本揭露是有关于一种垫移除装置以及方法，且特别是有关于一种用于移除化学机械研磨垫的装置以及方法。
背景技术
制造集成电路(integratedcircuit；ic)常包括化学机械平坦化(chemicalmechanicalplanarizaiton；cmp)制程操作，其中化学浆液和研磨头是施加在集成电路晶圆上。为帮助在上述操作中的移动和压力的控制，晶圆是典型地由与平台接合的化学机械研磨垫支撑。在化学机械研磨垫达到其使用寿命时，将化学机械研磨从平台上分开并取代。
技术实现要素：
本揭露提供一种垫移除装置。所述垫移除装置包括具有沿第一方向的第一端和第二端的垫引导件、附于第一端的致动器，以及耦合致动器的控制组件。控制组件是配置以造成致动器沿第一方向将第一端朝向第二端移动，且垫引导件是配置以沿垂直第一方向的第二方向延伸一量，该量是视第一端和第二端之间的距离而定。
附图说明
通过以下详细说明并配合附图阅读，可更容易理解本揭露。在此强调的是，按照产业界的标准做法，各种特征并未按比例绘制，仅为说明的用。事实上，为了清楚的讨论，各种特征的尺寸可任意放大或缩小。
图1a至图1e为根据一些实施例的一或多个垫移除装置的示意图；
图2a至图2c为根据一些实施例的垫引导件的示意图；
图3a至图3c为根据一些实施例的垫引导件的示意图；
图4为根据一些实施例的伸缩臂的示意图；
图5为根据一些实施例的致动组件的示意图；
图6为根据一些实施例的致动组件的示意图；
图7为根据一些实施例的移除垫的方法的流程图；
图8为根据一些实施例的控制垫移除装置的系统的示意图。
具体实施方式
下面的揭露提供了许多不同的实施例或例示，用于实现本揭露的不同特征。部件和安排的具体实例描述如下，以简化本揭露的揭露。当然，这些是仅仅是例示并且不意在进行限制。例如，在接着的说明中叙述在第二特征上方或上形成第一特征可以包括在第一和第二特征形成直接接触的实施例，并且还可以包括一附加特征可以形成第一特征的形成第一和第二特征之间的实施例，从而使得第一和第二特征可以不直接接触。此外，本公开可以在各种例示重复元件符号和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，并不在本身决定所讨论的各种实施例和/或配置之间的关系。
此外，空间相对术语，如“之下”、“下方”、“低于”、“上方”、“高于”等，在本文中可以用于简单说明如图中所示元件或特征对另一元件(多个)或特征(多个特征)的关系。除了在附图中描述的位向，空间相对术语意欲包含元件使用或步骤时的不同位向。元件可以其他方式定位(旋转90度或者在其它方位)，并且本文中所使用的相对的空间描述，同样可以相应地进行解释。
在许多实施例中，垫移除装置包括具有沿第一方向的第一端和第二端、附于上述第一端的至少一致动器，以及机械地耦合至上述致动器的控制组件。控制组件造成致动器沿上述第一方向将第一端朝向第二端拉引，使得第一端朝向第二端移动，且垫引导件是配置以于垂直上述第一方向的第二方向延伸一量，所延伸的量是视第一端和第二端之间的距离而定。通过将垫引导件的第一端和第二端紧固至垫边缘，垫边缘是在远离垫中心位置的方向被拉扯，从而可将垫从所接合的表面上分离。
图1a和图1b为根据一些实施例的垫移除装置100的示意图。图1a是基于垫移除装置100在第一位置配置的侧视示意图，而图1b是基于垫移除装置在第二位置配置的侧视示意图。除了垫移除装置100，图1a和图1b也绘示垫140、表面150、方向x和垂直于方向x的方向z。
垫移除装置100包括垫引导件110、多个致动器120以及控制组件130。垫引导件110包括第一端112以及第二端114。第一致动器120是从控制组件130延伸至第一端112，以及第二致动器120是从控制组件130延伸至第二端114。
在一些实施例中，垫移除装置100包括单一个致动器120，且前述多个致动器120中的一者被取代为支撑件(未绘示)。在一些实施例中，垫移除装置100包括单一个致动器120以及直接耦合至第一端112和第二端114的其中一者的控制组件130。
在一些实施例中，除了垫引导件110之外，垫移除装置100包括一或多个垫引导件(未绘示)。在一些实施例中，除了从控制组件130延伸至第一端112的第一致动器120和从控制组件130延伸至第二端114的第二致动器120之外，垫移除装置100包括一或多个致动器(未绘示)。
垫引导件110包括位于第一端112的紧固(affixing)元件116、位于第二端114的紧固元件116以及下表面118。如下述，紧固元件116是配置以暂时地将垫引导件110紧固至垫140的边缘。
在操作中，垫移除装置100的一或多个位置配置是将垫移除装置100设置于垫140上方，且至少一部分的下表面118接触垫140的上表面149。如图1a和图1b所绘示，垫140的至少中心部分是接合至表面150。在一些实施例中，垫140为化学机械平坦化的研磨垫(或称化学机械研磨垫)。在一些实施例中，表面150为化学机械平坦化制程系统的平台的表面。
在图1a所绘示的第一位置配置中，第一端112和第二端114定义沿方向x的距离d1。距离d1对应垫引导件110未被致动的状态，使得下表面118对齐方向x且沿方向z不具有显著的分量。
