材9将“最大程度”地配设有缺口30，例如如图6b所示，用于获得最佳清洗效果O
[0037]表述“最大程度地配设有缺口30”是指缺口 30〃在所示的矩形型材9 ’情况下被如此划分，保持在矩形型材内的杆刀最大面积被露出。该型材至少须配设有多个缺口，从而至少在清洗过程中超过50%的杆刀面积直接接触清洗介质。该型材最好配设有多个缺口，从而型材没有损失机械稳定性，以致它们因保持装置的正常使用而变形。
[0038]另一种构建最大程度地配设有缺口的“近似矩形型材”的可能方式是使用以下型材，其横截面代替矩形形状地呈U形。在此情况下，U形型材将如此定位在本发明的保持装置中，横卧于该保持装置中的杆刀的上表面完全敞露。
[0039]另外，如此规定前遮板17和扇形箱盒20之间的距离，阻止来自喷射介质的颗粒附着在前遮板17和扇形箱盒20余部之间。该距离最好是2 0.5mm。例如伴随0.8mm距离可以在各喷射过程中获得很好的结果。但人们也须考虑到该距离不应太大以致由此可能同时涂覆了不希望的基材表面。
[0040]因此，本发明的保持装置也可以被用于执行喷射工艺如微波，用于在涂覆前以及涂覆后的表面处理。由此得到整个涂覆作业的保持不变的质量。但没有在利用多个保持装置时(挑拣待处理基材，装入第一保持装置，卸料，输送，再挑拣，再装入第二保持装置，诸如此类)造成的增加的搬运成本。也由此降低杆刀在搬运中受损的风险。
[0041]也如此设计扇形箱盒20构造，杆刀10呈圆锥形按照球形布置形式布置。由此，杆刀10进一步分开搁置，这导致所有杆刀(外置的和内置的杆刀)的待涂覆表面的涂层的均匀层分布(见图6b)。利用矩形型材的球形布置形式，其中杆刀10之间距离在后侧区域Bq2内被缩小，待涂覆的杆刀尖Bq1之间的距离可被增大，这积极影响到层厚分布。
[0042]为了将本发明的保持装置应用在此时至少一个靶作为固体材料源被用于产生层膜的真空涂覆工艺中，在此例如涂覆具有矩形或类似的横截面的有至少一个待涂覆切削面的杆刀，杆刀10最好应如此安放到型材9中，S卩，切削面朝向靶转动，以允许较高的沉积速率在切削面上并且通过涂覆防护罩40遮盖杆刀的非待涂覆表面Bq2 (如图7所示)。
[0043]为了本发明保持装置的构造最好选择以下材料，它在所有工艺步骤中都不影响保持装置的使用，例如钢1.4301。该材料具有足够的机械强度，适合真空，是非磁性的并耐受在清洗工艺中采用的条件(化学物质和温度)。
[0044]处理过程如清洗和微波例如能如图Sb所示在至少一个双组(A+B)中进行。这也降低搬运成本。
[0045]为了杆刀的不希望的表面区域如Bq2的涂覆，扇形箱盒20如图Sb所示通过涂覆防护罩40被遮盖住。也为了涂覆，也可如图8b所示构造出具有至少一个双组(A+B)的树状件。
[0046]根据本发明，人们可以采用相同的保持装置用于执行所有的工艺步骤(例如清洗、微波或颗粒喷射和涂覆;或许还有去除皮层，当其例如是化学或电化学去除皮层工艺时)，但没有损失表面处理质量。
[0047]但当在本发明的保持装置中从一个工艺步骤至另一个工艺步骤地输送基材时，可能出现从保持装置伸出的基材区域受损。因此，所述基材区域最好在输送过程中被遮盖。例如可为此采用如图9所示的输送防护罩50。
【主权项】
1.一种用于安装至少一个杆形基材体(10)的保持装置，该杆形基材体具有沿基材体的可变的横截面和位于该基材体(10)的区域Bq1中的待处理表面，该区域包括该基材体(10)的一端并具有比基材体(10)的余部小的横截面，其中该保持装置包括至少一个开孔壁作为前壁(3)，该前壁配设有至少一个开孔(5)且最好是排列的开孔(5)，其特征是，该保持装置包括至少一个支承件(9)和止挡件(11 )，它们布置在一个开孔(5)处，其中， -该支承件(9)如此构造和/或安装且最好焊接在该开孔(5)处，该基材体能在纵向侧相对于水平面以倾斜角度α斜放地至少部分安置在该支承件(9)中， -该止挡件(11)如此构造和/或最好借助连接件安装在该开孔(5)处，该止挡件(I I)能在该区域Bq1和基材体余部之间的位置上如此停定住该基材体，该区域Bq1通过该开孔(5)从该保持装置伸出。2.根据权利要求1的保持装置，其特征是，相对于水平面的倾斜角度α大于2°，最好是5°< α < 20° ο3.根据前述权利要求1至2中至少一项的保持装置，其特征是，该支承件(9)为长条形并具有两端，其中，该支承件(9)的一端靠近该前壁(3)或贴靠在该前壁(3)上，另一端远离该前壁(3)，该支承件(9)最好是U形型材或矩形型材或五角型材。4.根据权利要求3的保持装置，其特征是，该保持装置包括至少两个用于安装至少两个基材体(10)的支承件(9)，它们在竖直平面内平行布置和/或在水平面内相交布置，其中相比于远离该前壁(3)的区域，在水平面内在所述支承件(9)之间的距离就靠近该前壁(3)的区域而言更大，由此，相比于远离该前壁(3)的区域，在水平面内在所述基材体(10)之间的距离就靠近前壁(3)的区域而言能更大。