垫移除装置的制作方法

文档序号:15824901发布日期:2018-11-02 23:34阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
垫移除装置,包括具有沿第一方向的第一端和第二端的垫引导件、附于第一端的致动器,以及与致动器耦合的控制组件。控制组件是配置以造成致动器沿第一方向将第一端朝向第二端移动,且垫引导件是配置以沿垂直第一方向的第二方向延伸一量,该量是视第一端和第二端之间的距离而定。

技术研发人员:陈俊宏;王生城
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2017.06.16
技术公布日:2018.11.02
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