技术特征：
技术总结
本发明公开了一种溅射旋转银靶材的制备方法，所述方法为：采用冷喷涂方法制备溅射旋转银靶材；基管为不锈钢管或钛管；喷涂用白银粉，所述白银粉的纯度不小于99.99％，所述白银粉的粉体粒度为15～100μm；冷喷涂喷嘴进口处工作气压力为2.5～10mpa，温度为25℃；工作气加热到200～600℃，增压至2.5～10mpa；采用惰性气体或洁净空气为工作气，工作气流量为20‑60m3/h；所得靶材的靶材密度为98～99％，所得靶材的纯度不小于99.95％，所得靶材的含氧量不大于1000ppm。本发明所述制备方法具有所得靶材高质量、大尺寸、旋转靶、基材加工简单、可方便回收重复使用等优势。
技术研发人员：肖世文;周志宏;沈艳斌
受保护的技术使用者：广州市尤特新材料有限公司
技术研发日：2017.12.15
技术公布日：2018.05.29