技术总结
本发明提供了一种短温区垂直移动炉。该加热炉仅采用铁铬铝电热丝与热电偶一套控制系统,因此炉体结构简单、造价低廉;而且,加热区的垂直高度易于控制,形成短温区加热炉;并且,由于炉体上下开口,在空气的对流作用下,加热区在垂直方向的温度分布呈中间向上下两侧逐渐降低的趋势,有利于减小熔区长度,增加原料区熔提纯效果,降低晶体内部杂质含量。另外,该加热炉支撑石英坩埚的支座选用碳化硅材料,利用碳化硅的高热导率极大促进了晶体生长界面结晶潜热的释放,从而获得有利于单晶生长的微凸固液界面。利用该加热炉生长CdTe晶体有利于消除Te沉淀、夹杂和孪晶等缺陷,提高了CdTe单晶利用率。
技术研发人员:胡皓阳;金敏;徐静涛;刘柱;蒋俊;江浩川
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
文档号码:201611156546
技术研发日:2016.12.14
技术公布日:2017.05.31