一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置的制作方法

本发明涉及真空磁控溅射技术领域，具体为一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置。

背景技术：

真空磁控溅射技术是指一种利用阴极表面配合的磁场形成电子陷阱，使在e×b的作用下电子紧贴阴极表面飘移，设置一个与靶面电场正交的磁场，溅射时产生的快电子在正交的电磁场中作近似摆线运动，增加了电子行程，提高了气体的离化率，同时高能量粒子与气体碰撞后失去能量，基体温度较低，在不耐温材料上可以完成镀膜，这种技术是玻璃膜技术中的最尖端技术，是由航天工业、兵器工业、和核工业三个方面相结合的顶尖技术的民用化，民用主要是通过这种技术达到节能、环保等作用。

在现有技术中，靶材安装在阴极盖板上，阴极盖板安装在腔室上，在阴极盖板和腔室之间有一层表面极其光滑的密封面，用来确保密封性，每个保养周期要对密封面进行研磨，以保证光洁的密封面及优秀的密封效果，目前的靶管研磨装置过于一体化，内部的装置结构分别过于混乱，当需要对每个装置进行维护时，难以找到相应的装置进行检修，如对定位组件、执行机构或者执行机构等，为此本发明提供一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，解决了人工研磨的研磨质量无法保证，研磨效率低的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，包括轨道，所述轨道的顶部滑动连接有移动小车，所述移动小车的顶部通过沿竖直方向分布的升降组件活动连接有定位组件，所述定位组件的右侧通过执行机构活动连接有研磨组件，所述执行机构包括滑台，所述滑台顶部的前侧固定安装有沿竖直方向分布的第一电机，所述滑台的内部转动连接有丝杆，所述第一电机的输出端贯穿滑台延伸至滑台的内部并通过锥齿轮副与丝杆传动连接，所述丝杆的外部且位于滑台的内部活动连接有滑座，所述研磨组件包括安装板，所述安装板顶部的左侧固定安装有沿竖直方向分布的第二电机，所述第二电机的输出端贯穿安装板延伸至安装板的下方并固定连接有主动轮，所述主动轮的外部通过皮带传动连接有两个从动轮，两个所述从动轮分别通过两个轴承与安装板转动连接，所述主动轮和两个从动轮的底部均固定连接有研磨块。

优选的，所述移动小车包括沿水平方向分布的底板，所述底板底部的四个拐角处均通过脚架转动连接有滑轮，四个所述滑轮呈矩形阵列分布，所述底板顶部的后侧固定连接有电控箱，所述底板的右侧固定连接有支架，所述支架设置为l形结构，所述支架的水平面板固定连接有底板的顶部，所述支架的竖直面板延伸至底板的下方并贯穿有螺杆，所述螺杆的内端固定连接有压块。

优选的，所述升降组件包括壳体，所述壳体的前、后两内侧壁上均固定连接有沿竖直方向分布的导柱，所述壳体的内底壁固定连接有沿竖直方向分布的气缸，所述气缸的输出端且位于壳体的内部固定连接有沿水平方向分布的活动板，且活动板的前、后两侧均开设有导槽，所述活动板顶部的中部固定连接有立杆，所述壳体的顶部固定连接有端盖，且端盖的中部开设有限位孔，所述立杆贯穿限位孔延伸至壳体的外部。

优选的，所述定位组件包括沿水平方向分布的支撑板，所述支撑板顶部的左侧固定连接有固定板，所述固定板垂直于支撑板，所述支撑板的顶部且位于固定板的右侧固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端贯穿固定板延伸至固定板的左侧，所述液压杆输出端的前、后两侧且位于固定板上均贯穿有导杆，所述导杆的右端固定连接有挡板，所述液压杆的输出端和两个导杆的左端均固定连接有连接座。

优选的，所述丝杆的左、右两端分别通过两个轴承沿水平方向转动连接在滑台内，所述丝杆贯穿滑座并与滑座螺纹连接。

优选的，所述螺杆与支架螺纹连接，所述螺杆的外端固定安装有手轮，所述压块与轨道侧壁的凹槽相适配。

优选的，所述导柱与导槽相适配。

优选的，所述液压杆输出端轴线所在的直线与两个导杆轴线所在的直线位于同于水平面。

有益效果

本发明提供了一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置。与现有技术相比具备以下有益效果：本发明将升降组件、定位组件、研磨组件、执行机构进行模块化的设置，使整个靶管的打磨装置便于装卸，便于对每个机构进行维护，大大提高了对整个靶管装置维护的高效性；通过设置有执行机构和研磨组件，利用研磨组件替代人工研磨可以确保研磨的质量以及效率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明执行机构的结构示意图；

