物、EO和PO的无规共聚物等。EO和PO的嵌段共聚物可W是包含 聚氧化乙締(PEO)嵌段和聚氧化丙締(PPO)嵌段的二嵌段体、S嵌段体等。在上述S嵌段体 中包括阳O-PPO-阳O型S嵌段体和PPO-阳O-PPO型S嵌段体。通常更优选为阳O-PPO-阳O型S嵌段体。在EO和PO的嵌段共聚物或无规共聚物中，从在水中的溶解性、清洗性等观点出 发，构成该共聚物的EO和PO的摩尔比化0/P0)优选大于1，更优选为2W上，进一步优选为3W 上(例如5W上）。
[0072] 更具体而言，可W举出纤维素衍生物、聚(N-酷基亚烷基亚胺)等亚胺衍生物、聚乙 締醇、聚乙締基化咯烧酬、结构的一部分中含有聚乙締基化咯烧酬的共聚物、聚乙締基己内 酷胺、结构的一部分中含有聚乙締基己内酷胺的共聚物、聚氧乙締、含有氧化締单元的聚合 物、具有它们的二嵌段型、=嵌段型、无规型、交替型之类的多种结构的聚合物、聚酸改性有 机娃等。
[0073] 其中，从赋予亲水性的功能良好的观点出发，纤维素衍生物、聚乙締醇、聚乙締基 化咯烧酬、或含有氧化締单元的聚合物是适合的。作为纤维素衍生物的具体例，可W举出径 乙基纤维素、径丙基纤维素、径乙基甲基纤维素、甲基纤维素、径丙基甲基纤维素、甲基纤维 素、乙基纤维素、乙基径基乙基纤维素、簇甲基纤维素等纤维素衍生物及支链淀粉。纤维素 衍生物之中，从对研磨后的面赋予湿润性的能力高、具有良好清洗性的方面出发，优选径乙 基纤维素。此外，作为单面研磨用组合物中含有的水溶性高分子，通过组合聚乙締基化咯烧 酬和纤维素衍生物，能够抑制研磨用组合物中的聚集物，因此具有减少化S的个数、降低雾 度、降低激光标识高度、改善ESFQR的效果。
[0074] 单面研磨用组合物中的水溶性高分子的重均分子量W聚氧化乙締换算优选为 20000~400000左右，更优选为30000~350000左右，进一步优选为40000~300000左右。通 过为运样的范围，容易发挥本发明所期望的效果。
[0075] 单面研磨用组合物中的水溶性高分子化合物的含量优选为0.05质量％^上，更优 选为0.08质量％ ^上，进一步优选为0.1质量％^上，此外，优选为1.0质量％ ^下，更优选 为0.7质量％^下，进一步优选为0.5质量％^下。通过为运样的范围，容易发挥本发明所期 望的效果。
[0076] 需要说明的是，所述范围特别假定为后述浓缩液的浓度。
[OOW]需要说明的是，从研磨对象物的表面保护的观点出发，前述单面研磨用组合物中 的水溶性高分子的浓度优选比前述双面研磨用组合物中的含氮水溶性高分子的浓度高。对 此时的比率也没有特别限制，优选为10倍W上，更优选为20倍W上，进一步优选为50倍W 上，而且优选为1000倍W下，更优选为200倍W下，进一步优选为100倍W下。通过为运样的 范围，能够高效地对研磨对象物表面进行研磨、显著降低研磨对象物表面的雾度水平，而 且，能够明显减少缺陷，降低激光标识高度、改善ESFQR的数值。
[0078] 本发明的第1技术方案的制造方法中使用的双面研磨用组合物.单面研磨用组合 物优选除了上述中说明的物质W外，还包含水、碱性化合物、表面活性剂或馨合剂等第=成 分。
[0079] [水]
[0080] 研磨用组合物(双面研磨用组合物?单面研磨用组合物）中的水具有使其他成分 溶解或者分散的功能。对于水，为了尽量避免阻碍其他成分的作用，优选过渡金属离子的总 含量为I(K)PPbW下。例如，可W通过利用离子交换树脂的杂质离子的去除、利用过滤器的杂 质的去除、蒸馈等操作来提高水的纯度。具体而言，例如优选使用离子交换水、纯水、超纯 水、蒸馈水等。
