成膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于在带状的被成膜材的表面上形成功能性薄膜等薄膜的连续成膜
目.ο
【背景技术】
[0002]以往，作为用于对由长条的薄膜或薄片构成的薄壁的被成膜材连续地进行成膜的装置，已知有这样的结构:将该被成膜材在真空腔室内连续地输送，并在其表面上通过溅镀或蒸镀形成各种功能性薄膜。
[0003]作为这样的成膜装置，例如专利文献1公开了包括上部腔室和下部腔室的结构。上述下部腔室收纳能够卷绕由薄膜等构成的被成膜材的成膜棍、和用于对该被成膜材实施成膜处理的多个溅镀源等。该下部腔室具有左右侧壁，在这些侧壁上形成有开口，并且在该侧壁上装配有用来开闭该开口的门。在将该门打开的状态下，经由上述开口进行各批次处理的靶极的更换、划分成膜区域的掩模的更换及清扫、被成膜材的所谓的通纸及更换等各种维护作业。
[0004]上述上部腔室配置在上述下部腔室的上方，并且收纳将上述被成膜材展开的展开单元、将所展开的被成膜材加热并从该被成膜材将气体分离的脱气单元、和将上述被成膜材卷取的卷取单元。在该装置中，从上述上部腔室内的上述展开单元展开的被成膜材在穿过上述脱气单元后暂且被运入到下部腔室内，在这里进行了成膜处理后，向上述上部腔室返回并由上述卷取单元卷取。
[0005]这样，通过将除了上述成膜辊及其周边设备以外的加工单元收纳到上述上部腔室中，而在下部腔室的左右两侧确保了用来进行上述维护等作业的空间。
[0006]在上述的现有装置中，需要在下部腔室的左右的门外侧分别确保充分的作业空间，不能在该下部腔室的左右相邻的位置配置其他单元，所以必须在上述下部腔室的更上侧设置上部腔室，在该上部腔室内收纳要配置到成膜辊的上游侧的展开单元、脱气单元及要配置到成膜辊的下游侧的卷取单元。这导致装置整体的组装作业的复杂化及维护作业的困难化。具体而言，当组装上述装置时，需要在使用起重机等将重量大的上部腔室吊起的状态下在其下方设置下部腔室并在其上连结上述上部腔室的大规模的作业，该作业并不容易。此外，在上部腔室内的各零件的更换及维护时，作业人员必须从处于较高位置的上部腔室的上侧进入该上部腔室来进行作业，用于该作业的脚手架及用于保证安全性的设备成本也增大。
[0007]专利文献1:日本特开2010 - 053382号公报。
【发明内容】
[0008]本发明的目的是提供一种包括含有成膜单元的多个单元的成膜装置，在将这些单元不上下重叠地配置的同时，能够将用于上述成膜单元中装备的各成膜加工用设备的更换及维护的作业空间确保得大。
[0009]本发明所提供的成膜装置一边将沿特定方向延伸的带状的被成膜材沿其纵长方向输送，一边对该被成膜材的表面实施成膜，包括成膜单元、配置在比该成膜单元靠上述被成膜材的输送方向的上游侧的上游侧单元、和配置在比上述成膜单元靠上述被成膜材的输送方向下游侧的下游侧单元。上述成膜单元具有:成膜辊，能够绕水平的旋转中心轴旋转；多个成膜加工用设备，配置在该成膜辊的周围；多个引导辊，配置为在上述上游侧单元及上述下游侧单元与上述成膜辊之间进行上述被成膜材的引导；主腔室，具有收纳上述成膜辊的成膜辊收纳部、以及位于该成膜辊收纳部的上侧并收纳上述引导辊的至少一部分的引导辊收纳部；第1加工腔室和第2加工腔室，关于与上述成膜辊的中心轴的方向正交的左右方向分别配置在上述成膜辊收纳部的两侧，分别收纳上述成膜加工用设备的至少一部分，具有朝向上述成膜辊收纳部侧的开口 ；加工腔室支承部，支承这些第1加工腔室和第2加工腔室。上述成膜辊收纳部具有左右的第1腔室开口侧面，该左右的第1腔室开口侧面位于上述成膜辊的左右方向的两侧，与上述第1加工腔室和第2加工腔室的上述成膜辊收纳部侧的开口一致。上述引导辊收纳部具有比上述成膜辊收纳部的左右的第1腔室开口侧面向上述左右方向的两侧延伸的部分，这些部分具有与上述上游侧单元及上述下游侧单元分别连接的左右的第2腔室开口侧面。上述加工腔室支承部将上述第1加工腔室和第2加工腔室支承为，能够在通常位置与退避位置之间移动并且能够在该退避位置与露出位置之间移动，所述通常位置是所述加工腔室将上述成膜辊收纳部的开口覆盖并与上述主腔室一起形成成膜空间的位置，所述退避位置是从该通常位置在比上述上游侧单元及上述下游侧单元靠内侧的范围内向左右方向的外侧退避的位置，所述露出位置是从该退避位置沿与上述成膜辊的旋转中心轴平行的方向即前后方向离开的位置，并且在所述露出位置上述加工腔室的内部露出。
[0010]另外，本发明中所说的“水平”并不是严格规定的，是也包含相对于完全的水平面稍稍倾斜的方向的概念。
【附图说明】
