专利名称：一种三氯氢硅的精馏器的制作方法
技术领域：
本发明为三氯氢硅精馏提纯技术领域，具体涉及一种三氯氢硅的精馏器。
背景技术：
三氯氢硅是生产太阳能级与微电子级多晶硅的重要原料，同时也是合成有机硅的重要中间体。多晶硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最重要、最基础的功能性材料，有机硅是新型化工材料，应用领域广泛。为促进我国光伏产业和电子信息产业的持续快速发展，国家发改委将“光伏硅材料的技术开发”列入了《可再生资源产业发展指导目录》。由于多晶硅及下游产品要求的不断提高，对三氯氢硅中杂质和微量元素的要求越来越严格，该发明采用七塔连续精馏，各级分工明确不断对生产的产品进行提纯，可以达到较高要求。
发明内容
该发明的目的是提供一种用于三氯氢硅精馏提纯的装置，采用7级连续精馏，既可以保证精馏质量又可以将各种沸点的组分区别开来实现资源的有效利用。包括预塔、三级三氯氢硅精馏塔和四氯氢硅精馏塔、原料回收塔等七级结构。一级精馏除去混合液中的二氯二氢硅等低沸点组分，从塔釜得到已脱去低沸物的氯硅烷，塔顶得到低沸点馏分。后续三级精馏塔分离出大量的四氯化硅和三氯氢硅中的高沸点成分，得到合格的三氯氢硅，质量可以满足生产太阳能及多晶硅的要求。从其他精馏塔塔釜得到的含高沸点杂质的三氯氢硅则回收到粗原料槽中进行回收，避免物料浪费。
具体实施例方式实施例1
生产出来的三氯氢硅逐级经过各级精馏塔，得到的精馏后的高纯度三氯氢硅存储于储藏罐中，四氯氢硅等组分经过处理后，分别用于再次生产和排出。整个过程无污染气体排出，且可以利用反应过程中出现的热量，实现了节能减排。
权利要求
1.一种提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于包括预塔、三级三氯氢硅精馏塔和四氯氢硅精馏塔、原料回收塔等七级结构。
2.一级精馏除去混合液中的二氯二氢硅等低沸点组分，从塔釜得到已脱去低沸物的氯硅烷，塔顶得到低沸点馏分。
3.后续三级精馏塔分离出大量的四氯化硅和三氯氢硅中的高沸点成分，得到合格的三氯氢硅，质量可以满足生产太阳能及多晶硅的要求。
4.从其他精馏塔塔釜得到的含高沸点杂质的三氯氢硅则回收到粗原料槽中进行回收， 避免物料浪费。
5.根据权利要求1所述的提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于所述的预塔为导向筛板塔，操作压力为0-0. 15MPaG，塔板数为2246块，预塔底部设有预塔再沸器。
6.根据权利要求1或2所述的提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于所述的三氯氢硅精馏塔为导向筛板塔，操作压力为0-0. 15MPaG，塔板数为38-42块，三氯氢硅精馏塔底部设有三氯氢硅精馏器再沸器。
全文摘要
一种用于提纯三氯氢硅的精馏设备，属于三氯氢硅精馏提纯技术领域。该精馏设备包括七级精馏塔。该精馏设备包括预塔和3级三氯氢硅精馏塔、四氯化硅精馏塔、原料回收塔等。各级塔均为导向筛板塔，且在塔板上分别设有两级冷凝器。具有产能大。效率高、压降低、结构简单、造价低廉、抗堵能力强等优点，并且解决了用改良西门子法生产电子级多晶硅提纯技术存在的诸多缺点。
文档编号C01B33/107GK102502657SQ20111035494
公开日2012年6月20日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者张晓斐, 潘志粉, 石汝军 申请人:淄博高新区联创科技服务中心