一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构的制作方法

文档序号:12232932阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,设置于坩埚与侧边加热器之间;其特征在于,所述坩埚护板结构包括:护板本体(1),所述护板本体(1)的朝向所述侧边加热器的一侧开设有多个凹槽(11)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,其特征在于,所述凹槽(11)呈倒三角形长条状;所述凹槽(11)的深度为5mm~15mm,所述凹槽(11)的截面宽度为0mm~20mm。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,其特征在于,所述凹槽(11)为倒金子塔形或倒圆锥体形的凹坑;所述凹坑的深度为5mm~15mm,所述凹坑的截面宽度为0mm~20mm。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,其特征在于,所述凹槽(11)呈楔形长条状;所述凹槽(11)的深度为5mm~15mm,所述凹槽(11)的截面宽度为5mm~20mm。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,其特征在于,所述凹槽(11)为楔形的凹坑;所述凹坑的深度为5mm~15mm,所述凹坑的截面宽度为5mm~20mm。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,其特征在于,所述凹槽(11)在所述护板本体(1)的表面的覆盖面积占所述护板本体(1)的表面面积的50%~100%。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,其特征在于,所述护板本体(1)为石墨板。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭用坩埚护板结构,其特征在于,所述护板本体(1)为具有高导热性并耐高温的合金板。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1