技术特征：
技术总结
一种晶体生长装置(50)，其包含：腔室(20)，所述腔室(20)包含进气口(21)、排气口(22)、焊接部、和被构造成能够用水冷却至少包括所述焊接部的部分的水冷部；与所述排气口(22)连接的排气泵(30)；配置在所述排气口(22)与所述排气泵(30)之间的露点仪(40)，并且所述露点仪(40)被构造成能够测定通过所述排气口(22)的气体的露点。
技术研发人员：原田真;堀勉;佐佐木将;岸田哲也
受保护的技术使用者：住友电气工业株式会社
技术研发日：2015.12.17
技术公布日：2017.08.29