在图1b所绘示的第二位置配置中，第一端112和第二端114定义沿方向x的距离d2。距离d2小于距离d1，且距离d2对应垫引导件110被致动的状态。在被致动的状态中，下表面118从对齐方向x的状态偏移，使得显著的分量，距离d3，存在于方向z上。距离d3被定义为最低部分的下表面118从未被致动的状态到被致动的状态沿方向z的位移，以响应沿方向x朝向彼此被移动的第一端112和第二端114。第一端112和第二端114之间的距离减少造成垫引导件110弯曲(bend)或挠曲(flex)。
垫引导件110为机械元件或组件，其可将第一端112和第二端114沿方向x的位移转换为下表面118沿方向z的位移。第一端112和第二端114沿方向x的位移包括具有方向x以外的方向的分量的位移。沿方向z的下表面118的位移量是视第一端112和第二端114之间的距离而定。当第一端112和第二端114之间的距离减少时，沿方向z的下表面118的位移量则增加。
在一些实施例中，第一端112和第二端114是对齐垫引导件110的纵轴(未绘示)，使得在操作中，沿方向z的下表面118的位移远离致动器120和控制组件130。在一些实施例中，在操作中，垫引导件110与控制组件130及致动器120的一或二者的接近度，造成沿方向z的下表面118的位移远离致动器120和控制组件130。在一些实施例中，垫引导件110是配置以使得沿方向z的下表面118的最大位移位于下表面118的中心处。
通过上述的配置方式，在操作中，垫引导件110通过增加垫140的中心和垫140的边缘之间沿方向z的距离，以响应第一端112和第二端114之间沿方向x减少之间隔，且上述垫140的边缘的位置是对应紧固元件116。在操作中，因为垫140一开始是与表面150接合，垫引导件110作动以将每个垫边缘位置沿方向z拉离中心垫区域，来响应第一端112沿方向x朝向第二端114被移动及/或第二端114沿方向x朝向第一端112被移动。
垫引导件110包括具有足够强度和韧度的材料，以在方向z上施力来克服垫140和表面150之间的接合力。在许多实施例中，垫引导件110包括一或多个如不锈钢的金属、如聚醚醚酮(polyetheretherketone；peek)的塑胶或其他足够强韧的材料。在一些实施例中，垫引导件110包括具有一或多个抗腐蚀、抗变形或不沾的特征的材料的表面。
在一些实施例中，垫引导件110包括多个铰接合板部件(hingedplatesegment)，如后述图2a至图2c说明的垫引导件210。在一些实施例中，垫引导件110包括弹性板，如后述图3a至图3c说明的垫引导件310。
第一端112和第二端114的每一者为垫引导件110的末端部分。在一些实施例中，第一端112和第二端114的一或二者包括紧固元件116。在一些实施例中，紧固元件116为分开的元件或组件，其是附于第一端112及/或第二端114。
第一端112和第二端114的每一者是配置以机械地耦合垫引导件110至如致动器120的垫移除装置100的其他元件。在一些实施例中，第一端112和第二端114的一或二者是配置以可拆卸式地耦合垫引导件110至垫移除装置100的其他元件。在一些实施例中，第一端112和第二端114的一或二者是配置以连续地耦合垫引导件110至垫移除装置100的其他元件，例如为了垫引导件110或致动器120的使用寿命。在许多实施例中，第一端112和第二端114的每一者包括可将垫引导件110机械地耦合至垫移除装置100的其他元件的一或多个销(pin)、钩子、扣接装置、开口或其他配置。
紧固元件116为机械元件或组件，在沿方向z施力以克服垫140和表面150之间的接合力时，紧固元件116可将第一端112或第二端114紧固至垫140的边缘。
在一些实施例中，紧固元件116是配置以暂时地将第一端112或第二端114紧固至垫140的边缘。在一些实施例中，紧固元件116包括具有一对手臂以及一个弹簧的夹持装置(clipper)，使得在操作中，上述手臂通过弹簧施力来原地抓住垫边缘的相对侧。在一些实施例中，紧固元件116包括不只一个夹持装置。
在一些实施例中，紧固元件116包括夹具(clampingdevice)或其他元件或组件，其可夹住垫140以暂时地使第一端112或第二端114紧固于垫140的边缘。在一些实施例中，紧固元件116包括钩子、针或其他元件或组件，其可穿入垫140以使第一端112或第二端114暂时地紧固于垫140的边缘。
在一些实施例中，紧固元件116是配置为可从垫引导件110上拆卸，并永久地将第一端112或第二端114紧固于垫140的边缘。在一些实施例中，紧固元件116包括黏结装置、针或其他元件或组件，其可永久地将第一端112或第二端114紧固于垫140的边缘。
在图1a至图1b所绘示的实施例中，垫引导件110包括二端，第一端112和第二端114。在一些实施例中，如图1d所绘示的实施例，垫引导件包括第一端112和第二端114之外的多个端。
致动器120为机械元件或组件，其可施予足够的力来拉引，从而沿方向x朝向第二端114来移动第一端112，及/或沿方向x朝向第一端112来移动第二端114，以响应控制组件130。在许多实施例中，致动器120包括可对第一端112或第二端114施力的一或多个伸缩组件、线、可移动载台、螺纹臂(threadedarm)或槽臂(groovedarm)或其他元件或组件。
