向。歧管 171经由阀V44和V165B供给气体至喷头14,同时阀V89被关闭。在一些实例中，阀供给氩 (Ar)，但也可使用其它气体。
[0100] 在图11和11B中，在投配吹扫阶段期间，用阀V215、MFC 114以及通向阀V214、阀 V213和阀V202的一侧的阀供给推气体。由歧管144供给的气体通过阀V46被引导至MM 134。MM 134的输出被供给到阀V166B和V164B的一侧。歧管150的输出通过阀V167被 转向。气体由歧管160经由阀V89和V165B被供给至喷头14。可以利用阀V162将吹扫气 体供给至喷头14的背面。歧管171通过阀V36被转向至真空。
[0101] 在图11和11C中，在投配吹扫后阶段期间，用阀V215、MFC 114以及通向阀V214、 阀V213和阀V202的一侧的阀供给推气体。通过歧管144供给的气体通过阀V46被引导 至MM 134。MM 134的输出被供给到阀V166B和V164B的一侧。歧管150的输出通过阀 V69B被供给至喷头14。气体由歧管160经由阀V89和V165B被供给至喷头14。可以利用 阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。歧管171通过阀V36转向至真空。
[0102] 在图11和11D中，在RF阶段期间，用阀V215、MFC 114以及通向阀V214、阀V213 和阀V202的一侧的阀供给推气体。由歧管144供给的气体通过阀V46被引导至MM 134。 MM 134的输出被供给到阀V166B和V164B的一侧。歧管150的输出通过阀V69B被供给至 喷头。可以利用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。歧管171通过阀V36被转向至 真空。
[0103] 在图11和11E中，在RF后阶段期间，用阀V215、MFC 114以及通向阀V214、阀V213 和阀V202的一侧的阀供给推气体。由歧管144供给的气体通过阀V46被引导至MM 134。 MM 134的输出被供给到阀V166B和V164B的一侧。歧管150的输出通过阀V167被转向至 真空。气体由歧管160经由阀V89和V165B被供给至喷头14。可以利用阀V162将吹扫气 体供给至喷头14的背面。歧管171通过阀V36被转向至真空。
[0104] 仅作为示例，投配阶段可具有0. 4秒的持续时间，投配吹扫阶段可具有0. 3秒的持 续时间，投配吹扫后可以具有〇. 1秒的持续时间，RF阶段可以具有0. 4秒的持续时间，RF后 阶段可以具有〇. 15秒的持续时间，但也可使用其他的持续时间。
[0105] 现在参考图12,控制器40可被连接到温度传感器或热电偶123和125以提供温度 反馈来控制加热器121。控制器40也可与液位传感器127通信以控制安瓿118的前体填 充液位。控制器40还可以监控一个或多个压力传感器270,以使得位于蒸气传输系统的一 个或多个管线的压力调节器271能调节。控制器40也可被用来控制限流孔142以调节管 线的流导。在一些实例中，限流孔142可基于来自一个或多个系统传感器的反馈进行调节。 控制器40也与通常由附图标记274标识的阀和MFC 114通信。控制器40与诸如那些与歧 管132、150和160相关联的一个或多个气体输送系统（统称标识为280)通信。
[0106] 现在参考图13,示出了用于控制阀的方法的例子。在320,控制确定蒸气是否应该 被输送。如果为真，在324控制继续，在投配阶段期间控制阀。当在326确定投配阶段结束， 在330控制继续，在投配吹扫阶段期间控制阀。当在334确定投配吹扫阶段结束，在338控 制继续，在投配吹扫后阶段期间控制阀。当在340确定投配吹扫后阶段结束时，在344控制 继续，并在RF阶段期间控制阀。当在348确定RF阶段结束时，在352控制继续，并在RF后 阶段控制阀。当在356确定RF后阶段结束时，控制结束。针对衬底，方法可以重复一次或 更多次。
