技术总结
本发明公开了一种CrAlN/TiAlN纳米多层硬质涂层的制备方法，采用Ti作为过渡层溅射靶材，用CrAl合金靶和TiAl合金靶作为多层膜溅射靶材，将真空系统抽到9.0×10‑4Pa后，充入惰性气体Ar气作为放电气体，并通入N2作为反应气体。在正负电极间外加电压的作用下，电极间的气体原子将被大量电离，形成辉光放电，电子沿着电场方向加速，其轨迹为绕磁场方向螺旋前进的复杂曲线。能有效地与气体分子碰撞使后者发生电离，起到了维持气体放电的作用，此时溅射靶材会自动地处于一个负电位下，从而导致气体离子对其产生自发的轰击和溅射，溅射出来的金属离子与N2发生反应形成氮化物并沉积在基底上形成致密的表面涂层。
技术研发人员：杨坤;张吉东;王雪艳;孙茂珠;范婷;王博;刘云虎
受保护的技术使用者：石河子大学
技术研发日：2018.03.10
技术公布日：2018.09.14