在一些实施例中，致动器120包括伸缩臂，如后述图4进行说明的伸缩臂420。在一些实施例中，致动器120包括线，如后述图5和致动组件500说明的线520。在一些实施例中，致动器120包括可移动载台，如后述致动组件600和图6说明的可移动载台620。
致动器120是配置为耦合至控制组件130，以通过对第一端112施予足够的力拉引，从而沿方向x朝向第二端114来移动第一端112，及/或对第二端114施予足够的力拉引，从而沿方向x朝向第一端112来移动第二端114，以响应控制组件130。在一些实施例中，致动器120是配置以机械地耦合至控制组件130。在一些实施例中，致动器120是配置以电性地或连通地耦合至控制组件130。在一些实施例中，致动器120是配置以响应来自控制组件130的电压位准或其他信号。
在一些实施例中，致动器120包括配置以响应螺栓(screw)或螺纹(threaded)装置的伸缩臂。在一些实施例中，致动器120包括配置以响应气动装置(pneumaticdevice)的伸缩臂。在一些实施例中，致动器120包括配置以响应绕线装置的线。在一些实施例中，致动器包括配置以响应滑轨装置的可移动载台。
致动器120是配置以机械地耦合至第一端112及/或第二端114。在一些实施例中，致动器120是配置为可拆卸地耦合至第一端112或第二端114。在一些实施例中，为了如垫引导件110或致动器120的使用寿命，致动器120是配置为连续地耦合至第一端112或第二端114。在许多实施例中，致动器120包括可机械地耦合第一端112或第二端114的一或多个销、钩子、扣接装置、开口或其他配置。
控制组件130为可控制致动器120的机械或机电组件。在一些实施例中，控制组件可支撑致动器120。在一些实施例中，致动器120是由控制组件以外的其他元件或组件(未绘示)所支撑。在一些实施例中，控制组件130是配置以产生及/或输出电压位准或其他信号至致动器120。控制组件130包括使用者界面132和载具(carrier)134。
控制组件130是配置为机械地耦合至致动器120，使得致动器120的至少一部分相对于控制组件130具有固定的位置。在一些实施例中，致动器120为伸缩臂且控制组件130包括安装架，安装架是配置以固定相对于控制组件130的上述伸缩臂的至少一个区段的位置。在一些实施例中，致动器120为线，且控制组件130包括绕线装置，绕线装置是配置以固定相对于控制组件130的线的至少一部分的位置。在一些实施例中，致动器120为可移动载台，且控制组件130包括滑轨装置，滑轨装置是配置以固定相对于控制组件130的可移动载台的位置。
控制组件130是配置以驱使第一致动器120沿方向x朝向第二端114来拉引第一端112，并同时造成第二致动器120，若存在，沿方向x朝向第一端112来拉引第二端114。在一些实施例中，控制组件130包括螺栓装置，螺栓装置是配置以控制伸缩臂的长度。在一些实施例中，控制装置130包括气动装置，气动装置是配置以控制伸缩臂的长度。
在一些实施例中，控制组件130包括绕线装置，绕线装置是配置以控制从绕线装置延伸出的线的长度。在一些实施例中，控制组件130包括绕线装置，绕线装置是配置以控制从绕线装置延伸出的多个线的长度。
在一些实施例中，控制组件130包括滑轨装置，滑轨装置是配置以控制可移动载台的定位。在一些实施例中，控制组件130包括滑轨装置，滑轨装置是配置以控制多个可移动载台的定位。
在一些实施例中，控制组件130是配置为直接机械地耦合至第一端112和第二端114的其中一者。在一些实施例中，控制组件130是配置为机械地耦合至支撑元件，所述支撑元件是机械地耦合至第一端112和第二端114的其中一者。
控制组件130是配置以控制致动器120沿方向x移动第一端112及/或第二端114的速度。通过控制致动器120沿方向x移动第一端112及/或第二端114的速度，在操作中，控制组件130控制垫引导件110将垫边缘位置拉离中心垫区域的速度，从而控制垫140从表面150分开的速率。
在一些实施例中，控制组件130是配置以控制影响致动器120的机械控制的至少一螺栓转动的方向和速率。在一些实施例中，控制组件130是配置以控制影响致动器120的气动控制的空气移动的方向和速率。在一些实施例中，控制组件130是配置以控制影响致动器120的机械控制的至少一绕线装置转动的方向和速率。在一些实施例中，控制组件130是配置以控制影响致动器120的机械控制的至少一滑轨装置移动的方向和速率。
在一些实施例中，控制组件130包括可控制致动器120沿方向x移动第一端112及/或第二端114的速度的处理器或其他逻辑装置。在一些实施例中，当第一端112和第二端114之间的距离减少时，控制组件130是配置以增加致动器120沿方向x移动第一端112及/或第二端114的速率。
在一些实施例中，控制组件130是配置以基于一或多个预设值，控制致动器120沿方向x移动第一端112及/或第二端114的速度。在一些实施例中，控制组件130是配置以基于从外部来源所接收的输入值的一或多个值，以控制致动器120沿方向x移动第一端112及/或第二端114的速度。