[0107] 前面的描述在本质上仅仅是说明性的，并且决不旨在限制本公开、本公开的应用 或用途。本公开的广泛教导可以以各种形式来实现。由于其它的修改将根据对附图、说明 书和权利要求书的研究变得显而易见，因此，虽然本公开包括特定示例，但本公开的真实范 围不应当受此限制。如本文所用，短语A、B和C中的至少一个应该被解释为指使用非排他 性的逻辑或（0R)的逻辑（A或B或C)，不应该被解释为指"A中的至少一个，B中的至少一 个，和C中的至少一个"。应当理解的是，在方法中的一个或多个步骤可以以不同的顺序（或 同时）而不改变本公开的原理来执行。
[0108] 在本申请中，包括下面的定义，术语控制器可以被替换为术语电路。术语控制器可 以指以下器件、以下器件的一部分、或包括以下器件：专用集成电路（ASIC);数字、模拟或 混合模拟/数字分立电路；数字、模拟或混合模拟/数字集成电路；组合逻辑电路；现场可 编程门阵列（FPGA);执行代码的处理器电路（共享的、专用的或群组的）；存储由处理器电 路执行的代码的存储器电路（共享的、专用的或群组的）；提供所描述的功能的其它合适的 硬件组件；或上述器件的部分或全部的组合，如在片上系统（a system-on-chip)。
[0109] 控制器可以包括一个或多个接口电路。在一些实例中，接口电路可以包括连接到 局域网（LAN)、互联网、广域网（WAN)或它们的组合的有线或无线接口。本发明的任何给定 的控制器的功能可以在利用接口电路连接的多个控制器之间分配。例如，多个控制器可以 允许负载平衡。在进一步的例子中，服务器（也称为远程，或云）控制器可以代表客户控制 器完成某些功能。
[0110] 如上述使用的术语代码可以包括软件、固件和/或微代码，并且可以指程序、例 程、函数、类程、数据结构和/或对象。术语共享处理器电路包括执行来自多个控制器的部 分或全部代码的单个处理器电路。术语群组处理器电路包括与另外的处理器电路组合来执 行来自一个或多个控制器的一些或全部代码的处理器电路。引用多个处理器电路包含分立 的管芯上的多个处理器电路，单个管芯上的多个处理器电路，多核的单个处理器电路，多个 线程的单个处理器电路，或以上的组合。术语共享存储器包括存储来自多个控制器的部分 或全部代码的单个存储器。术语群组存储器包括与另外的存储器组合来存储来自一个或多 个控制器的一些或全部代码的存储器电路。
[0111] 术语存储器电路是术语计算机可读介质的子集。如本文所用的术语计算机可读介 质不包括传播通过介质（诸如在载波上）的暂时性的电信号或电磁信号；因此术语计算机 可读介质可以被认为是有形的和非暂时性的。非暂时性的有形计算机可读介质的非限制性 实施例包括非易失性存储器电路（诸如闪存电路或掩模只读存储器电路），易失性存储器 (诸如静态随机存取存储器电路和动态随机存取存储器电路），以及辅助存储器，诸如磁存 储器（诸如磁带或硬盘驱动器）和光存储器。
[0112] 本申请中描述的方法和装置可以部分或完全通过配置通用计算机以执行包含在 计算机程序中的一个或多个特定的功能产生的专用计算机来实现。这些计算机程序包括存 储在至少一个非暂时性的有形计算机可读介质上的处理器可执行指令。这些计算机程序也 可以包括或依赖于所存储的数据。这些计算机程序可以包括与专用计算机的硬件进行交互 的基本输入/输出系统（BIOS)，与专用计算机的特定装置交互的设备驱动程序，一个或多 个操作系统，用户应用程序，后台服务和应用程序等。这些计算机程序可以包括：（i)汇编 代码；（ii)由编译器从源代码生成的目标代码；（iii)通过解译器执行的源代码；（iv)用 于通过及时编译器编译和执行的源代码，（v)用于解析的描述性文本，如HTML(超文本标记 语言）或XML(可扩展标记语言）等。仅作为例子，源代码可以用C、C++、C#、0bjective-C、 页）、Perl、Scala、Erlang、Ruby、Flasli?、visual Basie:?.、. Lua，或Python⑩来编写。
