技术特征：
技术总结
一种监控靶材消耗状况的装置，一种监控靶材消耗状况的装置，包括:靶材背板；靶材，所述靶材通过粘合层粘接到所述靶材背板上；回路组件，当所述靶材未消耗至指定程度时，所述回路组件能够与所述靶材构成完整的回路，当所述靶材消耗至指定程度时，所述回路组件无法与所述靶材构成完整的回路。可以实时监控靶材消耗状况，最大程度利用靶材，避免靶材击穿问题发生，提高产品良率和靶材使用效率。
技术研发人员：刘思洋
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.04.27
技术公布日：2017.08.11