使用者界面132为可从使用者接收输入值以及连通输入值与控制组件130的机械、电性或机电组件。在一些实施例中，使用者界面132是配置以从使用者端直接接收输入值。在一些实施例中，使用者界面132是配置以接收电子信号形式的输入值，所述电子信号是通过一或多个有线或无线装置传送。
在许多实施例中，使用者界面132包括可接收并连通使用者输入值的一或多个开关、可变速控制器、连接件、插头、插座、无线接口或其他组件。在许多实施例中，使用者输入值包括一或多个开关状态、致动状态、一或多个速度值的一或多个指示或其他与控制垫移除装置100相关的指示。
载具134为机械元件或组件，其是配置以用于维持控制组件130在表面150上的一或多个位置。在一些实施例中，载具134为把手，其是配置以被垫移除装置100的操作者抓取。在一些实施例中，载具134为接口，其是配置以机械地耦合垫移除装置100至外部机械元件或组件。
图1c至图1e为根据一些实施例所绘示的一或多个垫移除装置100的上视示意图。图1c至图1e包括一或多个如图1a至图1b所说明的垫移除装置100和垫140。除了一或多个垫移除装置100和垫140之外，图1c至图1e绘示如上图1a至图1b所说明的方向x，以及垂直于方向x和方向z的方向y。
在图1c所绘示的实施例中，单一个垫移除装置100是与垫140交叉设置并置于垫中心区域141上方。第一端112是紧固至垫140的垫边缘位置142，以及第二端114是紧固至垫140的垫边缘位置143。
在图1d所绘示的实施例中，包括四个致动器120的单一个垫移除装置100是与垫140交叉设置并置于垫中心区域141上方。第一端112是紧固至垫140的垫边缘位置142，第二端114是紧固至垫140的垫边缘位置143，第三端111紧固至垫140的垫边缘位置144，以及第四端113紧固至垫140的垫边缘位置145。
在图1e所绘示的实施例中，二个垫移除装置100是与垫140交叉设置。每个垫移除装置100都设置于垫中心区域141上方。二个垫移除装置100的第一者的第一端112是紧固至垫140的垫边缘位置142，以及二个垫移除装置100的第一者的第二端114是紧固至垫140的垫边缘位置143。二个垫移除装置100的第二者的第一端112是紧固至垫140的垫边缘位置146，以及二个垫移除装置100的第二者的第二端114是紧固至垫140的垫边缘位置147。在一些实施例中，大于二个的垫移除装置100是与垫140交叉设置。
在操作中，相较于不具有上述配置方式的垫移除装置100，通过上述的配置方式，垫移除装置100可用来更简易地克服垫140和表面150之间的接合力。垫移除装置100从而帮助从表面移除垫，例如从平台的顶表面移除化学机械研磨垫。相较于其他方法，垫移除装置100可更简单地且更快地移除与表面接合的垫。
图2a至图2c为根据一些实施例绘示的垫引导件210的示意图。垫引导件210可做为如上述垫移除装置100和图1a至1e所述的垫引导件110的一部份或整体。
图2a为在第一位置配置的垫引导件210的侧面示意图，图2b为在第二位置配置的垫引导件210的侧面示意图，以及图2c为在第一位置配置的垫引导件210的上视示意图。除了垫引导件210，图2a至图2c绘示如上述图1a至图1e所述的方向x、方向y和方向z。
垫引导件210包括通过对应的多个枢轴214接合的多个板部件212。在图2a绘示的第一位置配置，垫引导件210是处于未被致动状态，其中垫引导件210沿方向x延伸距离d1，且垫引导件210沿方向z不具有显著的分量。在图2b所绘示的第二位置配置，垫引导件210是处于被致动状态，其中垫引导件210沿方向x延伸距离d2并沿方向z延伸距离d3。
多个板部件212和多个枢轴214是被配置，使得在操作中沿方向x从距离d1至距离d2所减少的距离，造成垫引导件210沿方向z延伸至距离d3，上述延伸是基于多个板部件212的至少一第一部件沿多个枢轴214中所对应的枢轴并相对于多个板部件212的第二部件旋转来进行。
在图2a和图2b所绘示的实施例中，多个板部件212具有五个铰接合板部件。在一些实施例中，多个板部件212具有少于五个的铰接合部件。在一些实施例中，多个板部件212具有多于五个的铰接合部件。
在图2c所绘示的实施例中，多个板部件212的中间部件是在方向y宽于多个板部件212的其他部件，且多个板部件212的最尾端部件在方向y窄于多个板部件212的其他部件。在一些实施例中，多个板部件212的部件具有与图2c所绘示的不同的宽度关系。在一些实施例中，多个板部件212的每个部件在方向y具有相同的宽度。
垫引导件210包括配置在垫引导件210的一或二个尾端的一或多个元件或组件(未绘示)，以机械地耦合垫引导件210至如图1a至图1e所述的垫移除装置100的垫移除装置的其他元件。
通过上述的配置方式，垫引导件210可将第一端112和第二端114沿方向x朝向彼此的移动转换为沿方向z的移动，使得上述关于垫移除装置100的优点可被实现。
图3a至图3c为根据一些实施例绘示的垫引导件310的示意图。垫引导件310可做为如上述垫移除装置100和图1a至图1e所述的垫引导件110的一部份或整体。
