一种用于硅片碾磨的盘刷轮的制作方法

文档序号:16867547发布日期:2019-02-15 20:19阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种用于硅片碾磨的盘刷轮,包括盘刷轮主体,所述盘刷轮主体中部设有轴孔,在所述轴孔外侧设有多个排水孔,并且所述排水孔呈环状设置,在所述排水孔外侧设有刷盘区,在所述刷盘区内设有多个独立的毛刷安装槽,在所述毛刷安装槽内安装有至少两种不同规格的毛刷,并且不同规格的毛刷按一定比例间隔排布设置在所述毛刷安装槽内;本实用新型结构简单,既能降低晶砖镜面亮度,又能降低硅片出刀口产生的亮边不良。

技术研发人员:陈建;周炎;王海庆
受保护的技术使用者:镇江环太硅科技有限公司
技术研发日:2018.07.11
技术公布日:2019.02.15

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