一种可校准的籽晶生长装置的制作方法

文档序号:12550228阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可校准的籽晶生长装置,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的内部设置有保温层(2),所述保温层(2)的内侧下方固定安装有加热装置(3),所述加热装置(3)的上方通过第一液压伸缩杆(4)安装有坩埚(5);所述保温层(2)的左右两侧均开设有槽孔(6),所述槽孔(6)的底部固定安装有支架(7),所述支架(7)之间设有连接板(8),所述连接板(8)的内部开设有滑槽(9),所述滑槽(9)的内部滑动安装有滑块(10),所述滑块(10)的下方连接有空心管状籽晶轴(12),籽晶轴(12)下端连接有籽晶托架(11);所述滑槽(9)的内腔对称设有第二液压伸缩杆(14)且第二液压伸缩杆(14)之间的中心线与籽晶托架(11)以及坩埚(5)的中心线重合。

2.根据权利要求1所述的一种可校准的籽晶生长装置,其特征在于:所述的籽晶托架(11)包括石墨板(15)和石墨手臂(16),石墨手臂(16)固定连接在石墨板(15)下方,所述的石墨板(15)通过机械连接或者通过粘合剂与籽晶轴(12)固定连接,石墨手臂(16)下方有开口(17)。

3.根据权利要求2所述的一种可校准的籽晶生长装置,其特征在于:所述开口(17)的高度大于籽晶(13)的厚度。

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