一种气浮式旋转工作台工位切换的控制方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及全自动晶圆减薄机的控制系统，尤其是涉及一种气浮式旋转工作台工位切换的控制方法及装置。
【背景技术】
[0002]在全自动晶圆减薄机的控制系统中，工作台的定位和工位切换是一个保证控制系统自动运行和磨削精度的关键问题。在工作台的旋转过程中，由于放置和取下晶圆、粗磨及精磨等工艺的位置固定，因此需要旋转工作台并切换工位，以使工作台上的同一工位能够同时完成放置和取下晶圆、粗磨及精磨等工艺流程。由此可以看出，工作台上工位切换的定位精度直接影响到晶圆中心位置的磨削质量。
【发明内容】
[0003]为了保证工作台旋转时工位切换的精准度和可靠度，本发明提供了一种气浮式旋转工作台工位切换的控制方法及装置。
[0004]为了实现上述目的，本发明提供了一种气浮式旋转工作台工位切换的控制方法，应用于气浮式旋转工作台，所述气浮式旋转工作台包括:工作台，所述工作台上设置有零位传感器；位于所述工作台上的旋转盘，所述旋转盘上设置有多个工位，并且其中一工位处设置有零位开关遮光片；用于驱动所述旋转盘转动的伺服电机；用于控制所述旋转盘升降的气源控制机构；用于读取工位位置的伺服电机编码器；用于控制伺服电机和气源控制机构的控制器，且控制器的输入端分别与零位传感器和伺服电机编码器连接；所述控制方法包括:
[0005]检测零位开关遮光片的位置，当所述零位开关遮光片与所述零位传感器的位置对应时，将所述零位开关遮光片的对应位置设定为基准位置；
[0006]获取旋转盘上一工位相对于所述基准位置的当前绝对位置；
[0007]根据所述工位的当前绝对位置，计算所述工位转动至预设工位的转动角度；
[0008]根据所述转动角度，向伺服电机发送第一控制信号，使所述伺服电机驱动旋转盘上的所述工位旋转所述转动角度切换至所述预设工位。
[0009]可选的，所述获取旋转盘上一工位相对于所述基准位置的当前绝对位置，具体为:接收所述伺服电机编码器实时读取的旋转盘上的工位相对于所述基准位置的当前绝对位置。
[0010]可选的，当工位的个数为三个，且三个工位以间隔120度的角度分布在旋转盘上时，所述根据所述工位的当前绝对位置，计算所述工位转动至预设工位的转动角度，具体包括:当所述工位的当前绝对位置为所述基准位置时，计算所述工位转动至预设工位的转动角度为顺时针120度；当所述工位的当前绝对位置为以所述基准位置为基准顺时针旋转120度对应的第一位置时，计算所述工位转动至预设工位的转动角度为顺时针120度；当所述工位的当前绝对位置为以所述基准位置为基准顺时针旋转240度对应的第二位置时，计算所述工位转动至预设工位的转动角度为逆时针240度。
[0011]可选的，在所述根据所述转动角度，向伺服电机发送第一控制信号，使所述伺服电机驱动旋转盘上的所述工位切换至所述预设工位之前，所述控制方法还包括:向所述气源控制机构发送第二控制信号，使所述气源控制机构控制所述旋转盘从所述工作台上浮起。
[0012]可选的，在所述根据所述转动角度，向伺服电机发送第一控制信号，使所述伺服电机驱动旋转盘上的所述工位切换至所述预设工位之后，所述控制方法还包括:向所述气源控制机构发送第三控制信号，使所述气源控制机构停止工作；向所述气源控制机构发送第四控制信号，使所述气源控制机构控制所述旋转盘降回至所述工作台上。