图3a为基于在第一位置配置的垫引导件310的侧视示意图，图3b为基于在第二位置配置的垫引导件310的侧视示意图，以及图3c为第一位置配置的垫引导件310的上视图。除了垫引导件310，图3a至图3c绘示如上述图1a至图1e所述的方向x、方向y和方向z。
垫引导件310为单一弹性板。在图3a所绘示的第一位置配置，垫引导件310是处于未被致动状态，其中垫引导件310沿方向x延伸距离d1，且垫引导件310沿方向z不具有显著的分量。在图3b所绘示的第二位置配置，垫引导件310是处于被致动状态，其中垫引导件310沿方向x延伸距离d2并沿方向z延伸距离d3。
垫引导件310被如此配置，使得在操作中，沿方向x从距离d1至距离d2所减少的距离，造成垫引导件310基于弹性和韧性的结合而沿方向z延伸距离d3。
在图3c所绘示的实施例中，多个垫引导件310的中间部分在方向y宽于垫引导件310的其他部分，以及垫引导件310的最尾端部分在方向y窄于垫引导件310的其他部分。在一些实施例中，垫引导件310的上述部份具有与图3c所绘示的实施例不同的宽度关系。在一些实施例中，多个垫引导件310的每一个部分在方向y具有相同宽度。
垫引导件310包括配置在垫引导件310的一或二个尾端的一或多个元件或组件(未绘示)，以机械地耦合垫引导件310至如图1a至图1e所述的垫移除装置100的垫移除装置的其他元件。
通过上述的配置方式，垫引导件310可将第一端112和第二端114沿方向x朝向彼此的移动转换为沿方向z的移动，使得上述关于垫移除装置100的优点可被实现。
图4是根据一些实施例的伸缩臂420的示意图。伸缩臂420可做为如上述垫移除装置100和图1a至图1b所述的致动器120的一部份或整体。
伸缩臂420包括第一部件422和第二部件424。第一部件422是配置为允许第二部件424的一些部分的范围收回至第一部分422中，使得伸缩臂的整体长度为可变的。
在一些实施例中，响应螺栓装置，伸缩臂420的整体长度可减少或延长。在一些实施例中，响应气动控制装置，伸缩臂420的整体长度可减少或延长。
在图4所绘示的实施例中，伸缩臂420具有二个部件。在一些实施例中，伸缩臂420可具有多于二个部件。
伸缩臂420包括配置在伸缩臂420的一或二个尾端的一或多个元件或组件(未绘示)，以机械地耦合伸缩臂420至如图1a至图1b所述的垫移除装置100的垫移除装置的其他元件。
通过上述的配置方式，伸缩臂420可驱使垫引导件110的第一端112和第二端114沿方向x朝向彼此的移动，使得上述关于垫移除装置100的优点可被实现。
图5是根据一些实施例的致动组件500的示意图。致动组件500包括可用做致动器120的一部分或全部的线520，以及可用做控制组件130的一部分的绕线装置530，其是如上述垫移除装置100和图1a至图1e的说明。
线520包括金属或其他相似的坚固的材料以及耦合装置522，耦合装置522是配置以机械地将线520耦合至如垫引导件110、垫引导件210或垫引导件310的垫引导件，如上述关于图1a至图1e的垫移除装置100、图2a至图2c或图3a至图3c的说明。
绕线装置530包括配置以通过旋转来调整线520的延伸部分的长度的一或多个卷轴532。在图5所绘示的实施例中，配置单一个卷轴532以调整单一个线520的延伸部分。在一些实施例中，配置单一个卷轴532以调整多于二个线520的延伸部分。
在图5所绘示的实施例中，卷线装置530包括单一个卷轴532。在一些实施例中，卷线装置530包括卷轴532以外的多个卷轴(未绘示)。
通过上述的配置方式，致动组件500可驱使垫引导件110的第一端112和第二端114沿方向x朝向彼此的移动，使得上述关于垫移除装置100的优点可被实现。
图6是根据一些实施例的致动组件600的示意图。致动组件600包括可用做致动器120一部分或全部的可移动载台620，以及可用做控制组件130的一部分的滑轨装置630，其是如上述垫移除装置100和图1a至图1e的说明。
可移动载台620为机械元件或组件，其是配置以通过滑轨装置630定位，但可移动载台620机械地耦合至如垫引导件110、垫引导件210或垫引导件310的垫引导件，如上述关于图1a至图1e的垫移除装置100、图2a至图2c或图3a至图3c的说明。
在图6所绘示的实施例中，致动组件600包括二个可移动载台620。在一些实施例中，致动组件600包括单一个可移动载台620。在一些实施例中，致动组件600包括多于二个的可移动载台620。
通过上述的配置方式，致动组件600可驱使垫引导件110的第一端112和第二端114沿方向x朝向彼此的移动，使得上述关于垫移除装置100的优点可被实现。
图7是根据一或多个实施例所述的移除垫的方法700的流程图。在一些实施例中，方法700为从平台表面移除化学机械研磨垫的方法。方法700使用如图1a至图1e所说明的垫移除装置100的垫移除装置来施行。
图7所绘示的方法700的操作的顺序仅为示例；可使用不同于方法700所绘示的顺序，来执行方法700的操作。在一些实施例中，除了图7所绘示的操作外，额外的操作可于方法700所绘示的操作之前、中及/或后进行。
