摆动装置及蚀刻机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及蚀刻机设备领域，尤其涉及一种摆动装置及蚀刻机。
【背景技术】
[0002]蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，在半导体和线路板制作过程中，蚀刻是不可或缺的技术。蚀刻机是用于对材料进行蚀刻的专用设备。以镍银蚀刻机(Ni&Ag-Etch)为例，其作用是将晶圆(wafer)表面的镍银合金通过化学腐蚀的方法去除。在大批量的生产过程中，将25片晶圆放置在卡塞(cassette)中，晶圆之间间隙很小，并且随着反应的进行反应液(硝酸和冰醋酸)的浓度会发生相应变化，这就导致晶圆上某些部位产生蚀刻不干净或者不均匀的问题，需要重新返工，甚至晶圆报废。目前生产中常用的解决方案是用人工摆动卡塞的方式，以1Hz?2Hz的频率在7分钟的蚀刻周期内连续摆动，才能达到相对理想的蚀刻效果。
[0003]人工摆动的方式有很多缺点。首先，一套晶圆加卡塞的重量大约为3Kg，让员工长时间摆动会导致劳动强度的大大增加，进而影响工作效率。其次，蚀刻过程中的反应液具有强腐蚀性，人工摆动的过程中可能会溅起酸液，对员工的人身安全产生危害。与此同时，人工摆动的过程中由于其摆动轨迹的偶然性，可能会导致晶圆与反应槽发生碰撞，进而损坏晶圆导致报废。总而言之，人工摆动的方式不仅影响生产效率和产品质量，而且对员工人身安全也具有危害。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题在于，针对当前蚀刻机操作过程中采用人工摆动卡塞方式，导致产品效率低、质量无法保证，且存在安全隐患的问题，提供一种可自动化摆动的摆动装置及蚀刻机，提高产品生产质量和效率，降低产品不良率，同时可避免安全隐患。
[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种摆动装置，所述摆动装置应用于蚀刻机，包括:载物机构、摆动机构和动力机构；所述摆动机构与所述载物机构相连；所述动力机构与所述摆动机构相连，用于控制所述摆动机构带动所述载物机构上下往复运动。
[0006]优选地，所述摆动机构包括曲柄滑块机构；所述曲柄滑块机构包括导轨、滑块、第一连杆、第二连杆和第三连杆；
[0007]所述导轨沿上下方向设置；
[0008]所述滑块与所述第三连杆的一端相连，并与所述导轨相配合；
[0009]所述第一连杆的一端与所述动力机构固定相连，另一端与所述第二连杆的一端可转动相连；
[0010]所述第三连杆的另一端与所述载物机构固定相连。
[0011]优选地，所述摆动装置还包括箱体；所述动力机构和所述曲柄滑块机构设置在所述箱体内；所述导轨固定在所述箱体内侧；所述第三连杆所述载物机构固定相连的一端伸出所述箱体。
[0012]优选地，所述箱体外设有耐腐蚀保护层。
[0013]优选地，所述载物机构包括载物篮；所述载物篮包括方形篮体、连接件和支撑件；
[0014]所述连接件连接所述方形篮体和所述第三连杆；
[0015]所述支撑件一端固定在所述方形篮体上，另一端固定在所述连接件上。
[0016]所述方形篮体、连接件和支撑件形成三角形稳定结构。
[0017]优选地，所述载物篮外设有耐腐蚀保护层。
[0018]优选地，所述第一连杆和所述第二连杆通过第一销钉相连并可绕所述第一销钉转动，所述第二连杆和所述第三连杆通过第二销钉相连并可绕所述第二销钉转动。
[0019]本实用新型还提供一种蚀刻机，包括机台和设置在机台上的反应槽；还包括支架和前述摆动装置；所述支架设置在所述机台上；所述摆动装置放置在所述支架上，且所述载物机构部分进入所述反应槽内。
[0020]优选地，所述支架包括两个支撑臂和至少两个支撑杆；所述两个支撑臂平行相对设置在所述机台上；所述至少两个支撑杆平行间隔设置在所述支撑臂上；所述摆动机构和动力机构放置在所述至少两个支撑杆上。