[0013]依据本发明的另一个方面，本发明还提供了一种气浮式旋转工作台工位切换的控制装置，应用于气浮式旋转工作台，所述气浮式旋转工作台包括:工作台，所述工作台上设置有零位传感器；位于所述工作台上的旋转盘，所述旋转盘上设置有多个工位，并且其中一工位处设置有零位开关遮光片；用于驱动所述旋转盘转动的伺服电机；用于控制所述旋转盘升降的气源控制机构；用于读取工位位置的伺服电机编码器；用于控制伺服电机和气源控制机构的控制器，且控制器的输入端分别与零位传感器和伺服电机编码器连接；所述控制装置包括:
[0014]检测模块，用于检测零位开关遮光片的位置，当所述零位开关遮光片与所述零位传感器的位置对应时，将所述零位开关遮光片的对应位置设定为基准位置；
[0015]获取模块，用于获取旋转盘上一工位相对于所述基准位置的当前绝对位置；
[0016]计算模块，用于根据所述工位的当前绝对位置，计算所述工位转动至预设工位的转动角度；
[0017]第一发送模块，用于根据所述转动角度，向伺服电机发送第一控制信号，使所述伺服电机驱动旋转盘上的所述工位旋转所述转动角度切换至所述预设工位。
[0018]可选的，所述获取模块具体用于，接收所述伺服电机编码器实时读取的旋转盘上的工位相对于所述基准位置的当前绝对位置。
[0019]可选的，当工位的个数为三个，且三个工位以间隔120度的角度分布在旋转盘上时，所述计算模块具体用于，当所述工位的当前绝对位置为所述基准位置时，计算所述工位转动至预设工位的转动角度为顺时针120度；当所述工位的当前绝对位置为以所述基准位置为基准顺时针旋转120度对应的第一位置时，计算所述工位转动至预设工位的转动角度为顺时针120度；当所述工位的当前绝对位置为以所述基准位置为基准顺时针旋转240度对应的第二位置时，计算所述工位转动至预设工位的转动角度为逆时针240度。
[0020]可选的，所述控制装置还包括:第二发送模块，用于向所述气源控制机构发送第二控制信号，使所述气源控制机构控制所述旋转盘从所述工作台上浮起。
[0021]可选的，所述控制装置还包括:第三发送模块，用于向所述气源控制机构发送第三控制信号，使所述气源控制机构停止工作；第四发送模块，用于向所述气源控制机构发送第四控制信号，使所述气源控制机构控制所述旋转盘降回至所述工作台上。
[0022]本发明的有益效果是:
[0023]本发明提供的气浮式旋转工作台工位切换的控制方法，应用于气浮式旋转工作台，在控制气浮式旋转工作台工位切换时，首先检测零位开关遮光片的位置，当零位开关遮光片与零位传感器的位置对应时，将零位开关遮光片的对应位置设定为基准位置，然后根据获取的工位相对于基准位置的当前绝对位置，计算工位转动至预设工位的转动角度，最后根据转动角度，向伺服电机发送第一控制信号，使伺服电机驱动旋转盘上的工位旋转计算得到的转动角度后，切换至预设工位。本发明通过设定基准位置，并依据基准位置和一工位的当前绝对位置，向伺服电机发送驱动旋转盘上的工位旋转转动角度的第一控制信号，使工位切换至预设工位，保证了气浮式旋转工作台旋转时工位切换的精准度和可靠度。
【附图说明】
[0024]图1表示本发明的实施例中气浮式旋转工作台的结构框图；
[0025]图2表示本发明的实施例中气浮式旋转工作台工位切换的控制方法的步骤流程图；
[0026]图3表示本发明的实施例中气浮式旋转工作台的工位分布图；
[0027]图4表示本发明的实施例中旋转盘上工位的切换示意图；
[0028]图5表示本发明的实施例中气浮式旋转工作台工位切换的控制装置的结构框图。
[0029]其中图中:
[0030]1、伺服电机；2、气源控制机构；3、控制器；4、伺服电机编码器；5、零位传感器；6、旋转盘；7、上下工件工位、8、粗磨工位、9、精磨工位；
【具体实施方式】
[0031]下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开