超纯硫酸量产系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型的目的是提供一种超纯硫酸量产系统。本实用新型的技术方案为：一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO2脱析罐连通，吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，SO2脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，SO2脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，超纯酸储罐上设有输出口。本实用新型的有益效果在于：该超纯硫酸量产系统安全可靠，无环境污染，可实现大规模生产，为企业创造经济效益，可在硫酸行业推广使用。
【专利说明】超纯硫酸量产系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及化工【技术领域】，尤其涉及一种超纯硫酸量产系统。
【背景技术】
[0002]随着电子工业的发展，超纯硫酸的研制和生产亦快速发展。超纯硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷电路板的腐蚀和清洗。超纯硫酸一般采用蒸馏工艺生产，此工艺不能实现大规模生产，环境污染大和生产危险度高。另一种方法是:三氧化硫直接吸收工艺，该工艺目前我国尚无先例。为解决上述问题，特研发出一种超纯硫酸量产系统。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种超纯硫酸量产系统。
[0004]本实用新型的技术方案为:一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，所述吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO2脱析罐连通，所述吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，所述吸收塔上设有去风机进口和三氧化硫进口，所述去风机进口位于吸收塔的顶端，所述三氧化硫进口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，所述酸冷器与循环罐之间的管路上设有第一循环泵，所述循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，所述循环罐与双氧水储罐之间的管路上设有双氧水计量泵，所述SO2脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，所述SO2脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，所述SO2脱析罐与超纯酸储罐之间的管路上设有第二循环泵，所述SO2脱析罐的顶端设有脱析罐排气口，所述超纯酸储罐的顶部设有纯酸储罐排气口，所述缓冲罐的一端设有真空泵，所述缓冲罐与真空泵通过管路连通，所述超纯酸储罐上设有输出口。
[0005]进一步，所述吸收塔、酸冷器、SO2脱析罐、缓冲罐、循环罐和超纯酸储罐内层均设有氟聚合物层。
[0006]进一步，所述吸收塔采用烛式多级过滤器过滤。
[0007]进一步，所述酸冷器为蝶片式酸冷器，所述酸冷器上设有若干条循环水管路。
[0008]再进一步，所述脱析罐排气口上设有第一空气过滤器。
[0009]再进一步，所述纯酸储罐排气口上设有第二空气过滤器。
[0010]本实用新型的有益效果在于:该超纯硫酸量产系统安全可靠，无环境污染，可实现大规模生产，为企业创造经济效益，可在硫酸行业推广使用。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型示意图。
[0012]其中:1、吸收塔 2、酸冷器3502脱析罐
[0013]4、第一空气过滤器 5、缓冲罐6、真空泵
[0014]7、双氧水储罐 8、双氧水计量泵9、循环罐
[0015]10、第一循环泵11、超纯水制备机12、第二循环泵
[0016]13、超纯酸储罐14、第二空气过滤器15、去风机进口
[0017]16、三氧化硫进口17、循环水管路18、脱析罐排气口
[0018]19、输出口20、纯酸储罐排气口
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做出简要说明。
[0020]如图1所示一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔1、酸冷器2、S02脱析罐3、缓冲罐5、双氧水储罐7、循环罐9、超纯水制备机11和超纯酸储罐13组成，所述吸收塔I的上端分别通过管路与酸冷器2和SO2脱析罐3连通，所述吸收塔I的底端通过管路与循环罐9连通，所述吸收塔I上设有去风机进口 15和三氧化硫进口 16，所述去风机进口 15位于吸收塔I的顶端，所述三氧化硫进口 16位于吸收塔I的底端，所述酸冷器2的底端通过管路与循环罐9连通，所述酸冷器2与循环罐9之间的管路上设有第一循环泵10，所述循环罐9分别与双氧水储罐7和超纯水制备机11通过管路连通，所述循环罐9与双氧水储罐7之间的管路上设有双氧水计量泵8，所述SO2脱析罐3的上端通过管路与缓冲罐5连通，所述SO2脱析罐3的底端通过管路与超纯酸储罐13连通，所述SO2脱析罐3与超纯酸储罐13之间的管路上设有第二循环泵12，所述SO2脱析罐3的顶端设有脱析罐排气口 18，所述超纯酸储罐13的顶部设有纯酸储罐排气口 20，所述缓冲罐5的一端设有真空泵6，所述缓冲罐5与真空泵6通过管路连通，所述超纯酸储罐13上设有输出口 19。
[0021]所述吸收塔1、酸冷器2、S02脱析罐3、缓冲罐5、循环罐9和超纯酸储罐13内层均设有氟聚合物层。
[0022]所述吸收塔I采用烛式多级过滤器过滤。
[0023]所述酸冷器2为蝶片式酸冷器，所述酸冷器2上设有若干条循环水管路17。有效提闻冷却效果。
[0024]所述脱析罐排气口 18上设有第一空气过滤器4。对废气进行过滤，降低环境污染。
[0025]所述纯酸储罐排气口 20上设有第二空气过滤器14。对废气进行过滤，降低环境污染。
[0026]工作方式:本超纯硫酸量产系统通过用液体三氧化硫蒸出纯净的SO3气体，通过吸收塔I经烛式多级过滤器过滤(滤膜孔径0.0lym),再用超纯水制备机11制备出超纯水直接吸收生成。生产过程所用的设备、管道、阀门、泵和储罐均需用特殊氟聚合物做衬里。生产和储存，灌装和运输各环节均完全密封。
[0027]以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.一种超纯硫酸量产系统，其特征在于:由吸收塔、酸冷器、so2脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，所述吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和so2脱析罐连通，所述吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，所述吸收塔上设有去风机进口和三氧化硫进口，所述去风机进口位于吸收塔的顶端，所述三氧化硫进口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，所述酸冷器与循环罐之间的管路上设有第一循环泵，所述循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，所述循环罐与双氧水储罐之间的管路上设有双氧水计量泵，所述so2脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，所述so2脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，所述so2脱析罐与超纯酸储罐之间的管路上设有第二循环泵，所述so2脱析罐的顶端设有脱析罐排气口，所述超纯酸储罐的顶部设有纯酸储罐排气口，所述缓冲罐的一端设有真空泵，所述缓冲罐与真空泵通过管路连通，所述超纯酸储罐上设有输出口。
2.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于:所述吸收塔、酸冷器、302脱析罐、缓冲罐、循环罐和超纯酸储罐内层均设有氟聚合物层。
3.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于:所述吸收塔采用烛式多级过滤器过滤。
4.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于:所述酸冷器为蝶片式酸冷器，所述酸冷器上设有若干条循环水管路。
5.根据权利要求1-4任意一项所述超纯硫酸量产系统，其特征在于:所述脱析罐排气口上设有第一空气过滤器。
6.根据权利要求1-4任意一项所述超纯硫酸量产系统，其特征在于:所述纯酸储罐排气口上设有第二空气过滤器。
【文档编号】C01B17/74GK204162419SQ201420498973
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年8月31日 优先权日:2014年8月31日
【发明者】李冀庚, 张恒昌, 戴明 申请人:天津渤大硫酸工业有限公司