[0021]本实用新型与现有技术相比具有如下优点:本实用新型所提供的摆动装置，通过动力机构控制摆动机构带动载物机构上下往复运动，以实现自动化摆动，提高产品生产效率和质量，降低人工成本，且可有效避免人工摆动过程中存在的安全隐患。
【附图说明】
[0022]下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中:
[0023]图1是实施例1中摆动装置的一状态下的结构示意图。
[0024]图2是图1中A部分的爆炸图。
[0025]图3是实施例2中摆动装置的另一状态下的结构示意图。
[0026]图4是图3中B部分的爆炸图。
[0027]图5是实施例2中蚀刻机的结构示意图。
[0028]图中:100、摆动装置；110、载物机构；111、载物篮；1111、方形篮体；1112、连接件；1113、支撑件；114、卡塞；120、摆动机构；121、曲柄滑块机构；1211、导轨；1212、滑块；1213、第一连杆；1214、第二连杆；1215、第三连杆；1216、第一销钉；1217、第二销钉；1218、螺钉；130、动力机构;131、调速电机;140、箱体;200、机台;300、反应槽;400、支架;410、支撑臂；420、支撑杆。
【具体实施方式】
[0029]为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的【具体实施方式】。
[0030]实施例1
[0031]图1、图3分别示出本实施例中的摆动装置100的原始状态和工作状态的结构示意图，摆动装置100应用于蚀刻机。如图1及图3所示，摆动装置100包括箱体140、载物机构110、与载物机构110相连的摆动机构120和与摆动机构120相连的动力机构130 ;摆动机构120和动力机构130设置在箱体140内。可以理解地，箱体140采用耐腐蚀材料制成或在箱体140外设有耐腐蚀保护层，该耐腐蚀保护层采用耐腐蚀材料制成，以避免摆动过程中，蚀刻机上的反应液溅射到箱体140上，并与箱体140发生反应，以避免产生其他金属离子进入反应液中影响蚀刻效果。本实施例中，耐腐蚀材料可以是PP工程塑料或316不锈钢材料。
[0032]工作时，动力机构130用于控制摆动机构120工作，以带动与摆动机构120相连的载物机构110上下往复运动，以实现自动化摆动。本实施例中，摆动装置100应用在镍银蚀刻机中，可以理解地，摆动装置100还可用于其他蚀刻机中，用于解决当前蚀刻过程中采用人工摆动方式摆动放置晶圆的卡塞，生产效率低、人工成本高且存在安全隐患的问题。
[0033]本实施例中，动力机构130为调速电机131 ;摆动机构120可以采用但并不限于曲柄滑块机构121，采用曲柄滑块机构121可将调速电机131所作的圆周运动转化为直线运动，以带动载物机构110上下往复运动。可以理解地，动力机构130和摆动机构120还可以采用其他可实现相同功能的结构。
[0034]如图2、图4所示，曲柄滑块机构121包括导轨1211、滑块1212、第一连杆1213、第二连杆1214和第三连杆1215。具体地，导轨1211通过螺钉1218固定在箱体140内侧，沿上下方向设置。滑块1212与第三连杆1215的一端通过螺钉1218或螺栓固定相连，并与导轨1211相配合，可沿导轨1211上下移动。第一连杆1213的一端与调速电机131的输出轴通过紧固螺钉1218固定相连，另一端与第二连杆1214的一端可转动相连。第二连杆1214的另一端与第三连杆1215的一端可转动相连。第三连杆1215的另一端伸出箱体140并与载物机构110通过螺钉1218或螺栓固定相连。具体地，第一连杆1213和第二连杆1214通过第一销钉1216相连并可绕第一销钉1216转动，第二连杆1214和第三连杆1215通过第二销钉1217相连并可绕第二销钉1217转动。
[0035]如图3、图4示出摆动装置100工作时，调速电机131带动第一连杆1213旋转，与第一连杆1213通过第一销钉12