图3为本发明研磨组件的结构示意图；

图4为本发明移动小车的结构示意图；

图5为本发明升降组件的结构示意图；

图6为本发明定位组件的结构示意图；

图中：1、轨道；2、移动小车；3、升降组件；4、定位组件；5、执行机构；6、研磨组件；7、滑台；8、第一电机；9、丝杆；10、滑座；11、安装板；12、第二电机；13、主动轮；14、皮带；15、从动轮；16、研磨块；17、底板；18、脚架；19、滑轮；20、电控箱；21、支架；22、螺杆；23、压块；24、手轮；25、壳体；26、导柱；27、气缸；28、活动板；29、导槽；30、立杆；31、端盖；32、限位孔；33、支撑板；34、固定板；35、液压杆；36、导杆；37、挡板；38、连接座。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，包括轨道1，轨道1的顶部滑动连接有移动小车2，通过移动小车2、升降组件3以及定位组件4，可以在进行周期保养，快速实现研磨作业的准备工作，大大提升了操作人员使用的便捷性，移动小车2的顶部通过沿竖直方向分布的升降组件3活动连接有定位组件4，定位组件4的右侧通过执行机构5活动连接有研磨组件6，利用执行机构5可以实现研磨组件对整个密封面的研磨效果，可以实现局部研磨，使用更加便捷，执行机构5包括滑台7，滑台7顶部的前侧固定安装有沿竖直方向分布的第一电机8，滑台7的内部转动连接有丝杆9，第一电机8的输出端贯穿滑台7延伸至滑台7的内部并通过锥齿轮副与丝杆9传动连接，丝杆9的外部且位于滑台7的内部活动连接有滑座10，研磨组件6包括安装板11，安装板11顶部的左侧固定安装有沿竖直方向分布的第二电机12，第二电机12的输出端贯穿安装板11延伸至安装板11的下方并固定连接有主动轮13，主动轮13的外部通过皮带14传动连接有两个从动轮15，两个从动轮15分别通过两个轴承与安装板11转动连接，主动轮13和两个从动轮15的底部均固定连接有研磨块16，移动小车2包括沿水平方向分布的底板17，底板17底部的四个拐角处均通过脚架18转动连接有滑轮19，四个滑轮19呈矩形阵列分布，底板17顶部的后侧固定连接有电控箱20，底板17的右侧固定连接有支架21，支架21设置为l形结构，支架21的水平面板固定连接有底板17的顶部，支架21的竖直面板延伸至底板17的下方并贯穿有螺杆22，螺杆22的内端固定连接有压块23，升降组件3包括壳体25，壳体25的前、后两内侧壁上均固定连接有沿竖直方向分布的导柱26，壳体25的内底壁固定连接有沿竖直方向分布的气缸27，气缸27的输出端且位于壳体25的内部固定连接有沿水平方向分布的活动板28，且活动板28的前、后两侧均开设有导槽29，活动板28顶部的中部固定连接有立杆30，壳体25的顶部固定连接有端盖31，且端盖31的中部开设有限位孔32，立杆30贯穿限位孔32延伸至壳体25的外部，定位组件4包括沿水平方向分布的支撑板33，支撑板33顶部的左侧固定连接有固定板34，固定板34垂直于支撑板33，支撑板33的顶部且位于固定板34的右侧固定连接有液压杆35，液压杆35的输出端贯穿固定板34延伸至固定板34的左侧，液压杆35输出端的前、后两侧且位于固定板34上均贯穿有导杆36，导杆36的右端固定连接有挡板37，液压杆35的输出端和两个导杆36的左端均固定连接有连接座38，丝杆9的左、右两端分别通过两个轴承沿水平方向转动连接在滑台7内，丝杆9贯穿滑座10并与滑座10螺纹连接，螺杆22与支架21螺纹连接，螺杆22的外端固定安装有手轮24，压块23与轨道1侧壁的凹槽相适配，导柱26与导槽29相适配，液压杆35输出端轴线所在的直线与两个导杆36轴线所在的直线位于同于水平面，通过设置有执行机构5和研磨组件6，利用研磨组件6替代人工研磨可以确保研磨的质量以及效率，利用执行机构5可以实现研磨组件6对整个密封面的研磨效果，可以实现局部研磨，使用更加便捷。

工作时，在定期维护的过程中，操作人员通过控制移动小车2沿着轨道1移动至真空磁控溅射设备前，并通过转动手轮24，使得螺杆22转动带动压块23抵压在轨道1的外侧，从而实现对移动小车2的限位，操作人员通过控制升降组件3实现定位组件4带动执行机构5和研磨组件6上移至设备进口端，并通过定位组件4实现执行机构5带动研磨组件6向设备内部移动到指定位置，随后操作人员控制升降组件3回缩，使得研磨块16与密封面相贴合，通过启动执行机构5和研磨组件6，第二电机12带动主动轮13转动，主动轮13通过皮带14带动两个从动轮15转动，从而实现三个研磨块16的转动，同时滑台7带动滑座10沿水平方向进行移动，使得研磨组件6对整个密封面进行研磨作业。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。