多通道自反应化学镀膜仪器的制造方法_2

文档序号:9965769阅读:来源:国知局
1之间,镀膜基片5的顶面露出在杯体41的内腔内,底面被紧压密封覆盖在密封下盖43的顶面而禁止与样品杯4内的溶液接触,当样品杯4内装有溶液时,溶液与镀膜基片5的顶面接触,发生化学反应,在镀膜基片5的顶面形成薄膜,实现化学镀膜。
[0040]作为本实施例的示意,具体使转盘32的中心贯穿固定在纵向螺杆31的底部,在转盘32上设置多个杯座321 (其可以为3、4个、或者8个杯座321等,当其为8个时,可同时进行8通道化学镀膜实验,实现多通道实验同时进行),各杯座321相对于纵向螺杆31中心对称,确保转盘32的平衡度、以及稳定性,便于人们对杯架3的整体安装、整体调节、整体取下以及整体移动。
[0041]本实施例的样品杯4由惰性材料制成,该惰性材料与所述溶液不发生反应。譬如该样品杯430由PTFE (聚四氟乙烯)(或PFA(氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物)、PEEK(聚醚醚酮)等惰性材料)制成。
[0042]作为本实施例的示意,可以但不限于在横臂11上固定一电机12,电机12的转轴水平伸出,电机12的转轴通过第一螺纹帽13与旋接在螺杆的第二螺纹帽14配合,在电机12驱动下,转轴旋转,转轴带动第二螺纹帽14沿着纵向螺杆31旋转,以调节纵向纵向螺杆31升降。使杯架3的升降调节更加人性化,省时省力,易于操作。
[0043]由上可见,应用本实施例技术方案,在进行化学镀膜实验时,可以分别在各个样品杯4的密封下盖43顶部放置镀膜基片5,由于密封下盖43与杯体41底部开口的密封配合使镀膜基片5的底面密封覆盖在密封下盖43顶部而不与溶液接触,只有镀膜基片5的顶面露出在杯体41的内腔内且与溶液接触,可见利用本实施例技术方案可以方便地实现镀膜基片5的单面镀膜,且单面镀膜的镀膜基片5安装方便,并且采用本实施例技术方案确保镀膜基片5的镀膜面时刻与溶液完全接触,有利于确保镀膜的均匀性。
[0044]另外,本实施例在进行化学镀膜实验时,可以将多个样品杯4(各样品杯4内均装有溶液以及镀膜基片5)装在同一个转盘32上,在装好后将转盘32上的纵向螺杆31固定在托架I的横臂11上,然后调节纵向螺杆31的升降使各样品杯4的下部如图1所示地浸泡在水槽2的液体中,利用水槽2内的高温液体加热各样品杯4内的溶液,提高各样品杯4内的化学镀膜反应效率,确保各样品杯4的化学镀膜实验环境的均一性。在化学镀膜完成后,升起纵向螺杆31,使转盘32如图2所示地离开水槽2位于水槽2上方,然后将纵向螺杆31从托架I的立柱10上取下即可将多个样品杯4同时取下,实验操作更加方便、省时省力,应用本实施例仪器可以一次同时进行多组化学镀膜实验,确保了各组化学镀膜的均一性,有利于提高实验效果,且本实施例仪器操作灵活方便,更加人性化,应用起来省时省力。
[0045]作为本实施例的示意,可以在杯体41的顶部开口外周设置有水平向外凸起的凸棱411,当样品杯4置于杯座321上时杯体41凸棱411凸出在杯座321的顶部,通过凸棱411与杯座321的配合,使样品杯4由于重力的作用被垂直悬挂在杯座321内,样品杯4的大部分悬挂在杯座321的下方,使使样品杯4在转盘32上的放置更加稳固,且不易于翻转,相对于其他的平台型放置的杯座321结构,采用本实施例技术方案进一步方便实验人员操作,且样品杯4的固定更加平稳而不易于翻转,其实验效果更加稳定。
[0046]作为本实施例的示意,在本实施例的杯体41的底部设置有一向杯体41的内腔凹进的凹位,在凹位的中心设置有与杯体41的内腔连通的通孔412,通孔412的宽度小于凹位的宽度。相应地,在密封下盖43的顶面设置一向下凹进的凹台431,将安装镀膜基片5时,具体将镀膜基片5密封覆盖在该凹台431的顶面内,然后将密封下盖43的上部塞入杯体41底部的凹位内,使密封下盖43进入杯体41凹位内的外壁与杯体41的凹位的内壁面对面密封接触,而在密封下盖43顶部的镀膜基片5被密封紧固在通孔412的底部与密封下盖43之间,此时即禁止镀膜基片5的底面与溶液接触,实现镀膜基片5的单面镀膜,采用本实施例的镀膜基片5安装结构,结构简单,便于实验安装。
