一种便于清理的半导体镀膜设备的制作方法

文档序号:23543018发布日期:2021-01-05 20:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种便于清理的半导体镀膜设备,包括设备主体,其特征在于:所述设备主体的外侧设置有保护罩,所述保护罩内部的底端活动连接有灰尘收集组件,所述保护罩内部两侧的中间位置处皆设置有固定杆,两组所述固定杆相邻的一侧皆活动连接有支撑组件,所述保护罩内部的顶端安装有第一电磁滑轨,所述第一电磁滑轨的底部滑动安装有第二电磁滑轨,所述第二电磁滑轨的底部活动安装有电机,所述电机的输出端安装有电动推杆,所述电动推杆的输出端设置有刷毛。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于:所述灰尘收集组件包括收集板,所述收集板的两侧皆设置有滑条,所述收集板的底部均匀设置有多组活动槽,所述活动槽的内部皆转动连接有滚球,所述活动槽的底部皆设置有缺口,且缺口的内直径大于滚球的外直径,所述收集板的顶部铺设有吸附棉。

3.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于:两组所述支撑组件皆包括支撑板,所述支撑板靠近固定杆的一侧皆设置有滑杆,所述支撑板的顶部皆设置有铁条,所述支撑板的顶部均匀设置有多组支撑杆,所述支撑杆的底部均匀设置有多组软垫,每两组所述软垫相邻的一侧皆设置有与铁条相匹配的磁条。

4.根据权利要求3所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于:两组所述固定杆相邻的一侧皆设置有与滑杆相匹配的固定槽,所述支撑板皆通过固定槽和滑杆的相互配合与固定杆滑动连接。

5.根据权利要求3所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于:所述支撑杆皆通过磁条和铁条的相互配合与支撑板的顶部磁性连接,所述磁条的高度是软垫高度的三分之二。

6.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于:所述第二电磁滑轨的顶部设置有与第一电磁滑轨相匹配的第一滑块,所述电机的顶部设置有与第二电磁滑轨相匹配的第二滑块。

7.根据权利要求2所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于:所述保护罩内部底端的两侧皆设置有与滑条相匹配的滑槽,所述收集板通过滑条和滑槽的相互配合与保护罩滑动连接。

8.根据权利要求2所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于:所述收集板顶部的两侧皆设置有斜面,两组所述斜面远离滑条的一侧皆向下倾斜,且斜面向下倾斜的角度为100°。


技术总结
本发明公开了一种便于清理的半导体镀膜设备,属于半导体镀膜技术领域,包括设备主体,设备主体的外侧设置有保护罩,保护罩内部的底端活动连接有灰尘收集组件,保护罩内部两侧的中间位置处皆设置有固定杆,两组固定杆相邻的一侧皆活动连接有支撑组件,保护罩内部的顶端安装有第一电磁滑轨。本发明通过电机带动刷毛对固定杆和支撑组件进行清扫,同时刷毛能在保护罩的内部进行前后左右移动,实现对灰尘和碎屑的清扫并滑落至收集板,保证支撑杆表面的干净度,从而不需要人工即可实现对其的清理,降低了工作的难度,提高了镀膜的效率。并可对支撑杆和对支撑杆之间的间距进行调整,使半导体镀膜设备对半导体的支撑范围更为广泛,提高了使用率。

技术研发人员:刘华长
受保护的技术使用者:广州万昌音响有限公司
技术研发日:2020.09.22
技术公布日:2021.01.05
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