一种棱镜真空镀膜系统的制作方法

文档序号:15730935发布日期:2018-10-23 17:16阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及棱镜加工技术领域。目的在于提供一种能够提高镀膜均匀度的棱镜真空镀膜系统。本实用新型所采用的技术方案是:一种棱镜真空镀膜系统,包括镀膜箱的箱体和箱门。箱体内的中部由下至上依次设置有与箱体相配合的第一横板和第二横板,所述第一横板呈格栅状,所述第二横板的中心设置圆形的通孔,所述通孔内设置布气盘,所述布气盘的下部通过轴承与第二横板连接。所述布气盘顶部的边缘设置一圈齿环,所述齿环与齿轮啮合,所述齿轮由固定设置在箱体内侧壁的第一电机驱动,所述布气盘上均匀设置若干布气孔。本实用新型能够极大的提高镀膜气体在箱体内分布的均匀度,使镀膜更加的均匀,提高了镀膜质量。

技术研发人员:秦靖
受保护的技术使用者:昆明爱美科光电有限公司
技术研发日:2018.02.05
技术公布日:2018.10.23

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