一种用于硅片碾磨的盘刷轮的制作方法

文档序号:16867547发布日期:2019-02-15 20:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于硅片碾磨的盘刷轮,包括盘刷轮主体(1),其特征在于:所述盘刷轮主体(1)中部设有轴孔(2),在所述轴孔(2)外侧设有多个排水孔(3),并且所述排水孔(3)呈环状设置,在所述排水孔(3)外侧设有刷盘区(4),在所述刷盘区内设有多个独立的毛刷安装槽(5),在所述毛刷安装槽(5)内安装有至少两种不同规格的毛刷(7),并且不同规格的毛刷(7)按一定比例间隔排布设置在所述毛刷安装槽(5)内。

2.根据权利要求1所述的用于硅片碾磨的盘刷轮,其特征在于:在所述毛刷安装槽(5)内安装有两种不同规格的毛刷(7)。

3.根据权利要求2所述的用于硅片碾磨的盘刷轮,其特征在于:所述两种不同规格的毛刷分别为700-900目和400-600目。

4.根据权利要求3所述的用于硅片碾磨的盘刷轮,其特征在于:所述规格为700-900目的毛刷和规格为400-600目的毛刷按照1:3比例间隔安装在毛刷安装槽内。

5.根据权利要求1所述的用于硅片碾磨的盘刷轮,其特征在于:所述盘刷轮主体(1)上还设有固定螺孔(6),并且所述固定螺孔等距设置在盘刷轮主体上。

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