[0113] 权利要求中所述的元件并非35U. S. C. § 112(f)的含义内的装置加功能元件，除 非元件使用短语"用于..的装置"明确陈述，或在使用短语"用于..的操作"或"用于...的 阶段"的方法权利要求的情况下。
【主权项】
1. 一种用于衬底处理系统的蒸气输送系统，其包括： 安瓿，其用以储存液体前体； 加热器，其用以选择性地加热所述安瓿到预定的温度，以至少部分地汽化所述液体前 体； 加热的喷射歧管，其包括入口和出口； 第一阀，其具有与推气源流体连通的入口和与所述安瓿流体连通的出口； 第二阀，其具有接收来自所述安瓿的汽化的前体的入口和与所述加热的喷射歧管的所 述入口流体连通的出口； 阀歧管，其包括： 第一节点，其与所述加热的喷射歧管的出口流体连通； 第三阀，其具有与所述第一节点流体连通的入口和与真空流体连通的出口； 第四阀，其具有与所述第一节点流体连通的入口和与第二节点流体连通的出口； 第五阀，其具有与所述第二节点流体连通的出口； 第六阀，其具有与所述第二节点流体连通的出口；以及 气体分配装置，其与所述第二节点流体连通。2. 根据权利要求1所述的蒸气输送系统，其中所述气体分配装置包括喷头。3. 根据权利要求1所述的蒸气输送系统，其还包括： 第七阀，其具有与所述第二阀的所述出口流体连通的入口； 限流孔，其与所述第二阀的所述出口流体连通；以及 第八阀，其具有与所述限流孔流体连通的入口和与所述加热的喷射歧管流体连通的出 □ 〇4. 根据权利要求3所述的蒸气输送系统，其还包括： 第九阀，其具有与第一气体歧管流体连通的入口和与所述第五阀的入口流体连通的出 □ 〇5. 根据权利要求4所述的蒸气输送系统，其还包括第十阀，所述第十阀具有与所述第 一气体歧管流体连通的入口和将气体从所述第一气体歧管供给至所述气体分配装置的背 面的出口。6. 根据权利要求4所述的蒸气输送系统，其还包括第十阀，所述第十阀具有与第二气 体歧管和所述第六阀的入口流体连通的入口，以及与真空源流体连通的出口。7. 根据权利要求6所述的蒸气输送系统，其还包括控制器，在投配阶段期间，所述控制 器被配置为： 使用所述第一阀将推气体供给至所述安瓿； 使用所述第二阀、所述第七阀、所述限流孔和所述第八阀将来自所述安瓿的所述汽化 的前体供给至所述加热的喷射歧管； 使用所述第四阀将来自所述加热的喷射歧管的所述汽化的前体供给至所述气体分配 装置；以及 使用所述第十阀使所述第二气体歧管转向。8. 根据权利要求7所述的蒸气输送系统，其中所述控制器被进一步配置为： 在所述投配阶段之后，按顺序操作投配吹扫阶段、投配吹扫后阶段、射频（RF)阶段和 RF后阶段； 在所述投配吹扫阶段，所述投配吹扫后阶段、所述RF阶段和所述RF后阶段时： 使用所述第一阀将推气体供给至所述安瓿； 使用所述第二阀、所述第七阀、所述限流孔和所述第八阀将来自所述安瓿的所述汽化 的前体供给至所述加热的喷射歧管；以及 使用所述第三阀和所述第四阀将来自所述加热的喷射歧管的所述汽化的前体转向至 真空； 在投配吹扫阶段时，使用所述第六阀和所述第十阀将来自所述第二气体歧管的气体转 向，并使用所述第九阀和所述第五阀将来自所述第一气体歧管的气体供给至所述气体分配 装置； 在所述投配吹扫后阶段时，使用所述第九阀和所述第五阀将来自所述第一气体歧管的 气体供给至所述气体分配装置，使用所述第六阀将来自所述第二气体歧管的气体供给至所 述气体分配装置； 在RF阶段时，使用所述第六阀将来自所述第二气体歧管的气