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垫移除装置的制作方法
文档序号:15824901
发布日期:2018-11-02 23:34
阅读:
来源:国知局
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金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术
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垫移除装置的制作方法
技术特征:
技术总结
垫移除装置,包括具有沿第一方向的第一端和第二端的垫引导件、附于第一端的致动器,以及与致动器耦合的控制组件。控制组件是配置以造成致动器沿第一方向将第一端朝向第二端移动,且垫引导件是配置以沿垂直第一方向的第二方向延伸一量,该量是视第一端和第二端之间的距离而定。
技术研发人员:
陈俊宏;王生城
受保护的技术使用者:
台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:
2017.06.16
技术公布日:
2018.11.02
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