在操作710中，垫引导件的第一端是紧固于垫上的第一垫边缘位置，以及垫引导件的第二端是紧固于垫上的第二垫边缘位置。在一些实施例中，紧固垫引导件的第一端和第二端的操作包括如垫移除装置100和图1a至图1e所说明的紧固垫引导件110的第一端112和第二端114的操作。在一些实施例中，紧固垫引导件的第一端和第二端的操作包括如图2a至图2c所说明的紧固垫引导件210的第一端和第二端的操作。在一些实施例中，紧固垫引导件的第一端和第二端的操作包括如图3a至图3c所说明的紧固垫引导件310的第一端和第二端的操作。
在一些实施例中，紧固垫引导件的第一端和第二端的操作包括使用夹持装置来紧固第一端和第二端的一或二者。在一些实施例中，紧固垫引导件的第一端和第二端的操作包括使用紧固元件116来紧固第一端和第二端的一或二者，如上述垫移除装置100和图1a至图1e的说明。
在一些实施例中，紧固垫引导件的第一端和第二端的操作包括紧固第一端至垫140的垫边缘位置142，以及紧固第二端至垫140的垫边缘位置143，如上述关于图1c至图1e的说明。
在一些实施例中，操作710包括紧固垫引导件的第三端至第三垫边缘位置，以及紧固垫引导件的第四端至第四垫边缘位置。在一些实施例中，紧固垫引导件的第三端和第四端的操作包括如上述图1d所说明的紧固第一端至垫140的垫边缘位置144，以及紧固第二端至垫140的垫边缘位置145。
在一些实施例中，操作710包括紧固第二垫引导件的第一端至第三垫边缘位置，以及紧固第二垫引导件的第二端至第四垫边缘位置。在一些实施例中，紧固第二垫引导件的第一端和第二端的操作包括如上述图1e所说明的紧固第一端至垫140的垫边缘位置146，以及紧固第二端至垫140的垫边缘位置147。
在操作720中，使用致动器朝向第二端拉引第一端。第一端是沿第一方向朝向第二端被拉引。在一些实施例中，操作720包括以另一个致动器朝向第一端拉引第二端。
在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用如上述垫移除装置100和图1a至图1e所说明的致动器120。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括如图4所说明的减少伸缩臂420的长度。
在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用如上述垫移除装置100和图1a至图1e所说明的控制组件130。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用如上述致动组件500和图5所说明的线520和卷线装置530。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用如上述致动组件600和图6所说明的可移动载台620和滑轨装置630。
在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括以第一致动器朝向第二端拉引第一端，以及以第二致动器朝向第一端拉引第二端。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用至少一个额外的致动器，以进行朝向第四端拉引第三端和朝向第三端拉引第四端的至少一者。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用至少一个额外的致动器，以进行朝向第二垫引导件的第二端拉引第二垫引导件的第一端和朝向第二垫引导件的第一端拉引第二垫引导件的第二端的至少一者。
在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括控制第一端朝向第二端被移动的速度和第二端朝向第一端被移动的速度的一或二者。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用如后述系统800和图8所述的控制器802的控制器，来控制一或多个速度。控制第一端朝向第二端被移动的速度和第二端朝向第一端被移动的速度的一或二者的操作，是控制一或多个垫边缘位置被拉离表面的一或多个速度，如下所述。在一些实施例中，拉引第一端和第二端朝向彼此的操作包括当第一端和第二端之间的距离减少时，增加所述速度。
在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用螺栓装置控制速度。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用气动控制器来控制速度。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用卷线装置控制速度。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用滑轨装置控制速度。
在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括基于一或多个预设速度值控制速度。在一些实施例中，朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者包括使用基于使用者输入的一或多个速度值来控制速度。