[0011]图1是本发明的实施方式的成膜装置的剖面主视图，是图4的I 一 I线剖视图。
[0012]图2是表示上述成膜装置的主要部分的剖面主视图。
[0013]图3是图1的III — III线剖视图。
[0014]图4是上述成膜装置的俯视图。
【具体实施方式】
[0015]参照【附图说明】本发明的优选实施方式。
[0016]图1所示的成膜装置是用于将例如由塑料制的薄膜构成的长条且带状的被成膜材10 —边沿其纵长方向输送一边在该被成膜材10的表面上形成薄膜的装置。该成膜装置以上述被成膜材10的加工的顺序，包括展开单元12、脱气单元14、成膜单元16和卷取单元18。上述单元12、14、16、18沿着上述被成膜材10的输送方向即水平方向依次排列。在该装置中，与后述的成膜辊70的旋转中心轴X正交的水平方向(也包括稍稍倾斜的情况)相当于左右方向，与该旋转中心轴X平行的方向相当于前后方向，上述各单元12、14、16及18依次在左右方向上(在图1中在从左向右的方向上)排列。
[0017]上述展开单元12是进行上述被成膜材10的供给的，包括展开滚筒26、分别作为引导辊的多个自由辊28、包围供给用空间22的展开腔室24和门30。展开滚筒26收纳在上述展开腔室24的下部，通过该展开滚筒26的旋转将卷绕在该展开滚筒26上的被成膜材10依次展开。上述各自由辊28在上述展开腔室24内配置在上述展开滚筒26的上方，将从该展开滚筒26展开的被成膜材10向设置在上述展开腔室24的上部的出口 32引导。上述展开腔室24具有将上述供给用空间22向该展开腔室24的外侧开放的开口，上述门30经由铰链安装在上述展开腔室24上，以开闭该开口。上述开口在上述展开滚筒26的更换、被成膜材10的所谓通纸及其他维护作业中使用。
[0018]上述脱气单元14是作为成膜的前处理工序将展开的被成膜材10加热而将其中含有的气体从该被成膜材10分离的单元，包括多个自由辊40、多片板式加热器42、包围脱气用空间34的脱气腔室36、和配置在该脱气腔室36的下侧的支承框架38，在上述脱气腔室36内收纳上述自由辊40及板式加热器42。
[0019]上述脱气腔室36具有与上述展开单元12的出口 32连接的入口 43、和位于其相反侧的出口 44。上述支承框架38将上述脱气腔室36支承在该入口 43与上述出口 32 —致的高度位置。上述脱气腔室36包括上下取位的顶盖45及底盖46，分别形成有维护用的开口，并且经由铰链安装着用来开闭该开口的门47、48。上述支承框架38为了能够从设置在上述底盖46上的开口进行作业，而将作业人员能够进入上述脱气腔室36的下方的作业空间50包围。
[0020]上述各自由辊40上下交替地配置，以便将上述被成膜材10 —边在上述脱气腔室36内上下输送一边从上述入口 43向上述出口 44引导。上述各板式加热器42以直立姿势配置在被成膜材10中的在左右方向上彼此相邻的部分彼此之间，其中被成膜材10如上述那样一边沿上下方向被输送一边沿左右方向行进，通过该板式加热器42自己发热，将上述被成膜材10加热，从而执行脱气处理。
[0021]上述成膜单元16是对从上述展开单元12经由上述脱气单元14导入的被成膜材10的表面实施成膜处理(在该实施方式中是溅镀)的单元，关于其详细情况在后面详细说明。
[0022]上述卷取单元18是进行在上述成膜单元16中被实施了成膜的被成膜材10的卷取的单元，包括包围卷取用空间52的卷取腔室54、收纳在该卷取腔室52内的卷取滚筒56及多个自由辊58和门60。卷取滚筒56收纳在上述卷取腔室54的下部，通过该卷取滚筒56的旋转，将从上述成膜单元16导入的被成膜材10依次卷取。上述各自由辊58配置在上述卷取滚筒56的上方，将从设置在上述卷取腔室54的上部的入口 62向卷取用空间52内导入的被成膜材10向上述卷取滚筒56引导。上述卷取腔室54具有将上述卷取用空间52向该卷取腔室54的外侧开放的开口，上述门60经由铰链安装在上述卷取腔室54上，以开闭该开口。上述开口在上述卷取滚筒56的更换、被成膜材10的所谓通纸及其他维护作业中使用。
[0023]接着，同时参照图2?图4说明上述成膜单元16的详细情况。
[0024]上述成膜单元16包括:主腔室64 ;左侧加工腔室(第1加工腔室)66 ;右侧加工腔室(第2加工腔室)68 ;成膜辊70 ;多个自由辊，包括左右的辅助辊71及多个引导辊72 ;多个成膜加工用设备，包括后述的溅镀源84和压力分离用分隔壁88 ;腔室支承部20，包括加工腔室支承部104。
[0025]上述主腔室64是成膜辊收纳部74和引导辊收纳部76 —体地相连的结构，与其收纳物