5.根据前述权利要求3至4中至少一项的保持装置，其特征是，该保持装置包括至少一个以间距远离该前壁(3)的第二开孔壁，第二开孔壁配设有至少一个开孔(5’)且最好是排列的开孔(5〃)并作为该支承件(9)的支承壁(13)如此布置在该保持装置内，其中一个所述支承件(9)的至少一部分支承到一个开孔(5’)上，支承到该开孔(5’)上的支承件(9)部分最好安装且优选焊接在该开孔(5 ’)上。6.根据权利要求5的保持装置，其特征是，在所述支承壁(13)的排列的开孔(5’)中的开孔数量对应于在该前壁(3)的排列的开孔(5)中的开孔数量，并且该支承壁(13)如此安置在该保持装置中，每个支承件(9)同时支承在一个开孔(5)和一个开孔(5 ’)上。7.根据权利要求6的保持装置，其特征是，该支承壁(13)在该保持装置中关于该前壁(3)如此平行布置和/或如此拟定该排列的开孔(5’)， -在该竖直平面内，所述排列的开孔(5’)的每个开孔位于所述排列的开孔(5)的对应开孔的上方，和/或 -在水平面内，在该支承壁(13)中的所述排列的开孔(5’)的开孔之间的距离小于该前壁(3)的排列的开孔(5)中的开孔之间的距离。8.根据前述权利要求1至7中至少一项的保持装置，其特征是，该止挡件(11)以前遮板(17)形式制造，它具有排列的开孔(5"’)，所述排列的开孔最好对应于该前遮板(17)的排列的开孔(5)并且借助连接件(18)最好是螺钉被安装在该前壁(3)上。9.根据前述权利要求5至8中至少一项的保持装置，其特征是，该保持装置包括多个连接件(15)，借助该连接件，该前壁(3)的位置相对于该支承壁(13)的位置被固定。10.根据权利要求9的保持装置，其特征是，所述连接件(15)是与该保持装置的余部一起构成扇形箱盒(20)的壁板。11.根据前述权利要求1至10中至少一项的保持装置，其特征是，该保持装置被如此装上至少一个基材体(10)，该基材体(10)的区域Bq1和由此该基材的待处理表面通过该前壁(3)的其中一个所述开孔(5)从该保持装置伸出。12.根据权利要求11的保持装置，其特征是，该保持装置包括作为涂覆防护罩(40)的罩盖，它遮盖该基材体(1)的未通过该前壁(3)的开孔(5)伸出的区域。13.根据前述权利要求11至12中至少一项的保持装置，其特征是，该保持装置包括作为输送防护罩(50)的罩盖，它遮盖该基材体(10)的通过该前壁(3)的开孔(5)伸出的区域。14.一种至少一个基材体(10)的表面处理方法，其特征是，该方法包括执行至少一种表面处理工艺，其中该基材体(10)位于根据前述权利要求11至13中至少一项的保持装置内。15.根据权利要求14的方法，其特征是，该方法包括以下工艺步骤a-d中的至少一个: a.例如在清洗槽中清洗该基材体， b.例如在颗粒喷射工艺中预处理该基材体的待处理表面， c.在涂覆工艺最好是PVD工艺中涂覆该基材体的待处理表面， d.例如在颗粒喷射工艺中再处理该基材体的待处理表面，其中该基材体首先被挑拣出并被装入根据权利要求1至11中至少一项的保持装置中，优选是: -该基材体总是位于相同的保持装置内，从而不需要在工艺步骤之间从该保持装置排出和再装入该保持装置， -在相同的保持装置内，该基材体从一个工艺步骤被输送至另一个工艺步骤，最好该基材体的通过该前壁(3)伸出该保持装置的待处理表面借助根据权利要求13的输送防护罩(50)被如此遮盖，避免损伤该待处理表面， -必要时为了执行该涂覆工艺，该基材体的未通过该前壁(3)伸出该保持装置的非待处理表面借助根据权利要求12的涂覆防护罩(40)被如此遮蔽，避免涂覆非待处理表面。
【专利摘要】用于安装至少一个杆形基材体(10)的保持装置，该杆形基材体具有沿基材体的可变的横截面和包括待处理表面的基材体区域BQ1。该保持装置包括至少一个开孔壁作为前壁(3)，其配设有至少一个开孔(5)，并且该保持装置还包括支承件（9）和止挡件(11)，其中，支承件(9)如此构造和/或固定在开孔(5)中，基材体的至少一部分能纵向和倾斜地布置在支承件(9)中，止挡件(11)如此构造和/或固定在开孔(5)中，止挡件(11)能在区域BQ1和基材体余部之间的位置上如此停住该基材体，该区域BQ1通过开孔(5)从该保持装置伸出。
【IPC分类】H01J37/32, C23C14/50, B23B29/04, C23C14/04
【公开号】CN105579611
【申请号】CN201480037638
【发明人】M.斯伊伯特, R.沃格, K.W.乔茨
【申请人】欧瑞康表面解决方案股份公司，特吕巴赫
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2014年4月24日
【公告号】CA2921064A1, DE102013007454A1, EP2992122A1, US20160076131, WO2014177254A1