在操作730中，响应朝向第二端拉引第一端和朝向第一端拉引第二端的至少一者的操作，使用垫引导件将第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者向第二方向拉，第二方向也称为移除方向，其是远离垫中心区域。在一些实施例中，第二方向垂直第一方向。
在一些实施例中，使用垫引导件向移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作，包括使用如上述垫移除装置100和图1a至图1e所述的垫引导件110。
在一些实施例中，使用垫引导件来向移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作，包括，沿枢轴并相对于多个板部件的第二部件，来旋转多个板部件的第一部件。在一些实施例中，使用垫引导件来向移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作包括使用如图2a至图2c所述的垫引导件210。
在一些实施例中，使用垫引导件向移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作，包括弯曲一弹性板。在一些实施例中，使用垫引导件向移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作，包括使用如上述图3a至图3c所述的垫引导件310。
在一些实施例中，使用垫引导件向远离垫中心区域的移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作包括如图1c至图1e所述，在方向z上拉引垫边缘位置142和垫边缘位置143，以远离垫中心区域141。在一些实施例中，使用垫引导件向远离垫中心区域的移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作包括如图1d所述，在方向z上拉引垫边缘位置144和垫边缘位置145，以远离垫中心区域141。在一些实施例中，使用垫引导件向远离垫中心区域的移除方向拉引第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者的操作包括如图1e所述，在方向z上拉引垫边缘位置146和垫边缘位置147，以远离垫中心区域141。
通过控制至少一垫引导件的至少一第一端朝向至少一垫引导件的至少一第二端被拉引的一或多个速度，第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的至少一者被拉引而远离垫中心区域的一或多个速度也可透过垫引导件的使用而被控制。因此，方法700可在垫移除过程中，自动控制施予垫的力。
相较于未使用包括方法700的操作的其他方法，垫和表面之间的接合力可通过执行方法700的操作更轻易地被克服。因此，方法700有助于从表面移除垫，例如从平台的顶表面移除化学机械研磨垫。相较于其他方法，方法700可更简易且更快速地移除接合于表面的垫。
图8是根据一些实施例所述的控制垫移除装置的系统800的示意图。系统800包括硬体处理器802以及非暂态计算机可读取储存媒介804，即具有计算机程序指令806，即一系列的可执行指令。指令806包括控制垫移除装置的指令。处理器802是通过总线(bus)而电性耦合至输入/输出(i/o)接口810。网络接口812也电性连接至网络814，使得处理器802和计算机可读取储存媒介804可透过网络814与外部元件连接。在一些实施例中，网络接口812和网络814中的至少一者为使用者界面132的元件，如上述垫移除装置100和图1a至图1e所述。处理器802是配置以执行在计算机可读取储存媒体804中编码的计算机程序指令806，使得系统800可用做进行上述方法700的一部分或全部的操作。
在一些实施例中，处理器802为中央处理单元(centralprocessingunit；cpu)、多元处理器、分散式处理系统、特殊应用集成电路(applicationspecificintegratedcircuit；asic)，及/或适合的处理单元。
在一些实施例中，计算机可读取储存媒介804为电子的、磁性的、光学的、电磁的、红外线的及/或半导体系统(或设备或装置)，以储存非暂性的指令及/或数据。例如：计算机可读取储存媒介804包括半导体或固态记忆体、磁带、可移除式计算机软磁盘、随机存取记忆体(randomaccessmemory；ram)、只读记忆体(read-onlymemory；rom)、硬盘及/或光盘。在一些实施例中，使用光盘，而计算机可读取储存媒介804包括只读记忆光盘(compactdisk-readonlymemory；cd-rom)、只读记忆光盘读取/写入(cd-read/write(r/w))及/或数位多功能影音光盘(dvd)。
在一些实施例中，储存媒介804储存计算机程序码806，计算机程序码806是配置以使系统800进行方法700的一部分或全部。在一些实施例中，储存媒介804也储存进行方法800所需的信息，以及在进行方法800中所产生的信息，如速度值820及/或进行方法700的操作的一系列的可执行指令。
