气化原料供给装置和采用该供给装置的基板处理装置的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供气化原料供给装置和采用该供给装置的基板处理装置。该气化原料供给装置包括：1个气化原料生成部件，其用于使固体或液体的原料气化而生成气化原料；多个分支配管，其连接于该气化原料生成部件，用于使生成的所述气化原料分支到多个系统；以及多个流量控制器，其独立地设置于各个该分支配管。

技术研发人员：稻叶健治;小池悟
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.09.12