制喷液时间、化学液浓度及粘度即可控制腐蚀量。使用完毕后可将喷液系统5中的溶液依次更换为中和性溶液和水，对反应器主体4进行冲洗；然后将反应器主体4浸泡在清洗液中超声清洗。
[0017]实例2:
[0018]如附图2所示，为了利用粘度较小的化学腐蚀液使得微丝形成短周期的直径周期调制结构，反应器主体4上方设置自动滴液管9，支撑框8上设置有垫块7，垫块7位于反应器主体4的后端以使得反应器主体4的后端高于前端，卡槽41内插入导液片10以使导液片10的上表面构成导液槽42的底部，微丝6绷直后固定在立壁I 2、导液齿43的侧面并且整体位于导液片10的上方。
[0019]反应器主体4含有卡槽41、导液槽42、导液齿43，反应器主体4呈中空的齿型，其中卡槽41与导液片10尺寸匹配；当所述的导液片10嵌入卡槽41时，导液齿43之间的导液槽42将反应器主体的上表面分割成数个单元，导液齿43与导液片10紧密接触。自动滴液管9具有多个分支管，各个分支管分别与每个导液槽42的上端根部对齐。将导液片10插入反应器主体4的卡槽41中，使得导液片10与导液齿42的紧密接触，使得导液片10的部分在导液槽42处显露，并被分割成数个单元，导液片10的另外部分被导液齿43遮挡。使用时，将绷直后的微丝固定于立壁I 2的两板之间的前侧面，并使其与底座1表面平行。将反应器主体4由支撑框8的上方推入底座1上方，将反应器主体4的后方的底部放置垫块7，使得导液片10的上表面比微丝6略低。将连接完自动滴液装置的滴液管9置于反应器主体4上方，分支导液管置于导液槽42上方，并启动装置使其按一定速率滴入化学腐蚀液。腐蚀液在倾斜的导液片10上流动，并受到导液齿43的限位。导液片10的疏水性能使得溶液与导液片10之间的粘附力较低，溶液粘度略微提高使得溶液不会沿着微丝轴向扩散，溶液始终保持流动，使得溶液的浓度稳定性较好，使用完毕后可将导液片10取出单独清洗，并将反应器主体4浸泡在清洗液中超声清洗。需要指出的是，可以根据腐蚀液黏度不同，制备多种不同材料的导液片备用，例如玻璃材料，从而控制腐蚀液与微丝的接触时间，进而获得不同的蚀刻效果。
[0020]以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰均涵盖在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种化学法制备短周期直径周期调制微丝的反应装置，其特征在于:包括底座(1)、安装在所述的底座(1)上的反应器主体(4)、以及位于所述的反应器主体(4)上方并定量释放腐蚀液的自动喷液系统(5 )或自动滴液管(9 )，所述的底座(1)包括一对立壁I (2 )、一对立壁II (3)、支撑框(8)，所述的立壁I (2)和立壁II (3)垂直于所述的底座(1)设置，一对立壁I (2)分别位于所述的底座(1)的横向两端，一对立壁II (3)之间的距离与所述的反应器主体(4)的宽度相同，所述的支撑框(8)安装于一对立壁II (3)之间并紧贴所述的立壁II(3)，所述的反应器主体(4)安装在支撑框(8)上，所述的反应器主体(4)具有多个纵向延伸的导液齿(43 )，各个导液齿(43 )之间具有在高度方向延伸的导液槽(42 )，各个导液齿(43 )在与立壁I (2)对应高度处设置开口从而整体形成一个沿横向延伸的卡槽(41)，该反应装置具有喷液模式与流液模式:在喷液模式下，所述的反应器主体(4)上方设置自动喷液系统(5)，微丝(6)绷直后两端分别固定在立壁I (2)上并且整体横向穿过卡槽(41);在流液模式下，所述的反应器主体(4)上方设置自动滴液管(9)，所述的支撑框(8)上设置有垫块(7)，所述的垫块(7)位于反应器主体(4)的后端以使得所述的反应器主体(4)的后端高于前端，所述的卡槽(41)内插入导液片(10)以使导液片(10)的上表面构成导液槽(42)的底部，微丝(6)绷直后固定在立壁I (2)、导液齿(43)的侧面并且整体位于导液片(10)的上方。2.根据权利要求1所述的化学法制备短周期直径周期调制微丝的反应装置，其特征在于:所述的自动滴液管(9)具有多个分支管，各个分支管分别与每个所述的导液槽(42)的上端根部对齐。3.根据权利要求1所述的化学法制备短周期直径周期调制微丝的反应装置，其特征在于:所述的导液片(10)与卡槽(41)的尺寸匹配，当所述的导液片(10)嵌入卡槽(41)时，导液齿(43 )与导液片(10 )紧密接触。4.根据权利要求1所述的化学法制备短周期直径周期调制微丝的反应装置，其特征在于:所述的立壁I (2)的顶面介于反应器主体(4)的卡槽(41)的底面与顶面之间。
【专利摘要】一种化学法制备短周期直径周期调制微丝的反应装置，包括底座、设置在底座上表面并与底座垂直的立壁Ⅰ和立壁Ⅱ，靠近在立壁Ⅱ并设置在底座上表面的支撑框，设置在支撑框上方的反应器主体，设置在反应器主体上方的自动喷液系统或自动滴液管。反应器主体包括卡槽、导液槽、导液齿，其中卡槽可根据需要嵌入导液片。使用时可将微丝固定在立壁Ⅰ的上端面，并穿过反应器主体中的卡槽，自动喷液系统可对反应器主体覆盖区域喷射腐蚀液；或将垫块设置在反应器主体与支撑框之间使反应器主体倾斜，将微丝固定在立壁Ⅰ的侧端面并靠近已嵌入导液片的卡槽，自动滴液管正对导液槽上根部并可定量输送腐蚀液。本实用新型结构简单，操作简便、清洗方便，成本低廉。
【IPC分类】C23F1/08, C03C25/68
【公开号】CN205011840
【申请号】CN201520765882
【发明人】刘旭东, 杨毅, 周秀文, 杨波, 白黎, 牛高, 余斌, 朱晔
【申请人】中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年9月30日