[0081 ]研磨用组合物的pH优选为8~12的范围，更优选为9~11的范围。
[0082] 上述研磨用组合物的制备中例如可W使用叶片式揽拌机、超声波分散机、均质混 合器等周知的混合装置。可W将研磨用组合物的各原料同时混合，也可W适宜设定混合顺 序。
[0083] [碱性化合物]
[0084] 碱性化合物具有对研磨对象物的表面进行化学研磨的功能和提高研磨用组合物 (双面研磨用组合物?单面研磨用组合物)的分散稳定性的功能。
[0085] 作为碱性化合物的具体例，可W举出碱金属的氨氧化物或盐、氨氧化季锭或其盐、 氨、胺等。作为碱金属，可W举出钟、钢等。作为盐，可W举出碳酸盐、碳酸氨盐、硫酸盐、乙酸 盐等。作为季锭，可W举出四甲基锭、四乙基锭、四下基锭等。
[0086] 作为氨氧化季锭化合物，包括氨氧化季锭或其盐，作为具体例，可W举出四甲基氨 氧化锭、四乙基氨氧化锭、四下基氨氧化锭等。
[0087] 作为胺的具体例，可W举出甲胺、二甲胺、S甲胺、乙胺、二乙胺、S乙胺、乙二胺、 单乙醇胺、N-(e-氨基乙基）乙醇胺、六亚甲基二胺、二亚乙基S胺、S亚乙基四胺、无水赃 嗦、赃嗦六水合物、1-(2-氨基乙基)赃嗦、N-甲基赃嗦、脈等。运些碱性化合物可W单独使用 一种，也可W组合使用两种W上。
[0088] 碱性化合物之中，优选为选自氨、锭盐、碱金属氨氧化物、碱金属盐、W及氨氧化季 锭化合物中的至少一种。
[0089] 碱性化合物之中，更优选为选自氨、钟化合物、氨氧化钢、氨氧化季锭化合物、碳酸 氨锭、碳酸锭、碳酸氨钢、W及碳酸钢中的至少一种。
[0090] 此外，在研磨用组合物(特别是双面研磨用组合物）中，作为碱性化合物，优选包含 钟化合物和氨氧化季锭化合物。作为钟化合物，可W举出钟的氨氧化物或盐，具体而言，可 W举出氨氧化钟、碳酸钟、碳酸氨钟、硫酸钟、乙酸钟、氯化钟等。因此，在研磨用组合物中， 作为碱性化合物，最优选包含氨氧化钟、碳酸钟、W及四甲基氨氧化锭、四乙基氨氧化锭等 四烷基氨氧化锭。
[0091] 双面研磨用组合物中的碱性化合物的含量优选为0.01质量％^上，更优选为0.03 质量％ ^上。通过增加碱性化合物的含量，变得容易得到高的研磨速度。此外，研磨用组合 物中的碱性化合物的含量优选小于4质量％，更优选小于3质量％。通过减少碱性化合物的 含量，容易抑制研磨对象物的端部的形状恶化。需要说明的是，含量的下限特别假定为后述 稀释的形态的浓度，上限特别假定为后述浓缩液的浓度。
[0092] 单面研磨用组合物中的碱性化合物的含量优选为0.001质量％ ^上，更优选为 0.003质量％^上。通过增加碱性化合物的含量，容易得到高的研磨速度。此外，研磨用组合 物中的碱性化合物的含量优选小于2质量％，更优选小于1质量％。通过减少碱性化合物的 含量，容易维持研磨对象物的端部的形状。需要说明的是，含量的下限特别假定为后述稀释 的形态的浓度，上限特别假定为后述浓缩液的浓度。
[009引[表面活性剂]
[0094]研磨用组合物(双面研磨用组合物.单面研磨用组合物）中可W含有表面活性剂。 表面活性剂用于抑制研磨对象物的研磨面的粗糖。由此，降低研磨面的雾度水平变容易。特 别是，在研磨用组合物中含有碱性化合物的情况下，有碱性化合物带来的化学研磨(化学蚀 亥Ij)导致在研磨对象物的研磨面容易产生粗糖的倾向。因此，组合使用碱性化合物和表面活 性剂特别有效。
