应用于全硅棒滚磨设备中的位置调整装置的制作方法

文档序号:15816917发布日期:2018-11-02 22:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用于全硅棒滚磨设备中的位置调整装置,其特征在于,所述位置调整装置包括:

承载单元,用于承载全硅棒;

硅棒测量单元,用于对所述承载单元所承载的全硅棒进行测量;以及

位置调整机构,用于根据所述硅棒测量单元的测量结果而调整所述承载单元的位置,对所述全硅棒进行位置调整以实现对中。

2.根据权利要求1所述的位置调整装置,其特征在于,所述承载单元包括沿第一方向设置的至少两个承载台。

3.根据权利要求2所述的位置调整装置,其特征在于,所述至少两个承载台中的至少一者受控以相对全硅棒滚磨设备的机座沿着第一方向移动,改变所述至少两个承载台的承载间距。

4.根据权利要求3所述的位置调整装置,其特征在于,所述承载单元还包括沿着第一方向设置的行进导轨,所述至少两个承载台中的至少一者在所述行进导轨上移动。

5.根据权利要求4所述的位置调整装置,其特征在于,所述承载单元还包括行进驱动机构,所述行进驱动机构设于所述至少两个承载台中的至少一个承载台上,用于驱动所述至少一个承载台在所述行进导轨上移动。

6.根据权利要求5所述的位置调整装置,其特征在于,所述行进驱动机构包括:

齿带,沿着所述行进导轨铺设;

驱动齿轮,设于所述至少一个承载台上且与所述齿带啮合;以及

行进电机,用于驱动所述驱动齿轮转动以带动所述承载台沿着齿带行进。

7.根据权利要求5所述的位置调整装置,其特征在于,所述行进驱动机构包括:

行进丝杠,沿所述行进导轨设置且与所述至少一个承载台连接;

行进电机,与所述行进丝杠连接。

8.根据权利要求2所述的位置调整装置,其特征在于,所述位置调节机构包括:

升降机构,用于驱动所述至少两个承载台作升降运动;以及

偏移机构,用于驱动所述两个承载台中的至少一个承载台沿着第二方向作偏移运动。

9.根据权利要求8所述的位置调整装置,其特征在于,所述升降机构包括:

升降丝杠,沿竖直方向设置且与所述至少两个承载台连接;以及

升降电机,与所述升降丝杠连接。

10.根据权利要求8所述的位置调整装置,其特征在于,所述升降机构包括:

偏移丝杠,沿第二方向设置且与所述至少一个承载台连接;以及

偏移电机,与所述偏移丝杠连接。

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