[0047]作为本实施例的示意,本实施例的密封下盖43,特别是密封下盖43的顶部采用弹性惰性材料制成,在进行密封下盖43安装时,使得密封下盖43与杯体41底面的接触处于略微弹性挤压状态,更有利于确保杯体41底部的密封性以及镀膜基片5的底面密封性禁止接触溶液。
[0048]其中,本实施例的惰性材料为与样品杯4杯内的溶液不发生反应的物质。譬如该样品杯430由PTFE (聚四氟乙烯)(或PFA (氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物)、PEEK (聚醚醚酮)等惰性材料)制成。
[0049]作为本实施例的示意,本实施例可以但不限于使设置在密封下盖43顶部的凹台431的宽度沿由下往上方向逐渐变宽,这样即使各镀膜基片5的尺寸与凹台431的尺寸略微有偏差,均可确保镀膜基片5完全装在在该顶部凹台431内,且与凹台431的边缘配合紧密,确保单面镀膜的进行,提高本实施例仪器的应用灵活性。
[0050]作为本实施例的示意,优选将密封下盖43顶部的凹台431的内沿呈设计为圆弧状,即使其凸起呈圆弧状的凸起边缘,进一步提高密封下盖43顶部与杯体41底部的配合紧密型,确保单面镀膜效果。
[0051]作为本实施例的示意,还可以在各样品杯4中还分别设置有搅拌部件6,该搅拌部件6位于密封下盖43的上方,可在样品杯4内运动,在进行化学镀膜时,搅拌部件6运动而搅拌样品杯4内的溶液,避免溶液在镀膜基片5顶部静止过久而在镀膜基片5的顶部形成的液面镜或者钝化膜而影响镀膜效率以及镀膜效果,采用该搅拌部件6有利于提高化学镀膜效率以及提高化学镀膜效果,提高在镀膜基片5顶面形成的镀膜的均匀性。
[0052]作为本实施例的示意,本实施例的搅拌部件6为磁性搅拌部件6,相应地,在转盘32的下方(譬如可以安装在水槽2的底部)安装有磁性部件,使磁性部件与磁性搅拌部件6发生相对运动时,通过磁性作用力而使样品杯4内的磁性搅拌部件6在样品杯4内运动,搅拌溶液。
[0053]作为本实施例的示意,可以但不限于采用电机12驱动转盘32,使得转盘32可沿纵向螺杆31水平旋转,相应地在水槽2上(或者如图1、2所示地,静态固定在水槽的底部)固定一个或者多个磁性物质7,在转盘32旋转过程中,对任一样品杯4而言,每当该样品杯4经过一磁性物质7,在该磁性物质7对样品杯4内的磁性搅拌部件6的作用力下,该磁性搅拌部件6在样品杯4内运动,搅拌溶液。其中固定的磁性物质7在转盘32的旋转轨迹上,位于样品杯4下方。
[0054]作为本实施例的示意,也可以使转盘32静止不动,在水槽2的底部设置一个或者多个搅拌机(记为第一搅拌机,图中未画出),在各第一搅拌机的转臂上分别固定有磁性物质,启动第一搅拌机使转臂带动磁性物质水平旋转,磁性物质主动带动样品杯4内的磁性搅拌部件6跟随运动,搅拌溶液。其中各第一搅拌机分别设置在各样品杯4的下方,可以在每一样品杯4的下方设置一该第一搅拌机。
[0055]需要说明的是,该第一搅拌机的运动既可以带动磁性物质从而带动样品杯4内的磁性搅拌部件6运动外,还搅拌水槽2内的水,提高水槽2各处水的温度均一性,确保转盘32上各样品杯4的实验均一性。
[0056]作为本实施例的示意,本实施例的磁性搅拌部件6可以为悬挂在样品杯4的上盖42下方的磁性吊球。具体第,可以在上盖42上设置有一通孔412,在通孔412内贯穿有一吊绳8,在吊绳8位于杯体41内腔的底端连接一磁性吊球,在吊绳8位于上盖42顶部的的顶部固定一悬挂块,该悬挂块的体积大于该通孔412而覆盖在上盖42的顶部。采用上述结构即可实现磁性吊球的安装,且在调节时,可以通过升降悬挂块而调节磁性吊球在样品杯4内的高度,调节方便,易于
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