系统800包括输入/输出接口810。输入/输出接口810是耦合至外部电路。在一些实施例中，输入/输出接口810包括键盘、数字键盘(keypad)、鼠标、轨迹球、触控板，及/或游标方向键，以传输讯息及/或命令至处理器802。在一些实施例中，输入/输出接口810为使用者界面132的元件，如上垫移除装置100和图1a至图1e所述。
系统800也包括耦合至处理器802的网络接口812。网络接口812允许系统800与网络814连通，以与一或多个其他计算机系统连接。网络接口812包括无线网络接口如蓝芽、无线上网(wifi)、全球互通微波存取(wimax)、通用封包无线服务(gprs)或宽频码分多址(wcdma)；或者有线网络接口如乙太网路(ethernet)、通用序列总线(usb)或ieee-1394。在一些实施例中，方法700是在二个或更多的系统800中执行，且如速度值的信息是在不同系统800之间经由网络814交换。
系统800是配置以接收与垫移除操作相关的信息。信息经由总线808被传送到处理器802，然后如速度值820的信息被储存于计算机可读取储存媒介804。在一些实施例中，垫移除操作是于操作730(图7)达成。
通过配置系统800以执行方法700的一部分或全部，系统800可实现上述垫移除装置100、方法700、图1a至图1e以及图7所述的优点。
在一些实施例中，垫移除装置包括具有沿第一方向的第一端和第二端的垫引导件、附于第一端的致动器，以及耦合致动器的控制组件。控制组件是配置以造成致动器沿第一方向将第一端朝向第二端移动，且垫引导件是配置以沿垂直第一方向的第二方向延伸一量，该量是视第一端和第二端之间的距离而定。
依据本揭露的一些实施例，于上述第一端和第二端的每一者，垫引导件分别包含夹持装置，且每一夹持装置是配置以使垫引导件紧固至化学机械平坦化研磨垫。
依据本揭露的一些实施例，垫引导件包含多个铰接合板部件和弹性板中的至少一者。
依据本揭露的一些实施例，致动器包含伸缩臂和可移动载台的其中一者。
依据本揭露的一些实施例，控制组件包含螺栓(screw)装置和一气动控制器的其中一者。
依据本揭露的一些实施例，控制组件包含绕线装置，且致动器包含线。
依据本揭露的一些实施例，控制组件是配置以控制致动器从第一端朝向第二端移动的速度。
依据本揭露的一些实施例，所述速度包括预设值，且控制组件包括控制器，控制器是配置以使致动器基于预设值从第一端朝向第二端移动。
依据本揭露的一些实施例，所述控制组件包含使用者界面，且使用者界面配置以接收上述速度的值。
依据本揭露的一些实施例，所述控制组件包含载具。
依据本揭露的一些实施例，垫移除装置更包含另一致动器，且前述的控制组件耦合至上述另一致动器，并配置来使上述另一致动器沿第一方向从第二端朝向第一端移动。
在一些实施例中，移除垫的方法包括紧固垫引导件的第一端至第一垫边缘位置、紧固垫引导件的第二端至第二垫边缘位置，以及使用致动器将第一端朝向第二端拉引。响应将第一端朝向第二端拉引的操作，使用垫引导件，以将第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者沿远离垫中心方向的移除方向拉引。
依据本揭露的一些实施例，本揭露的方法更包含使用另一致动器，将上述第二端朝向第一端拉引。
依据本揭露的一些实施例，本揭露的方法更包含使用控制器来控制致动器将第一端朝向第二端拉引的速度。
依据本揭露的一些实施例，上述的控制速度的操作包含当第一端和第二端之间的距离减少时，增加所述速度。
依据本揭露的一些实施例，上述控制速度的操作包含使用螺栓装置、气动控制器和绕线装置的其中一者，以控制所述速度。
依据本揭露的一些实施例，垫引导件包含多个板部件，且前述将第一垫边缘位置和第二垫边缘位置的每一者沿所述移除方向拉引的操作包含使所述板部件的第一部件相对于板部件的第二部件并沿枢轴旋转。
依据本揭露的一些实施例，使用致动器将第一端朝向第二端拉引的操作包含减少伸缩臂的长度。
依据本揭露的一些实施例，本揭露的方法更包含紧固第二垫引导件的第一端至第三垫边缘位置、紧固第二垫引导件的第二端至第四垫边缘位置、使用另一致动器，将第二垫引导件的第一端朝向第二垫引导件的第二端拉引，以及使用垫引导件，响应将第二垫引导件的第一端和第二垫引导件的第二端朝向彼此拉引的操作，将第三垫边缘位置和第四垫边缘位置的每一者沿移除方向拉引。
在一些实施例中，垫移除装置包含垫引导件，其包含以对应的多个枢轴接合的多个板部件，以及沿第一方向延伸的第一端和第二端。垫移除装置包含附于上述第一端的第一伸缩臂以及附于上述第二端的第二伸缩臂。垫移除装置包含控制组件，其是配置以同时减少第一伸缩臂的长度以及第二伸缩臂的长度，且垫引导件是配置以沿垂直于第一方向的第二方向延伸一量，该量是视第一伸缩臂的长度减少的量以及第二伸缩臂的长度减少的量而定。
前述内容概述多个实施例的特征，以使于本技术领域具有通常知识者可进一步了解本揭露的态样。本技术领域具通常知识者应可轻易利用本揭露作为基础，设计或润饰其他制程及结构，借以执行此处所描述的实施例的相同的目的及/或达到相同的优点。本技术领域具有通常知识者亦应可了解，上述相等的结构并未脱离本揭露的精神和范围，且在不脱离本揭露的精神及范围下，其可经润饰、取代或替换。