1.一种碳化硅单晶炉,其特征在于:它包括坩埚(1),在所述坩埚(1)上方设有坩埚盖(2),在所述坩埚(1)底部设有旋转机构(3),在所述坩埚(1)内设有物料室(4),在所述坩埚盖(2)下端面设有籽晶(5),所述籽晶(5)至少设置一个,在所述坩埚(1)外部设有保温层(6),所述坩埚(1)和坩埚盖(2)都设在反应室(7)内,在所述反应室(7)外部设有感应线圈(8),所述感应线圈(8)的分布高度占反应室(7)高度的1/2-7/10,所述坩埚(1)的内径长度占反应室(7)内径长度的3/5-4/5,在所述反应室(7)上设有压力控制装置(9)和监测装置(10)。
2.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉,其特征在于:所述坩埚(1)和坩埚盖(2)都由石墨制成。
3.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉,其特征在于:所述感应线圈(8)的分布高度占反应室(7)高度的3/5。
4.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉,其特征在于:所述坩埚(1)的内径长度占反应室(7)内径长度的7/10。