[0095] 作为表面活性剂，优选重均分子量小于1000的表面活性剂，可W举出阴离子性或 非离子性的表面活性剂。表面活性剂之中，适合使用非离子性表面活性剂。非离子性表面活 性剂由于起泡性低，因此研磨用组合物的制备时、使用时的处理容易。此外，例如在使用离 子性表面活性剂的情况下，容易调节抑。
[0096] 作为非离子性表面活性剂，例如可W举出聚乙二醇、聚丙二醇等氧化締聚合物;聚 氧乙締烷基酸、聚氧乙締烷基苯基酸、聚氧乙締烷基胺、聚氧乙締脂肪酸醋、聚氧乙締甘油 酸脂肪酸醋、聚氧乙締山梨糖醇酢脂肪酸醋等聚氧化締加成物等;多种氧化締的共聚物(二 嵌段型、=嵌段型、无规型、交替型）。
[0097] 具体而言，可W举出聚氧乙締聚氧丙締共聚物、聚氧乙締二醇、聚氧乙締丙基酸、 聚氧乙締下基酸、聚氧乙締戊基酸、聚氧乙締己基酸、聚氧乙締辛基酸、聚氧乙締-2-乙基己 基酸、聚氧乙締壬基酸、聚氧乙締癸基酸、聚氧乙締异癸基酸、聚氧乙締十=烷基酸、聚氧乙 締月桂基酸、聚氧乙締嫁蜡基酸、聚氧乙締硬脂基酸、聚氧乙締异硬脂基酸、聚氧乙締油基 酸、聚氧乙締苯基酸、聚氧乙締辛基苯基酸、聚氧乙締壬基苯基酸、聚氧乙締十二烷基苯基 酸、聚氧乙締苯乙締化苯基酸、聚氧乙締月桂基胺、聚氧乙締硬脂基胺、聚氧乙締油基胺、聚 氧乙締硬脂基酷胺、聚氧乙締油基酷胺、聚氧乙締单月桂酸醋、聚氧乙締单硬脂酸醋、聚氧 乙締二硬脂酸醋、聚氧乙締单油酸醋、聚氧乙締二油酸醋、聚氧乙締山梨糖醇酢单月桂酸 醋、聚氧乙締山梨糖醇酢单栋桐酸醋、聚氧乙締山梨糖醇酢单硬脂酸醋、聚氧乙締山梨糖醇 酢单油酸醋、聚氧乙締山梨糖醇酢S油酸醋、聚氧乙締山梨糖醇四油酸醋、聚氧乙締藍麻 油、聚氧乙締氨化藍麻油等。运些表面活性剂之中，适合使用聚氧乙締烷基酸，特别是聚氧 乙締癸基酸。
[0098] 表面活性剂可W单独使用一种，也可W组合使用两种W上。
[00"][馨合剂]
[0100] 研磨用组合物(双面研磨用组合物?单面研磨用组合物）中可W含有馨合剂。研磨 用组合物(双面研磨用组合物?单面研磨用组合物）的馨合剂通过捕捉研磨用组合物中本 来含有的金属杂质、研磨中由研磨对象物、研磨装置产生的、或从外部混入的金属杂质并形 成络合物来抑制金属杂质在研磨对象物中的残留。特别是，在研磨对象物为半导体的情况 下，通过抑制金属杂质的残留来防止半导体的金属污染、抑制半导体的品质降低。
[0101] 作为馨合剂，例如可W举出氨基簇酸系馨合剂和有机麟酸系馨合剂。作为氨基簇 酸系馨合剂的具体例，可W举出乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸钢、次氮基=乙酸、次氮基= 乙酸钢、次氮基=乙酸锭、径基乙基乙二胺=乙酸、径基乙基乙二胺=乙酸钢、二亚乙基= 胺五乙酸、二亚乙基=胺五乙酸钢、=亚乙基四胺六乙酸、=亚乙基四胺六乙酸钢等。
[0102] 作为有机麟酸系馨合剂的具体例，可W举出2-氨基乙基麟酸、1-径基乙叉基-1,1-二麟酸、氨基=(亚甲基麟酸）、乙二胺四（亚甲基麟酸）、二亚乙基=胺五（亚甲基麟酸）、= 亚乙基四胺六(亚甲基麟酸）、乙烧-1,1-二麟酸、乙烧-1,1，2-S麟酸、乙烧-1-径基-1,1-二 麟酸、乙烧-1-径基-1,1,2-=麟酸、乙烧-1,2-二簇基-1,2-二麟酸、乙烧径基麟酸、2-麟酷 基下烧-1，2-二簇酸、1-麟酷基下烧-2，3，4