有浮动结构，在常见的化学机械抛光机的抛光头，其浮动结构的转动中心高于工件的抛光表面。

这种方式下，工件抛光表面与抛光盘之间的摩擦力，使得抛光头向抛光盘转动方向翘起，导致工件边缘抛光速率快，工件表面平面度差，抛光效果不佳。

技术实现要素：

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的目的在于提出一种抛光头，能够减小接触点变形，减少工件与抛光盘之间的偏摆，弥补抛光头与抛光盘之间的平行度误差，使工件贴合在抛光盘表面，且提升抛光效果。

为达到上述目的，本发明实施例提出的抛光头，包括：基板、驱动件、上浮动件、下浮动件、传动件，以及吸附件，其中，所述驱动件包括：第一连接端，和第一传动端；所述上浮动件包括：第二连接端和上浮动端，所述第二连接端与所述第一连接端同轴心固定相连，所述上浮动端为凹球面或者凹圆锥面；所述下浮动件包括：下浮动端和第三连接端，所述下浮动端为凸球面；所述下浮动端的凸球面与所述上浮动端的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连，且所述上浮动件与所述下浮动件之间进行浮动的转动中心不高于工件的抛光表面。

本发明实施例提出的抛光头，通过抛光头的下浮动端的凸球面与上浮动端的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连，减小接触点变形，减少工件与抛光盘之间的偏摆，弥补抛光头与抛光盘之间的平行度误差，使工件贴合在抛光盘表面，且提升抛光效果。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明一个实施例的抛光头的结构示意图；

图2为本发明实施例中驱动件的结构示意图；

图3为本发明实施例中上浮动件的结构示意图；

图4为本发明实施例中下浮动件的结构示意图；

图5为本发明实施例中基板的结构示意图；

图6为本发明实施例中传动件的结构示意图。

附图标记：

抛光头100；

基板101；驱动件102；上浮动件103；下浮动件104；传动件105；吸附件106；

第四连接端1011；加载端1012；第二传动端1013；

第一连接端1021；第一传动端1022；驱动端1023；

第二连接端1031；上浮动端1032；第一沟槽1033；

下浮动端1041；第三连接端1042；第二沟槽1043；

传动侧A1051；传动侧B1052。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。相反，本发明的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。

图1是根据本发明一个实施例的抛光头的结构示意图。

参见图1，该抛光头100包括：基板101、驱动件102、上浮动件103、下浮动件104、传动件105，以及吸附件106，具体而言，驱动件102包括：第一连接端1021，和第一传动端1022；上浮动件103包括：第二连接端1031和上浮动端1032，第二连接端1031与第一连接端1021同轴心固定相连，上浮动端1032为凹球面或者凹圆锥面；下浮动件104包括：下浮动端1041和第三连接端1042，下浮动端1041为凸球面；下浮动端1041的凸球面与上浮动端1032的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连。

在本发明的一个实施例中，该抛光头100包括：基板101、驱动件102、上浮动件103、下浮动件104、传动件105，以及吸附件106。

在本发明的一个实施例中，参见图2，图2为本发明实施例中驱动件的结构示意图，驱动件102包括：第一连接端1021，和第一传动端1022。

在本发明的一个实施例中，参见图2，驱动件102还包括：与设备驱动轴相连的驱动端1023。

在本发明的一个实施例中，参见图3，图3为本发明实施例中上浮动件的结构示意图，上浮动件103包括：第二连接端1031和上浮动端1032，第二连接端1031与第一连接端1021同轴心固定相连，上浮动端1032为凹球面或者凹圆锥面。

通过第二连接端1031与第一连接端1021同轴心固定相连，提高了该抛光头100的结构强度。

其中，上浮动端1032为部分凹球面或者部分凹圆锥面。

在本发明的一个实施例中，参见图3，上浮动端1032表面设置有第一沟槽1033，第一沟槽1033用于存储润滑脂。

本发明实施例中的抛光头100，通过在上浮动端1032的部分凹球面或者部分凹圆锥面上设置环形的沟槽，该沟槽中可以用于存储润滑脂，降低了接触面的磨损，提高了浮动灵活性。

在本发明的一个实施例中，参见图4，图4为本发明实施例中下浮动件的结构示意图，下浮动件104包括：下浮动端1041和第三连接端1042，下浮动端1041为凸球面。

其中，下浮动端1041为部分凸球面。

在本发明的一个实施例中，下浮动端1041的凸球面与上浮动端1032的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连，且上浮动件103与下浮动件104之间进行浮动的转动中心不高于工件的抛光表面。

本发明实施例中的抛光头100，通过下浮动端1041的凸球面与上浮动端1032的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连，能够减小接触点变形，减少工件与抛光盘之间的偏摆，。通过上浮动件103与下浮动件104之间进行浮动的转动中心不高于工件的抛光表面，即，进行浮动的转动中心或者处于工件抛光表面，或者低于工件抛光表面，浮动结构转动中心略低于工件抛光表面，抛光头100向抛光盘转动方向的反方向翘起，利于抛光液进入抛光表面中心，加快工件中心的去除率，提高抛光表面的平坦度。

在本发明的一个实施例中，参见图4，下浮动件104的下浮动端1041表面设置有第二沟槽1043，第二沟槽1043用于存储润滑脂。

本发明实施例中的抛光头100，通过在下浮动端1041表面设置有环形的沟槽，该沟槽中可以用于存储润滑脂，进一步降低了接触面的磨损，提高了浮动灵活性。

在本发明的一个实施例中，参见图5，图5为本发明实施例中基板的结构示意图，基板101包括：第四连接端1011、加载端1012，以及第二传动端1013，其中，第四连接端1011与第三连接端1042固定相连，第二传动端1013通过传动件105与第一传动端1022相连。

在本发明的一个实施例中，加载端1012上设置有吸附件106，吸附件106用于对待抛光工件进行搬运和加载。

在本发明的一个实施例中，参见图6，图6为本发明实施例中传动件的结构示意图，传动件105为膜片结构，可发生弹性形变。

可选地，膜片结构可以包括传动侧A1051和传动侧B1052，一侧与驱动件102相连，另一侧与基板101相连，对此不作限制。

本实施例中，通过抛光头的下浮动端的凸球面与上浮动端的凹球面或者凹圆锥面相适配，且可拆卸地相连，能够减小接触点变形，减少工件与抛光盘之间的偏摆，弥补抛光头与抛光盘之间的平行度误差，使工件贴合在抛光盘表面，且提升抛光效果。

需要说明的是，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。

本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。

此外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，也可以存储在一个计算机可读取存储介质中。

上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。